China Hi-Tech Service Bulletin

MIDAS-T-NP1 熱裂解器安裝指導(dǎo)說明

1，Midas-T-NP1 裂解器可以探測的氣體和 Sensor 類型

 

 Midas-T-NP1 裂解器對本體版本要求：軟件版本不低于 V1.10；不正確的 Sensor 類型和本體

軟件版本，不能啟動 NP1，將會報(bào)故障 F90。

2，Midas-T-NP1 裂解器安裝要求及典型問題

 過濾器：NF3 必須安裝氟利昂過濾器（1830-0027），其他氣體不能安裝氟利昂過濾器。 

所有氣體都強(qiáng)烈建議安裝灰塵過濾器（780248）。

 Midas-T-NP1 裂解器安裝完成后，用轉(zhuǎn)子氣體流量計(jì)在過濾器（如有）下端檢查流量，標(biāo)準(zhǔn)

為 500sccm；裂解器剛啟動時，通過網(wǎng)頁確認(rèn)流經(jīng)裂解器加熱元器件的流量（55-120sccm)；待

裂解器穩(wěn)定運(yùn)行時（320 ?C±25 ?C）,再次確認(rèn)流經(jīng)裂解器加熱元器件的流量（最佳值 75sccm,范

圍：55-120sccm，超出此范圍將報(bào) F92），裂解器溫度和流量都在范圍之內(nèi)，無故障出現(xiàn)，NP1

即可正常工作。

 典型問題：

 a. 轉(zhuǎn)子流量計(jì)沒有流量：檢查整個氣路的氣密性，重新安裝裂解器，注意進(jìn)氣管是否自然垂

直，有無扭曲。

 b. 轉(zhuǎn)子流量計(jì)流量低：進(jìn)行流量標(biāo)定，如果標(biāo)定不成功，檢查本體的泵能力，更換泵或本

體。

 c. 裂解器達(dá)到額定工作溫度時，本體或流經(jīng)裂解器的流量不穩(wěn)定，通過流量標(biāo)定來調(diào)節(jié)穩(wěn)

定。

3，Midas 探測器流量標(biāo)定

 流量標(biāo)定步驟：

a. 常按上下鍵后選擇進(jìn)入 CAL 菜單；

b. 打勾進(jìn)入選擇 Flow，打勾確認(rèn)進(jìn)入零點(diǎn)標(biāo)定；

c. 成功后進(jìn)入 500sccm 標(biāo)定，根據(jù)外部流量計(jì)通過上下鍵調(diào)節(jié)實(shí)際流量到 500sccm；

d. 重復(fù)步驟 3 標(biāo)定第二點(diǎn)（600/650sccm).

e. 完成流量標(biāo)定后退出，進(jìn)入監(jiān)控模式。

 

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 圖一 流量標(biāo)定步驟示意圖

 圖二 流量檢查示意圖

圖三 裂解器流量和溫度信息（一） 圖四 裂解器流量和溫度信息（二）

 

4, 流經(jīng)裂解器流量調(diào)節(jié)

 流經(jīng)裂解器加熱元器件的流量不在范圍之內(nèi)(55-120sscm)：通過裂解器標(biāo)簽下面的流量調(diào)節(jié)螺

絲來調(diào)節(jié)流經(jīng)裂解器的流量（參考網(wǎng)頁上顯示的裂解器流量，本體默認(rèn) IP:169.254.60.47,工具

BULLETIN NUMBER: 2018-001 1/25/2018

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為 2.5mm 的內(nèi)六角扳手）

 a, 確認(rèn) F92 是由流量原因引起的，網(wǎng)頁上裂解器流量不在 55-120sccm 范圍內(nèi)，Midas 本體的

Event History 內(nèi) F92 的 Data 是 0x1000。

 b, 撕開 NP1 裂解器的標(biāo)簽，發(fā)現(xiàn)如圖五的內(nèi)六角螺絲，此螺絲即為裂解器流量調(diào)節(jié)螺絲。

 c, 打開 Midas 網(wǎng)頁，在裂解器達(dá)到穩(wěn)定工作溫度時（320 ?C±25 ?C），觀察流經(jīng)裂解器的流

量；如果裂解器的流量低（低于 55sccm）如圖六，順時針調(diào)節(jié)內(nèi)六角螺絲增大流量，直到穩(wěn)定

的流量達(dá)到 75-100sccm；如果裂解器的流量高（高于 120sccm）如圖七，逆時針調(diào)節(jié)內(nèi)六角螺

絲減小流量，直到穩(wěn)定的流量達(dá)到 75-100sccm 如圖八；然后復(fù)位 F92 故障。

 d, 如果裂解器溫度不能上升，直接按照步驟 c 順時針調(diào)節(jié)內(nèi)六角螺絲增大流量，直到穩(wěn)定的

流量達(dá)到 75-100sccm。

 e, 如果調(diào)節(jié)內(nèi)六角螺絲不能使流經(jīng)裂解器的流量在 55-120sccm 范圍內(nèi)，請把 NP1 裂解器寄

給 Honeywell 檢查。