GateKeeper®GPU氣體凈化器
GPUS2500FIX08R00CA，
GPUS2500FHX08R00CA，
純化器大量應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、芯片行業(yè)、微電子行業(yè)。
GateKeeper®GPU系列凈化器旨在提高工藝氣體的一致性，使用壽命和出口純度。
純度達(dá)到ppt級(jí)別
廣泛的氣體相容性，包括腐蝕性氣體，如Cl2, HBr, HCl, CF4, SO2, SF6
凈化器壓降低
通過CE壓力設(shè)備指令PED認(rèn)證，并在ISO 9001-2000工廠生產(chǎn)
可再生-消除處理問題和成本
長(zhǎng)壽命-提高擁有成本
使用環(huán)境溫度凈化
看門人®
GPU
HX Media氣體凈化器
高純度控制
設(shè)計(jì)了integris的GateKeeper®GPU氣體凈化器
提高純度的一致性，使用壽命和最終純度
高純度氣體至關(guān)重要的微電子應(yīng)用。
利用我們?cè)诓牧峡茖W(xué)方面的專業(yè)知識(shí)，我們開發(fā)了
提供新一代HX氣體凈化產(chǎn)品
無與倫比的價(jià)值和性能。
應(yīng)用程序
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•半導(dǎo)體
•數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
•平板顯示
•領(lǐng)導(dǎo)
•太陽(yáng)能
特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
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工藝控制和保護(hù)純度控制在十億分之一(ppb)以下
低壓降通過凈化器
CE壓力設(shè)備指令(PED)認(rèn)證
在ISO®9001:2015設(shè)施中生產(chǎn)
具有成本效益的可再生-消除處理問題和成本
長(zhǎng)壽命-提高擁有成本
使用環(huán)境溫度凈化-無需加熱或電源
需要操作
對(duì)方向不敏感(水平/垂直)
