這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測(cè)下限為 5 ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經(jīng)過測(cè)試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
美國ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS8RR2現(xiàn)貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器
WG3NS6SL2
WGMXLPRR6
WG3DBGNRR4
SI2MSNFE05?
WG2F15HJJ6
WG2F40RR3
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
WG3D50DR2
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
WGSLNFC1H?
美國ENTEGRIS氣體過濾器，WDPM0CPSF，數(shù)量3個(gè)
SV10F20E16 氣體過濾器
SVTV01TQ1 氣體過濾器
WGFG16HP2，氣體過濾器
Entergris 過濾器
型號(hào)：TRVT31X942SP
CWAG16KL1? ?3個(gè)
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
SI2N0100BRR6,
WGFG16HP2
美國ENTEGRIS英特格，過濾器 WG3NS7SL2
WGMXMBSS4
CBUG050P1
英特格 A2AG200K1?
SVEG01P01
WGMXMBSS4
WGMXMBSS3
YY4110106
YY5032PS1
YY4110104
YY66H0A2A
A2AG200K1
GPUS700FIX04R02CA
Gas cleaner series GPU 2500F, HX filler GPUS2500FHX04R00CR
WGMXMPRR4數(shù)量10
WGMXMBRR2數(shù)量5
為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器
以高達(dá) 30 slpm 的流速可靠地去除惰性氣體中的顆粒。
提供高效、低成本、使用點(diǎn)的惰性氣體過濾
> 99.9999999% 去除所有直徑大于 0.015 μm 的顆粒
應(yīng)用
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器應(yīng)用
低進(jìn)氣過濾器
晶圓輸送系統(tǒng)
清潔干燥空氣 (CDA)
產(chǎn)品規(guī)格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
支架、外殼： 粉煤灰
推薦流量 30 升/分鐘
連接 1/8", 1/4" 壓縮密封
膜面積 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
顆粒保留 >99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒（在最具穿透性的顆粒尺寸下驗(yàn)證）
運(yùn)行條件 最大工作壓力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
最大正向壓差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
最大反向壓差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
最高工作溫度： 50°C (122°F)
方面 長度： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
直徑： 21.5 毫米（0.85 英寸）
GPUS200FEX04R00CA 8個(gè) 單價(jià)24500 8-10周
GPUS2500FWY08R00CA 4個(gè) 單價(jià)62000 3.5-4個(gè)月
零件號(hào)
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度 選擇選項(xiàng)
WGFG01KP0 1/8" 壓縮密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 10 件裝過濾器
WGFG01KP3 1/8" 壓縮密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 3 件裝過濾器
WGFG21KP0 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 10 件裝過濾器
WGFG21KP3 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 3 件裝過濾器
ENTEGRIS英特格，Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR2現(xiàn)貨
其他商品
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和活性氣體
產(chǎn)品規(guī)格
WG3NS7SL2 WG3NS3RF2 WG2F02PSI
WGSLSHW1MP-T
WGMXMBSS4
WG3SS1WW2
WG2S01WW2
材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發(fā)物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號(hào)
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。我們富有經(jīng)驗(yàn)的應(yīng)用團(tuán)隊(duì)遍布全球，可以根據(jù)對(duì)您的行業(yè)和應(yīng)用情況的了解，為您提供特種氣體供應(yīng)解決方案，以滿足您的獨(dú)特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
Entegris WG2FT1SS2
Entegris WG2FT1SS2
ENTEGRIS WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2
Entegris WG2FT1RR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ZQVTEIC42SP
NXPY300M31SP
PIPW30C3SA
TPVW3CE3S
CHRZ5NPNM1510S82SW
LPFHTIXP12168E71
QCPY30M2S
NXPY150M31SP
NXVYE10902SP
TRPW30C2S
CRZ5NPNM1010SB2SW
TRCTEICOBKPL
TRPJ30EM31SP
NXVYE10942SP
TRCT31COBKP
TRVWACE3S
ECDYOlM01
TPCWACEB1K
CHRZ5TVNM1010S84AXSW
NXVZM10902SP
IHATOIM01K
NXCZM1000KP
PADGIHSVH3EHIK13C
LDFDTIHSVHI600040
TRVXATETN
NXVYM10942SP
TRVTEIC942SPL
NXPGXS0T02HP
TRMWAGE3S
ZQVTE1C942SP
ABPGIHSVH3EH1K13C
NXCYE1000kP
PRLXOlPQ1K
TKVTEIC942SPL
TRPJ30EM31SP
GSCFMEOOKT
SWPO3HSAN4E71KBD
PRLXOLRML
SWF041EC284E7IPE1
SWF04XP284E71K18
LPFVTIXP2168E71
TRDWACE4F
ECDY01M01
ABPGIHSAH3EH1K13D
LDFDTIHSAH16S00109
LPEGNIHSSVH16S00058
TRPM30EM31SP
TRVXATE3S
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPM0GGT4
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴(kuò)散核武器條約
長度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應(yīng)用具有出色的兼容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard SG 氣體過濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示器制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
氣體面板
零件號(hào)
Wafergard SG 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴(kuò)散核武器條約
長度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應(yīng)用具有出色的兼容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard SG 氣體過濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示器制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
氣體面板
零件號(hào)
Wafergard SG 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護(hù) 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測(cè)下限為 5 ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經(jīng)過測(cè)試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1 CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW GPUS2500FIX04R00CA 等常規(guī)型號(hào)均有現(xiàn)貨
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器