取樣環(huán)境點(diǎn)監(jiān)測(cè)：推薦在線空氣過(guò)濾器

 取樣排氣管長(zhǎng)度：長(zhǎng)達(dá)30米（100英尺）

 樣品管道：6.35毫米外徑（1/4英寸）×3.18毫米（1/8英寸），F(xiàn)EP，最長(zhǎng)30米（100英尺），具體取決于氣體類型

 排氣管道：6.35毫米外徑（1/4英寸）×3.18毫米（1/8英寸），F(xiàn)EP，30米（100英尺）

 帶有傳感器的機(jī)組的操作溫度：0-40攝氏度

4-20mA/DC電源/繼電器的接線要求：一定上14AWG

數(shù)字化接線要求：屏蔽CAT 5電纜或等同物，RJ 45連接器

 儀器顯示器及顯示介面：帶分離測(cè)量部件、流率條形圖和其它標(biāo)象指示器的4位字母數(shù)字顯示屏；4按鈕薄膜鍵盤

遠(yuǎn)程界面：可透過(guò)以太網(wǎng)或其它總線系統(tǒng)訪問(wèn)的PC/PDA網(wǎng)絡(luò)瀏覽器

 發(fā)送器部件保修：1年

 傳感器夾頭保修：標(biāo)準(zhǔn)，1年；帶有擴(kuò)展保修項(xiàng)目：2年

 幫浦的預(yù)期壽命：大于2年

 安裝方法：使用在后機(jī)身上預(yù)先鉆好的兩個(gè)孔進(jìn)行墻面安裝

 安裝材料：帶油漆罩面的鋼鐵盒

 

特氣氨氣NH3，MIDAS-E-NH3，商城自營(yíng)現(xiàn)貨一百萬(wàn)

 

Honeywell 分析是氣體檢測(cè)安全制造商領(lǐng)域的領(lǐng)先者。它們提供全面、全面的產(chǎn)品，在質(zhì)量、功能、易于使用的產(chǎn)品方面設(shè)定高標(biāo)桿，用于固定、火焰、便攜式或氣體監(jiān)控系統(tǒng)，用于低成本、合規(guī)性設(shè)備，以及面向所有人的高端功能設(shè)備行業(yè)和應(yīng)用的類型。每天在惡劣環(huán)境中工作需要極大的奉獻(xiàn)精神和動(dòng)力， Honeywell 近 50 年來(lái)，分析一直在保護(hù)那些將生命置于安全線上的人，以確保他們?cè)谶@些環(huán)境條件下的健康和安全。請(qǐng)查看我們?nèi)娴?Honeywell 分析產(chǎn)品。

 

Midas 氣體探測(cè)器為半導(dǎo)體加工和工業(yè)制造中的氣體檢測(cè)帶來(lái)新的可見(jiàn)性、可靠性和易用性。

 

Midas 氣體檢測(cè)儀使用可靠的傳感器技術(shù)來(lái)檢測(cè)工廠中的許多關(guān)鍵有毒氣體、環(huán)境氣體和易燃?xì)怏w。該設(shè)備可監(jiān)控最遠(yuǎn) 100 英尺（30 米）外的點(diǎn)，同時(shí)使用專利技術(shù)調(diào)節(jié)流速并確保無(wú)差錯(cuò)氣體檢測(cè)。由于霍尼韋爾使用了先進(jìn)的機(jī)器人技術(shù)，Midas 氣體探測(cè)器提供了無(wú)與倫比的質(zhì)量和可靠性：

 

提高了可視性和易用性。Midas 氣體探測(cè)器配備明亮的 LED 燈和直觀的交互式界面，可提供氣體讀數(shù)或警報(bào)級(jí)別的即時(shí)警報(bào)。該界面還包括用于配置、測(cè)試和校準(zhǔn)的密碼保護(hù)菜單。

 

簡(jiǎn)易安裝。Midas 氣體探測(cè)器體積小巧，帶有易于操作的金屬底盤，安裝簡(jiǎn)單。這在空間非常寶貴的擁擠、復(fù)雜的過(guò)程環(huán)境中尤其重要。

 

眾多應(yīng)用。Midas 氣體檢測(cè)儀功能豐富且易于使用，適用于許多行業(yè)應(yīng)用，包括半導(dǎo)體加工、輕工業(yè)制造、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、航空航天、廢水處理等。-優(yōu)勢(shì)推薦SOR索爾壓力開關(guān)

附加功能和優(yōu)勢(shì)：-優(yōu)勢(shì)推薦YSAKAWA安川磁性開關(guān)

 

超過(guò) 35 種氣體可提供 2 年延長(zhǎng)保修*

帶有板載“電子校準(zhǔn)”證書的智能傳感器盒

3 個(gè)內(nèi)置繼電器（C 型），用于報(bào)警 1、2 和故障

以太網(wǎng)供電 (PoE) 通信

鍵盤界面和遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)瀏覽器界面

可選的 Midas Pyrolyzer 模塊，可連接到任何 Midas 氣體探測(cè)器

受密碼保護(hù)的菜單級(jí)別，以保持系統(tǒng)完整性

明亮的 LED 和直觀的圖標(biāo)驅(qū)動(dòng)、大型多色背光 LCD 顯示屏

工廠校準(zhǔn)的傳感器可減少對(duì)頻繁氣體測(cè)試的需求

帶故障和事件報(bào)告的隔離 0-22 mA 模擬輸出

Modbus/TCP 以太網(wǎng)可輕松連接到所有控制和報(bào)警系統(tǒng)端口，以實(shí)現(xiàn)控制連接和服務(wù)交互

強(qiáng)大的抽取泵系統(tǒng)（2 年使用壽命）采樣高達(dá) 100 英尺

CE 標(biāo)志可完全抗射頻干擾

Reflex® 傳感器健康檢查以提高安全性

TempraSureTM 溫度補(bǔ)償技術(shù)（視情況而定）

事件記錄以查看傳感器歷史記錄

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：

 

無(wú)差錯(cuò)檢測(cè)超過(guò) 35 種氣體

提高可見(jiàn)性和易用性

簡(jiǎn)易安裝

快速規(guī)格：

 

流速：500 毫升/分鐘

運(yùn)輸時(shí)間：最長(zhǎng) 2 到 30 秒

采樣管線：0.125 in ID x 0.25 in OD

 

傳感器墨盒   

MIDAS-S-NH3 氨 (NH3)

MIDAS-S-ASH 砷化氫 (AsH3)、鍺烷 (GeH4)

MIDAS-S-HCL 三氯化硼 (BCl3)、二氯硅烷 (H2Cl2Si)、溴化氫 (HBr) 氯化氫 (HCl)

MIDAS-S-HFL 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 HF（低濃度）、六氟化鎢 (WF6)（低濃度）***

MIDAS-S-HFX 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 (HF)、三氟化氮 (NF3)* 六氟化鎢 (WF6)

MIDAS-S-BR2 溴 (Br2)、二氧化氯 (ClO2)

MIDAS-S-COX 一氧化碳 (CO)

MIDAS-S-HAL 氯 (Cl2)、氟 (F2)

MIDAS-S-B2H 乙硼烷 (B2H6)

MIDAS-S-H2X 氫氣 (H2)

MIDAS-S-HCN 氰化氫 (HCN)

MIDAS-S-H2S 硫化氫 (H2S)

MIDAS-S-LEL 氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)

MIDAS-S-NOX 一氧化氮 (NO)

MIDAS-S-NO2 二氧化氮 (NO2)

MIDAS-S-O2X 氧氣 (O2)

MIDAS-S-O3X 臭氧 (O3)

MIDAS-S-O3H 臭氧 (O3)（高水平）

MIDAS-S-PH3 磷化氫 (PH3)

MIDAS-S-SHL 硅烷 (SiH4)（低含量）

MIDAS-S-SHX 硅烷 (SiH4)、乙硅烷 (Si2H6)

MIDAS-S-SO2 二氧化硫 (SO2)

MIDAS-S-TEO TEOS

MIDAS-S-XCF 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)**、八氟環(huán)戊烯 (C5F8)**、0-40 ppm、0-240 ppm、0-40 ppm

MIDAS-S-XHF 三氟化氮 (NF3)*、甲基氟 (CH3F)**, 0-40ppm, 0-120ppm

MIDAS-E-NH3 氨 (NH3) 9-100 ppm

 

MIDAS-E-ASH 砷化氫 (AsH3)、鍺烷 (GeH4) 18-200 ppb 70-800 ppb

MIDAS-E-HCL 三氯化硼 (BCl3)、二氯硅烷 (H2Cl2Si)、溴化氫 (HBr)、氯化氫 (HCl) 0.72-8 ppm

MIDAS-E-HFU 氟化氫 (HF)、六氟化鎢 (WF6) 0.42-2 ppm 0.22-2 ppm

MIDAS-E-HFL 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 HF（低濃度）、六氟化鎢 (WF6)（低濃度）*** 0.18-2 ppm

MIDAS-E-HFX 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 (HF)、三氟化氮 (NF3)* 六氟化鎢 (WF6) 0.72-8 ppm 1.05-12 ppm 3.6-40 ppm 1.05-12 ppm

MIDAS-E-BR2 溴 (Br2)、二氧化氯 (ClO2) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-E-CFX 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)**、甲基氟 (CH3F)**、八氟環(huán)戊烯 (C5F8)**, 16-240 ppm 3-40 ppm 8-120 ppm 3-40 ppm

MIDAS-E-CFH 六氟丁二烯 (C4F6)** 7.2-80 ppm

MIDAS-E-COX 一氧化碳 (CO) 9-100 ppm

MIDAS-E-HAL 氯 (Cl2) 氟 (F2)" 0.18-2 ppm 0.36-4 ppm

MIDAS-E-B2H 乙硼烷 (B2H6) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-E-H2X 氫氣 (H2) 90-1000 ppm

MIDAS-E-HCN 氰化氫 (HCN) 1.8-20 ppm

MIDAS-E-H2S 硫化氫 (H2S) 3.6-40 ppm

MIDAS-E-LEL 氫氣 (H2)、甲烷 (CH4) 6.5-100% LEL

MIDAS-E-NOX 一氧化氮 (NO) 9-100 ppm

MIDAS-E-NO2 二氧化氮 (NO2) 1.05-12 ppm

MIDAS-E-O2X 氧氣 (O2) 0.2-25% v/v

MIDAS-E-O3X 臭氧 (O3) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-E-O3H 臭氧 (O3) 高濃度) 0.036-0.7 ppm

MIDAS-E-PH3 磷化氫 (PH3) 110-1200 ppb

MIDAS-E-SHL 硅烷 (SiH4)（低濃度）0.18-2 ppm

MIDAS-E-SHX 硅烷 (SiH4)、乙硅烷 (Si2H6) 1.8-20 ppm

MIDAS-E-SO2 二氧化硫 (SO2) 0.7-8 ppm

MIDAS-E-TEO TEOS 3.6-40 ppm

MIDAS-E-XCF 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)**、八氟環(huán)戊烯 (C5F8)** 0-40 ppm 0-240 ppm 0-40 ppm

MIDAS-I-CO2 二氧化碳紅外盒 0.15-5.0%, 0.15%-0,2% v/v

MIDAS-I-N2O 一氧化二氮紅外盒 100-1000 ppm

MIDAS-E-XHF 三氟化氮 (NF3)*、甲基氟 (CH3F)** 0-40ppm 0-120ppm

MIDAS-K-NH3 氨 (NH3) 9-100 ppm

MIDAS-K-ASH 砷化氫 (AsH3)、鍺烷 (GeH4) 18-200 ppb 70-800 ppb

MIDAS-K-HCL 三氯化硼 (BCl3)、二氯硅烷 (H2Cl2Si)、溴化氫 (HBr)、氯化氫 (HCl) 0.72-8 ppm

MIDAS-K-HFU 氟化氫 (HF)、六氟化鎢 (WF6) 0.42-2 ppm 0.22-2 ppm

MIDAS-K-HFX 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 (HF)、三氟化氮 (NF3)*、六氟化鎢 (WF6) 0.72-8 ppm 1.05-12 ppm 3.6-40 ppm 1.05-12 ppm

MIDAS-K-HFL 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 HF（低濃度）、六氟化鎢 (WF6)（低濃度）*** 0.18-2 ppm

 

MIDAS-K-BR2 溴 (Br2)、二氧化氯 (ClO2) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-K-CFX 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)**、甲基氟 (CH3F)**、八氟環(huán)戊烯 (C5F8)**, 16-240 ppm 3-40 ppm 8-120 ppm 3-40 ppm

MIDAS-K-COX 一氧化碳 (CO) 9-100 ppm

MIDAS-K-HAL 氯 (Cl2)、氟 (F2) 0.18-2 ppm 0.36-4 ppm

MIDAS-K-B2H 乙硼烷 (B2H6) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-K-H2X 氫氣 (H2) 90-1000 ppm

MIDAS-K-HCN 氰化氫 (HCN) 1.8-20 ppm

MIDAS-K-H2S 硫化氫 (H2S) 3.6-40 ppm

MIDAS-K-LEL 氫氣 (H2)、甲烷 (CH4) 6.5-100% LEL

MIDAS-K-NOX 一氧化氮 (NO) 9-100 ppm

MIDAS-K-NO2 二氧化氮 (NO2) 1.05-12 ppm

MIDAS-K-O2X 氧氣 (O2) 0.2-25% v/v

MIDAS-K-O3X 臭氧 (O3) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-K-O3H 臭氧 (O3)（高濃度）0.036-0.7 ppm

MIDAS-K-PH3 磷化氫 (PH3) 110-1200 ppb

MIDAS-K-SHL 硅烷 (SiH4)（低含量）0.18-2 ppm

MIDAS-K-SHX 硅烷 (SiH4)、乙硅烷 (Si2H6) 1.8-20 ppm

MIDAS-K-SO2 二氧化硫 (SO2) 0.7-8 ppm

MIDAS-K-TEO TEOS

1283K1090 用于 1/4" OD 管道的管道適配器，用于 4-16" 圓形管道

0235-0128 柔性導(dǎo)管 21" - 長(zhǎng)度

0235-0163 軟管 27" - 長(zhǎng)度

0310-2055 軟管 36" - 長(zhǎng)度

MIDAS-A-001 Midas 操作手冊(cè)和快速入門指南（英文）

MIDAS-A-010 替換 RJ45 約束帶

MIDAS-A-030 用于 1 個(gè) Midas 的單點(diǎn) POE 電源注入器（美國(guó)電源線）

MIDAS-A-011 8 端口 POE 開關(guān) (120VAC)，用于 3 個(gè) MIDAS 或 2 個(gè) Midas/Pyrolyzer 裝置

MIDAS-A-032 Midas "L" 垂直安裝支架

MIDAS-A-033 用于 MIDAS “L” 支架的 Midas 可選天氣防護(hù)罩

MIDAS-A-036 Midas DIN 導(dǎo)軌安裝套件

MIDAS-A-039 用于熱解器應(yīng)用的通風(fēng) Midas 頂蓋

MIDAS-A-007 替換 Midas 內(nèi)部采樣泵和安裝支架

MIDAS-A-009 用于 Midas 通用氣體探測(cè)器的替換內(nèi)部空氣過(guò)濾器

1830-0080 用于 NF3 熱解氣體檢測(cè)器的氟利昂過(guò)濾器（延長(zhǎng)壽命）。注意：不適用于 C4F6、C5F8、CH3F、CH2F2 熱解器

1830-0027 用于 NF3 熱解氣體檢測(cè)器的氟利昂過(guò)濾器。注意：不適用于 C4F6、C5F8、CH3F、CH2F2 熱解器

780248 線末端微粒過(guò)濾器。用作非腐蝕性氣體的末端過(guò)濾器

1830-0055 用于腐蝕性氣體的管線末端顆粒過(guò)濾器，可重復(fù)使用。在監(jiān)測(cè)腐蝕性氣體時(shí)，這種可重復(fù)使用的過(guò)濾器外殼可防止采樣管中的微粒堆積?？筛鼡Q濾芯 (P/N 0235-1072) 單獨(dú)購(gòu)買

 

1991-0147 用于腐蝕性氣體的管線末端顆粒過(guò)濾器，一次性的。在監(jiān)測(cè)腐蝕性氣體時(shí)，這種一次性過(guò)濾器可防止采樣管中的顆粒堆積

0235-0095 活接頭 - 用于將一次性過(guò)濾器連接到管線末端

 

 取樣環(huán)境點(diǎn)監(jiān)測(cè)：推薦在線空氣過(guò)濾器

 取樣排氣管長(zhǎng)度：長(zhǎng)達(dá)30米（100英尺）

 樣品管道：6.35毫米外徑（1/4英寸）×3.18毫米（1/8英寸），F(xiàn)EP，最長(zhǎng)30米（100英尺），具體取決于氣體類型

 排氣管道：6.35毫米外徑（1/4英寸）×3.18毫米（1/8英寸），F(xiàn)EP，30米（100英尺）

 帶有傳感器的機(jī)組的操作溫度：0-40攝氏度

4-20mA/DC電源/繼電器的接線要求：一定上14AWG

數(shù)字化接線要求：屏蔽CAT 5電纜或等同物，RJ 45連接器

 儀器顯示器及顯示介面：帶分離測(cè)量部件、流率條形圖和其它標(biāo)象指示器的4位字母數(shù)字顯示屏；4按鈕薄膜鍵盤

遠(yuǎn)程界面：可透過(guò)以太網(wǎng)或其它總線系統(tǒng)訪問(wèn)的PC/PDA網(wǎng)絡(luò)瀏覽器

 發(fā)送器部件保修：1年

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 安裝材料：帶油漆罩面的鋼鐵盒

 

特氣氨氣NH3，MIDAS-E-NH3，商城自營(yíng)現(xiàn)貨一百萬(wàn)

 

Honeywell 分析是氣體檢測(cè)安全制造商領(lǐng)域的領(lǐng)先者。它們提供全面、全面的產(chǎn)品，在質(zhì)量、功能、易于使用的產(chǎn)品方面設(shè)定高標(biāo)桿，用于固定、火焰、便攜式或氣體監(jiān)控系統(tǒng)，用于低成本、合規(guī)性設(shè)備，以及面向所有人的高端功能設(shè)備行業(yè)和應(yīng)用的類型。每天在惡劣環(huán)境中工作需要極大的奉獻(xiàn)精神和動(dòng)力， Honeywell 近 50 年來(lái)，分析一直在保護(hù)那些將生命置于安全線上的人，以確保他們?cè)谶@些環(huán)境條件下的健康和安全。請(qǐng)查看我們?nèi)娴?Honeywell 分析產(chǎn)品。

 

Midas 氣體探測(cè)器為半導(dǎo)體加工和工業(yè)制造中的氣體檢測(cè)帶來(lái)新的可見(jiàn)性、可靠性和易用性。

 

Midas 氣體檢測(cè)儀使用可靠的傳感器技術(shù)來(lái)檢測(cè)工廠中的許多關(guān)鍵有毒氣體、環(huán)境氣體和易燃?xì)怏w。該設(shè)備可監(jiān)控最遠(yuǎn) 100 英尺（30 米）外的點(diǎn)，同時(shí)使用專利技術(shù)調(diào)節(jié)流速并確保無(wú)差錯(cuò)氣體檢測(cè)。由于霍尼韋爾使用了先進(jìn)的機(jī)器人技術(shù)，Midas 氣體探測(cè)器提供了無(wú)與倫比的質(zhì)量和可靠性：

 

提高了可視性和易用性。Midas 氣體探測(cè)器配備明亮的 LED 燈和直觀的交互式界面，可提供氣體讀數(shù)或警報(bào)級(jí)別的即時(shí)警報(bào)。該界面還包括用于配置、測(cè)試和校準(zhǔn)的密碼保護(hù)菜單。

 

簡(jiǎn)易安裝。Midas 氣體探測(cè)器體積小巧，帶有易于操作的金屬底盤，安裝簡(jiǎn)單。這在空間非常寶貴的擁擠、復(fù)雜的過(guò)程環(huán)境中尤其重要。

 

眾多應(yīng)用。Midas 氣體檢測(cè)儀功能豐富且易于使用，適用于許多行業(yè)應(yīng)用，包括半導(dǎo)體加工、輕工業(yè)制造、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、航空航天、廢水處理等。-優(yōu)勢(shì)推薦SOR索爾壓力開關(guān)

附加功能和優(yōu)勢(shì)：-優(yōu)勢(shì)推薦YSAKAWA安川磁性開關(guān)

 

超過(guò) 35 種氣體可提供 2 年延長(zhǎng)保修*

帶有板載“電子校準(zhǔn)”證書的智能傳感器盒

3 個(gè)內(nèi)置繼電器（C 型），用于報(bào)警 1、2 和故障

以太網(wǎng)供電 (PoE) 通信

鍵盤界面和遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)瀏覽器界面

可選的 Midas Pyrolyzer 模塊，可連接到任何 Midas 氣體探測(cè)器

受密碼保護(hù)的菜單級(jí)別，以保持系統(tǒng)完整性

明亮的 LED 和直觀的圖標(biāo)驅(qū)動(dòng)、大型多色背光 LCD 顯示屏

工廠校準(zhǔn)的傳感器可減少對(duì)頻繁氣體測(cè)試的需求

帶故障和事件報(bào)告的隔離 0-22 mA 模擬輸出

Modbus/TCP 以太網(wǎng)可輕松連接到所有控制和報(bào)警系統(tǒng)端口，以實(shí)現(xiàn)控制連接和服務(wù)交互

強(qiáng)大的抽取泵系統(tǒng)（2 年使用壽命）采樣高達(dá) 100 英尺

CE 標(biāo)志可完全抗射頻干擾

Reflex® 傳感器健康檢查以提高安全性

TempraSureTM 溫度補(bǔ)償技術(shù)（視情況而定）

事件記錄以查看傳感器歷史記錄

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：

 

無(wú)差錯(cuò)檢測(cè)超過(guò) 35 種氣體

提高可見(jiàn)性和易用性

簡(jiǎn)易安裝

快速規(guī)格：

 

流速：500 毫升/分鐘

運(yùn)輸時(shí)間：最長(zhǎng) 2 到 30 秒

采樣管線：0.125 in ID x 0.25 in OD

 

傳感器墨盒   

MIDAS-S-NH3 氨 (NH3)

MIDAS-S-ASH 砷化氫 (AsH3)、鍺烷 (GeH4)

MIDAS-S-HCL 三氯化硼 (BCl3)、二氯硅烷 (H2Cl2Si)、溴化氫 (HBr) 氯化氫 (HCl)

MIDAS-S-HFL 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 HF（低濃度）、六氟化鎢 (WF6)（低濃度）***

MIDAS-S-HFX 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 (HF)、三氟化氮 (NF3)* 六氟化鎢 (WF6)

MIDAS-S-BR2 溴 (Br2)、二氧化氯 (ClO2)

MIDAS-S-COX 一氧化碳 (CO)

MIDAS-S-HAL 氯 (Cl2)、氟 (F2)

MIDAS-S-B2H 乙硼烷 (B2H6)

MIDAS-S-H2X 氫氣 (H2)

MIDAS-S-HCN 氰化氫 (HCN)

MIDAS-S-H2S 硫化氫 (H2S)

MIDAS-S-LEL 氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)

MIDAS-S-NOX 一氧化氮 (NO)

MIDAS-S-NO2 二氧化氮 (NO2)

MIDAS-S-O2X 氧氣 (O2)

MIDAS-S-O3X 臭氧 (O3)

MIDAS-S-O3H 臭氧 (O3)（高水平）

MIDAS-S-PH3 磷化氫 (PH3)

MIDAS-S-SHL 硅烷 (SiH4)（低含量）

MIDAS-S-SHX 硅烷 (SiH4)、乙硅烷 (Si2H6)

MIDAS-S-SO2 二氧化硫 (SO2)

MIDAS-S-TEO TEOS

MIDAS-S-XCF 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)**、八氟環(huán)戊烯 (C5F8)**、0-40 ppm、0-240 ppm、0-40 ppm

MIDAS-S-XHF 三氟化氮 (NF3)*、甲基氟 (CH3F)**, 0-40ppm, 0-120ppm

MIDAS-E-NH3 氨 (NH3) 9-100 ppm

 

MIDAS-E-ASH 砷化氫 (AsH3)、鍺烷 (GeH4) 18-200 ppb 70-800 ppb

MIDAS-E-HCL 三氯化硼 (BCl3)、二氯硅烷 (H2Cl2Si)、溴化氫 (HBr)、氯化氫 (HCl) 0.72-8 ppm

MIDAS-E-HFU 氟化氫 (HF)、六氟化鎢 (WF6) 0.42-2 ppm 0.22-2 ppm

MIDAS-E-HFL 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 HF（低濃度）、六氟化鎢 (WF6)（低濃度）*** 0.18-2 ppm

MIDAS-E-HFX 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 (HF)、三氟化氮 (NF3)* 六氟化鎢 (WF6) 0.72-8 ppm 1.05-12 ppm 3.6-40 ppm 1.05-12 ppm

MIDAS-E-BR2 溴 (Br2)、二氧化氯 (ClO2) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-E-CFX 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)**、甲基氟 (CH3F)**、八氟環(huán)戊烯 (C5F8)**, 16-240 ppm 3-40 ppm 8-120 ppm 3-40 ppm

MIDAS-E-CFH 六氟丁二烯 (C4F6)** 7.2-80 ppm

MIDAS-E-COX 一氧化碳 (CO) 9-100 ppm

MIDAS-E-HAL 氯 (Cl2) 氟 (F2)" 0.18-2 ppm 0.36-4 ppm

MIDAS-E-B2H 乙硼烷 (B2H6) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-E-H2X 氫氣 (H2) 90-1000 ppm

MIDAS-E-HCN 氰化氫 (HCN) 1.8-20 ppm

MIDAS-E-H2S 硫化氫 (H2S) 3.6-40 ppm

MIDAS-E-LEL 氫氣 (H2)、甲烷 (CH4) 6.5-100% LEL

MIDAS-E-NOX 一氧化氮 (NO) 9-100 ppm

MIDAS-E-NO2 二氧化氮 (NO2) 1.05-12 ppm

MIDAS-E-O2X 氧氣 (O2) 0.2-25% v/v

MIDAS-E-O3X 臭氧 (O3) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-E-O3H 臭氧 (O3) 高濃度) 0.036-0.7 ppm

MIDAS-E-PH3 磷化氫 (PH3) 110-1200 ppb

MIDAS-E-SHL 硅烷 (SiH4)（低濃度）0.18-2 ppm

MIDAS-E-SHX 硅烷 (SiH4)、乙硅烷 (Si2H6) 1.8-20 ppm

MIDAS-E-SO2 二氧化硫 (SO2) 0.7-8 ppm

MIDAS-E-TEO TEOS 3.6-40 ppm

MIDAS-E-XCF 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)**、八氟環(huán)戊烯 (C5F8)** 0-40 ppm 0-240 ppm 0-40 ppm

MIDAS-I-CO2 二氧化碳紅外盒 0.15-5.0%, 0.15%-0,2% v/v

MIDAS-I-N2O 一氧化二氮紅外盒 100-1000 ppm

MIDAS-E-XHF 三氟化氮 (NF3)*、甲基氟 (CH3F)** 0-40ppm 0-120ppm

MIDAS-K-NH3 氨 (NH3) 9-100 ppm

MIDAS-K-ASH 砷化氫 (AsH3)、鍺烷 (GeH4) 18-200 ppb 70-800 ppb

MIDAS-K-HCL 三氯化硼 (BCl3)、二氯硅烷 (H2Cl2Si)、溴化氫 (HBr)、氯化氫 (HCl) 0.72-8 ppm

MIDAS-K-HFU 氟化氫 (HF)、六氟化鎢 (WF6) 0.42-2 ppm 0.22-2 ppm

MIDAS-K-HFX 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 (HF)、三氟化氮 (NF3)*、六氟化鎢 (WF6) 0.72-8 ppm 1.05-12 ppm 3.6-40 ppm 1.05-12 ppm

MIDAS-K-HFL 三氟化硼 (BF3)、氟化氫 HF（低濃度）、六氟化鎢 (WF6)（低濃度）*** 0.18-2 ppm

 

MIDAS-K-BR2 溴 (Br2)、二氧化氯 (ClO2) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-K-CFX 二氟甲烷 (CH2F2)、六氟丁二烯 (C4F6)**、甲基氟 (CH3F)**、八氟環(huán)戊烯 (C5F8)**, 16-240 ppm 3-40 ppm 8-120 ppm 3-40 ppm

MIDAS-K-COX 一氧化碳 (CO) 9-100 ppm

MIDAS-K-HAL 氯 (Cl2)、氟 (F2) 0.18-2 ppm 0.36-4 ppm

MIDAS-K-B2H 乙硼烷 (B2H6) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-K-H2X 氫氣 (H2) 90-1000 ppm

MIDAS-K-HCN 氰化氫 (HCN) 1.8-20 ppm

MIDAS-K-H2S 硫化氫 (H2S) 3.6-40 ppm

MIDAS-K-LEL 氫氣 (H2)、甲烷 (CH4) 6.5-100% LEL

MIDAS-K-NOX 一氧化氮 (NO) 9-100 ppm

MIDAS-K-NO2 二氧化氮 (NO2) 1.05-12 ppm

MIDAS-K-O2X 氧氣 (O2) 0.2-25% v/v

MIDAS-K-O3X 臭氧 (O3) 0.036-0.4 ppm

MIDAS-K-O3H 臭氧 (O3)（高濃度）0.036-0.7 ppm

MIDAS-K-PH3 磷化氫 (PH3) 110-1200 ppb

MIDAS-K-SHL 硅烷 (SiH4)（低含量）0.18-2 ppm

MIDAS-K-SHX 硅烷 (SiH4)、乙硅烷 (Si2H6) 1.8-20 ppm

MIDAS-K-SO2 二氧化硫 (SO2) 0.7-8 ppm

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