（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應(yīng)用具有出色的兼容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard SG 氣體過濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示器制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
氣體面板
零件號(hào)
Wafergard SG 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴(kuò)散核武器條約
長度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應(yīng)用具有出色的兼容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard SG 氣體過濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示器制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
氣體面板
零件號(hào)
Wafergard SG 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護(hù) 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測(cè)下限為 5 ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經(jīng)過測(cè)試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1 CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW GPUS2500FIX04R00CA 等常規(guī)型號(hào)均有現(xiàn)貨
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
CTPR01P01K
CTFA01TC1K
CBUZ8L0P1
MR1F01025EH1
VCSC10004M3F300
CTFC01TPE
NXCYE10000P
CTFG01TPEKPW
NXCVX1000KP
CTFG02TPEK
CTFV02TPEK
GSCFM2E00KT
MRF1UKFR25EH1--K3
MRF1UKFT25EH1--K3
ABFG1GPK3EHI-K7
ABFIUFR3EH1-K3
ABDG1HSSH3EHI-K13C
EZA2091201
AB09UHHD3EHIK12
TADXACEOF
TRVXATE3S
TRVXATE4S
ECDFM1C942SD
S4415R026Y18
XPRESSKLEEN KC
QCDYACM2F
PIPW30C2S
4022.656.73041
TRPT15XM31SP
TRPW30C3S
NXPY150M86SP
NXDZM10B022P
LDFN3UFD7E2
SWF03XP54E71-K18
LDFVT1GPDL168E71-K
LDFN01F0005SW22
DFA2Y002F64
QCVYATE4S
VDKD0010BFL64-4D
ULTIKLEEN G2 HIT KC
FILTER UPW
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
WGFGMBRR4 WGFGT1PR1 WGMXLPRR6 LGMXFPRR4 LGMXFPSS3 WG2F02RR2 WG2F02RR4 WG2F15HJJ6 WG2FT1RR2 WG3NS8RR2 WGFA21KP0 WGFG01DS0 WGFG01DSH WGMXMBRR4 WGMXMPRR4 WGMXMSRR2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 YY5032PR1 YY5032PS1 SI2N0100B
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對(duì)齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì)
保持器 316 不銹鋼
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95%
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGMXMBRR4 WGMXMBRR2 WGFGMBRR2 過濾器 應(yīng)特格
WGFG01KP3 WGFG01DSH WGFG01DS0 WGFA21KP0
WGSLSFC1M
YY5001HR1
LGMXFPRR4 過濾器 entegris 應(yīng)特格
SI2R15E05 SI2N0100B SI2N0200B 過濾器