關(guān)于頗爾Pall頗爾，為解決復(fù)雜流程工藝而生，通過科學(xué)的專業(yè)知識以解決客戶最復(fù)雜的工藝挑戰(zhàn)；

對于全球80個(gè)國家的10,000名頗爾員工而言，我們擁有著共同的心愿：幫助我們的客戶接受并完成最大的挑戰(zhàn)； 

以保障人們的健康、安全和綠色環(huán)境。 我們的生命科學(xué)和工業(yè)團(tuán)隊(duì)，致力服務(wù)來自各個(gè)領(lǐng)域的客戶，

包括：生物技術(shù)、制藥、醫(yī)療、食品飲料、實(shí)驗(yàn)室、半導(dǎo)體、航空航天、燃料、石化、化工、汽車和電力行業(yè)。 

我們所提供的行業(yè)先進(jìn)技術(shù)與解決方案，保護(hù)著客戶的運(yùn)營資產(chǎn)，提高著成品工藝質(zhì)量，降低著大氣污染與排放，守護(hù)著我們的綠色健康

10,000名全球頗爾員工，我們擁有著共同的心愿：幫助我們的客戶完成最大的挑戰(zhàn)。我們矢志不渝地投身這份挑戰(zhàn)，哪怕他人的質(zhì)疑，持之以恒地推動(dòng)科學(xué)與技術(shù)的進(jìn)步。

我們一次次與客戶的并肩作戰(zhàn)，為我們贏得認(rèn)可，并重新定義了“伙伴”的含義。 1946年創(chuàng)立至今，我們始終堅(jiān)持著這份執(zhí)著。

如今，Pall頗爾成為了過濾、分離和純化的代名詞，技術(shù)與應(yīng)用隨處可見，影響著生活的方方面面。 從濟(jì)世救人的基因治療，到翱翔藍(lán)天的飛機(jī)引擎； 

從國計(jì)民生的液壓工業(yè)，到尖端科學(xué)的治療藥劑； 美酒佳釀、智能數(shù)碼、激光顯示，亦或是造紙印刷。 

我們關(guān)注人們生活的每一天，守護(hù)著客戶的運(yùn)營資產(chǎn)；我們抵御大氣污染與排放，呵護(hù)著人類的綠色健康。  

無論何時(shí)何地，我們一往無前；我們的創(chuàng)新技術(shù)和伙伴精神，履行著對每一位客戶的承諾： 我們，能所不能！

符合并超越工業(yè)標(biāo)準(zhǔn) 我們的高科技解決方案可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的各種應(yīng)用，如工藝氣體過濾、微量水分檢測、超純水以及濕式蝕刻和清潔。

我們開發(fā)和制造的化學(xué)品過濾和純化產(chǎn)品是幾十年服務(wù)于半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)的結(jié)晶。 

我們和供應(yīng)商以及最終用戶之間建立了合作伙伴關(guān)系，以提供卓越的化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）過濾解決方案，并始終致力于開發(fā)更高效、更經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品，以滿足各種研磨液和相關(guān)應(yīng)用的需要。

半導(dǎo)體制造商選擇頗爾過濾和純化產(chǎn)品用于其工藝，以實(shí)現(xiàn)功能、質(zhì)量、節(jié)省成本和提高生產(chǎn)效率。 

適用于半導(dǎo)體制造的先進(jìn)過濾和分離解決方案，具有先進(jìn)的納米攔截功能，可獲得最佳效果，并節(jié)省成本。

 一種清除和最少化有害分子污染物的方法，對于傳統(tǒng)顆粒過濾方法無法企及的半導(dǎo)體制造領(lǐng)域而言，其具有重要意義。

頗爾的大容量純化系統(tǒng)可去除分子雜質(zhì)，且有很長的使用壽命。頗爾過濾器在分子攔截、滲透性、純凈度和耐用性方面性能卓越。

半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用包括集成電路、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、平板顯示和光伏產(chǎn)品。 我們遵循EPA 2010/15 PFOA自主削減計(jì)劃，含氟聚合物生產(chǎn)過程中不再使用PFOA（全氟辛酸銨）作為加工輔助材料。

此計(jì)劃已在全球范圍內(nèi)得到了含氟聚合物制造巨頭及其客戶的認(rèn)可。“不含PFOA”一詞表示過濾器材料配方中不含微量成分PFOA。

用于濕式蝕刻和清潔應(yīng)用的所有含氟聚合物過濾器組件均不含PFOA材料。 異丙醇（IPA）是一種半導(dǎo)體行業(yè)中常用的晶圓干燥化學(xué)品。

隨著半導(dǎo)體器件尺寸的變小，IPA中的污染物控制水平日趨嚴(yán)格。過濾對于減少污染物起到重要作用，為了符合這一要求，我們將致力于為市場提供最先進(jìn)的技術(shù)。

通過IPA清除的顆粒尺寸要求更小，以達(dá)到與污染物控制水平保持一致。對IPA過濾器的另一個(gè)重要要求是使過濾器自身的釋放物最少化。

聚四氟乙烯（PTFE）薄膜過濾器取代了高密度聚乙烯（HDPE）薄膜過濾器，用途更廣。 我們用于半導(dǎo)體應(yīng)用的純化和過濾技術(shù)具有 先進(jìn)的納米攔截功能。

如需更多信息，可點(diǎn)擊這里查看訂購信息或和頗爾專家進(jìn)行交流。

頗爾的CMP過濾器可有效去除較大的研磨顆粒，并維持所需的研磨顆粒配方和化學(xué)構(gòu)成。

采用根據(jù)ILD、STI、鎢、銅、阻擋層銅等拋光液定制的選項(xiàng)，采用頗爾過濾器可減少微小劃痕、電弧擦痕、震紋和加工不穩(wěn)定性。

頗爾光刻過濾器使用一系列自行研制的薄膜材料，以最大程度地減少顆粒、金屬污染、凝膠和微小氣泡。

經(jīng)優(yōu)化的過濾器設(shè)計(jì)可減少啟動(dòng)過程中的化學(xué)品使用量，并使晶圓表面的缺陷最小化，提高產(chǎn)量。

頗爾的工藝氣體過濾器可通過最先進(jìn)的過濾技術(shù)有效去除顆粒。其優(yōu)勢包括過濾效率高、流量大且壓差小、雜質(zhì)氣體溢出少。

此外，我們的全金屬過濾器對于分子污染具有高度透過性。

一種清除和最少化有害分子污染物的方法，對于傳統(tǒng)顆粒過濾方法無法企及的領(lǐng)域而言具有重要意義，

頗爾的大容量純化系統(tǒng)可高效去除分子雜質(zhì)，使用壽命長，從而降低成本。

頗爾的超純水過濾產(chǎn)品可去除膠質(zhì)污染物，例如硅石、細(xì)菌分解物。

此系列的過濾器和純化器可有效清除UPW系統(tǒng)的污染物，以降低金屬離子和分子污染的有害影響。

Ultipleat SP DR 過濾器可為HF和BOE等關(guān)鍵表面處理化學(xué)品池提供先進(jìn)的2nm攔截技術(shù)。

具有的非對稱性氣孔設(shè)計(jì)，系根據(jù)頗爾自主研制的鑄膜技術(shù)而開發(fā)，可降低流動(dòng)阻力，延長使用壽命。

污染控制是半導(dǎo)體設(shè)備制造過程中產(chǎn)生的最棘手的問題之一。

頗爾公司提供過濾、純化和分離解決方案，可廣泛用于各類流體，例如化學(xué)品、氣體、水、CMP研磨液和光阻。 

UHP工藝氣體過濾器用于傳統(tǒng)工藝氣體過濾的常見問題，例如，過濾器可能釋放有害雜質(zhì)氣體以及粒子脫落。

在例行維護(hù)和發(fā)生系統(tǒng)擾亂時(shí)，頗爾卓越的過濾器利用行業(yè)領(lǐng)先的金屬纖維技術(shù)，可以快速置換氣體和實(shí)現(xiàn)分子透明性。

無O型圈Gaskleen IV和V PTFE膜可避免O型圈變形和過濾器旁路，否則用于臨界氨氣（NH3）和臭氧（O3）應(yīng)用時(shí)與標(biāo)準(zhǔn)O型圈不相容時(shí)會(huì)導(dǎo)致出現(xiàn)該情況。

頗爾工藝氣體過濾系統(tǒng)清除關(guān)鍵半導(dǎo)體UHP氣流中的顆粒污染物。請聯(lián)系頗爾專家，了解避免缺陷和提高產(chǎn)率以實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場最大性能的更多信息。 

優(yōu)化解決方案

頗爾優(yōu)質(zhì)工藝氣體凈化解決方案

頗爾工藝氣體凈化系統(tǒng)可清除會(huì)導(dǎo)致晶圓缺陷的雜質(zhì)。分子雜質(zhì)，也被稱作氣態(tài)或揮發(fā)性雜質(zhì)，最近作為缺陷源而更受關(guān)注，可使用頗爾凈化解決方案有效濾除。

這些凈化器可使用材料反應(yīng)床排除水分、氧氣、二氧化碳、一氧化碳、烴和金屬羰基化合物等雜質(zhì)。排出傳統(tǒng)顆粒過濾無效的位置的氣流中的雜質(zhì)。

我們的材料可清除背景水平的污染物，不會(huì)在工藝流中產(chǎn)生金屬或其它有害污染物。所有頗爾凈化器組件都集成過濾器，用于清除顆粒物。

應(yīng)用：

惰性氣體

稀有氣體

不反應(yīng)氣體

氫化物氣體

全氟化碳和腐蝕性氣體

優(yōu)點(diǎn)：

提高工藝穩(wěn)定性

提高面積/工藝效率

減少缺陷

減少現(xiàn)有顆粒過濾器的改裝

定制濾材，過凈化各種氣體

擁有成本低

工藝氣體凈化系統(tǒng)和材料可有效清除顆粒過濾無效區(qū)域內(nèi)的雜質(zhì)。請聯(lián)系頗爾專家，幫助您優(yōu)化工藝氣體凈化系統(tǒng)，通過減少缺陷和提高產(chǎn)率實(shí)現(xiàn)最大現(xiàn)場性能。