推動(dòng)改變世界的科技
作為一個(gè)與領(lǐng)先制造商合作，推動(dòng)技術(shù)持續(xù)進(jìn)步的全球性公司，我們擁有全球基礎(chǔ)設(shè)施，包括戰(zhàn)略性分布的制造工廠、研發(fā)設(shè)施和客戶支持中心。
我們?cè)谒腥虻貐^(qū)都進(jìn)行基礎(chǔ)設(shè)施投資，以便更靠近我們的客戶。我們技術(shù)高超的團(tuán)隊(duì)成員、設(shè)施和資源就在您最需要的地方，幫助您解決最先進(jìn)的技術(shù)問題。
產(chǎn)品與解決方案包括：
凈化氣體、流體和環(huán)境的過濾產(chǎn)品
液體系統(tǒng)和組件，用于分配、控制、分析或傳輸工藝流體
安全儲(chǔ)存和輸送有毒氣體的氣體輸送系統(tǒng)
用于先進(jìn)節(jié)點(diǎn)沉積和清潔的特殊化學(xué)品
晶圓運(yùn)輸和包裝盒，防止半導(dǎo)體晶圓受到污染和破損
提供高純度表面以增強(qiáng)耐磨性、耐腐蝕性和光滑度的特種涂層
高性能應(yīng)用的優(yōu)質(zhì)石墨和碳化硅
用于保護(hù)和運(yùn)輸硬盤驅(qū)動(dòng)器組件的包裝盒和托盤
我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力創(chuàng)新科學(xué)
第四次工業(yè)革命已經(jīng)到來。人工智能、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)、物聯(lián)網(wǎng)——這些不僅僅是趨勢(shì)，它們正在改變?nèi)蛉藗兊纳罘绞健?/p>
隨著這些新驅(qū)動(dòng)力和創(chuàng)新速度的加快，人們期望能更快地獲得更高質(zhì)量、更高性能的技術(shù)。
通過屢獲殊榮的解決方案和我們的技術(shù)專業(yè)知識(shí)，我們?yōu)榭蛻籼峁﹦?chuàng)新的、基于科學(xué)的解決方案，以應(yīng)對(duì)他們最棘手的技術(shù)挑戰(zhàn)。 在Entegris，我們是創(chuàng)新之科學(xué)。
材料科學(xué)與分析分離科學(xué)膜科學(xué)與工程聚合物表征與開發(fā)界面科學(xué)污染源分析
先進(jìn)材料材料合成與定制配方精密氣體混合物特種涂料石墨、碳化硅和工程碳表面預(yù)處理和清潔液態(tài)和氣態(tài)儲(chǔ)存與運(yùn)輸
微污染控制前沿液體過濾和凈化氣體凈化到十萬億分之一 (ppt) 水平先進(jìn)晶圓廠的空氣分子污染（AMC）解決方案晶圓和掩膜片處理流體管理、感知與控制
制造卓越超凈元件和材料制造快速原型和定制先進(jìn)的質(zhì)量控制與集成統(tǒng)計(jì)過程控制廣泛的全球制造業(yè)務(wù)足跡
氣體過濾與凈化
當(dāng)涉及到空氣、散裝氣體或特定氣體的過濾和凈化時(shí)，Entegris擁有專業(yè)知識(shí)、技術(shù)和解決方案來滿足您的需求。
無論是用于點(diǎn)用還是批量氣體輸送，是在腔室內(nèi)還是在晶圓上，是在潔凈室還是在工具上，Entegris 都有悠久的歷史，提供高性能的氣體和空氣凈化及過濾產(chǎn)品以滿足您的需求。
藏在明處：一種提高氣體純度和減少晶圓缺陷的預(yù)防性維護(hù)策略
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AMC過濾器潔凈室、掃描儀和工藝工具化學(xué)空氣過濾器
空氣和氣體過濾膜疏水MCE膜用于空氣和氣體過濾
氣體過濾器在氣體流程中使用鎳、不銹鋼和PTFE膜技術(shù)進(jìn)行污染控制
氣體擴(kuò)散器快速向大氣排放，不向腔室內(nèi)添加顆粒
氣體凈化器有各種各樣的材料可以將氣體凈化到十億分之一 (ppt) 的水平。
在線PTFE氣體過濾器
用于低溫應(yīng)用中的高純度顆粒去除的聚合物膜氣體過濾器
我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾，以最小化壓力降并最大化過濾器壽命。選擇Wafergard
和Linegard
在線氣體過濾器。
LED
相關(guān)產(chǎn)品類別
其他氣體過濾器Wafergard
GN氣體過濾槍是一種易于使用、輕便的POU（使用點(diǎn)）解決方案，用于控制氣體污染。過濾元件是Entegris獨(dú)家設(shè)計(jì)，用于各種半導(dǎo)體工藝。
在線不銹鋼氣體過濾器Entegris的在線不銹鋼氣體過濾器專為高壓和高溫應(yīng)用設(shè)計(jì)。它們易于安裝，無需進(jìn)行設(shè)計(jì)更改。
在線鎳燃?xì)膺^濾器Entegris的超純鎳過濾器是高壓、高溫應(yīng)用中清潔度和效率最高的氣體過濾產(chǎn)品。
表面貼裝氣體過濾器不銹鋼或鎳濾芯，Wafergard 氣體過濾器提供終極過程保護(hù)，卓越的耐腐蝕性和與惰性、氫化物和反應(yīng)性氣體的出色兼容性。
表面貼裝設(shè)計(jì)節(jié)省氣體面板的空間，減少零件庫存和差異。我們的表面貼裝氣體過濾器產(chǎn)品組合包括C密封1.125英寸和W密封1.125英寸或1.5英寸格式。
在線合金-22氣體過濾器Wafergard
IV合金-22（通常以品牌名稱HASTELLOY
C-22
合金）濾器是適用于腐蝕性和超純環(huán)境的最清潔、最高效、全金屬濾器。
通風(fēng)氣體過濾器我們的氣體過濾器提供卓越的顆粒過濾性能，高效控制多種生命科學(xué)、微電子、食品和飲料及其他應(yīng)用領(lǐng)域的污染。
批量氣體過濾器和外殼兼容廣泛的散裝氣體，包括CDA氮?dú)狻鍤?、氧氣、氫氣和氦氣。每個(gè)解決方案都是根據(jù)流量、供應(yīng)壓力和供應(yīng)純度設(shè)計(jì)的。
我們的空氣和氣體過濾膜產(chǎn)品組合具有良好的強(qiáng)度，易于模切和密封。我們的膜產(chǎn)品有多種形狀可供選擇，包括圓盤、正方形和卷軸，可以根據(jù)您獨(dú)特應(yīng)用所需的精確尺寸進(jìn)行定制。
氣體凈化器
有各種各樣的材料可以將氣體凈化到十億分之一 (ppt) 水平。
我們創(chuàng)新的氣體微污染控制解決方案能夠以高可靠性、低成本和高性能有效去除氣體污染物。獨(dú)立的氣體凈化系統(tǒng)提供先進(jìn)的控制和原位再生，以滿足您的規(guī)格要求。
我們廣泛的氣體凈化器和環(huán)保系統(tǒng)組合旨在提高半導(dǎo)體、平板顯示、氫能及其他高純度應(yīng)用中的氣體一致性、使用壽命和出口純度。顯示 25 個(gè)產(chǎn)品
H2PS 除氧干燥機(jī) - 零損失氣體凈化器
使通過電解槽產(chǎn)生的氫氣達(dá)到亞百萬分之一的純度水平。
GPS8 氮?dú)鈨艋?br style="margin: 0px; padding: 0px; font-family: 微軟雅黑;" />
高效地去除大量雜質(zhì)，具有高可靠性、低成本和高性能。
GateKeeper
GPU 氣體凈化器
我們的GPU氣體凈化器能夠高效地去除各種流量下的鹵化氣體、氫化物、活性氧化物、飽和和不飽和烴類、氟烴和氯烴。
氣體凈化
GateKeeper
HGU 加熱型氣體凈化器
我們的PS2、PS3、PS4氣體凈化器高效地去除H2O、O2、CO、CO2、H2、N2和THC，流量高達(dá)150 slpm（9 Nm3/hr）。
MegaTorr
PS8 氮?dú)鈨艋?br style="margin: 0px; padding: 0px; font-family: 微軟雅黑;" />
我們的自動(dòng)再生式，PS8，N2 氣體凈化器高效地去除2氧氣、2、一氧化碳、2和2，流量高達(dá)833,333 slpm（50,000 Nm3/hr）。
MegaTorr
PS9 氮?dú)鈨艋?br style="margin: 0px; padding: 0px; font-family: 微軟雅黑;" />
我們的催化劑和吸附劑，PS9，N2 批量氣體凈化器高效去除2氧氣、O2、一氧化碳、CO2、氫氣和四氫呋喃，流速高達(dá)200,000 slpm（12,000 Nm3/hr）。
MegaTorr
PS5 氬氣凈化器
我們的PS5稀有氣體凈化器高效去除H2、O2、CO、CO2、H2、N2和THC，流量高達(dá)5,833 slpm（350標(biāo)準(zhǔn)立方米/小時(shí)）。
MegaTorr
PS7-A 氫氣凈化器
我們的自動(dòng)再生型，PS7-A，H2 氣體凈化器高效地去除2O，O2，CO，CO2，以及NMHC，流量高達(dá)16,667 slpm（1,000 Nm3/hr）。
MegaTorr
PS7-H 氫氣凈化器
我們的吸附劑和捕獲劑PS7-H，H2 氣體凈化器高效去除H2O、O2、CO、CO2、THC和N2，流量高達(dá)3,333 slpm（200 Nm3/hr）。
MegaTorr
PS7-CR 氫氣凈化器
我們的低溫、PS7-CR、H2 氣體凈化器高效地去除H2O、O2、CO、CO2、THC和N2，流量高達(dá)16,667 slpm（1,000 Nm3/hr）。
在線不銹鋼氣體過濾器
不銹鋼膜氣體過濾器，用于高溫應(yīng)用中的0.0015微米顆粒去除
Entegris的在線不銹鋼氣體過濾器專為高壓和高溫應(yīng)用設(shè)計(jì)。它們易于安裝，無需進(jìn)行設(shè)計(jì)更改。
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Wafergard
II SF 半在線氣體過濾器
Wafergard II SF 半在線氣體過濾器是首選的高純氣體系統(tǒng)過濾器，特別適用于全不銹鋼結(jié)構(gòu)的應(yīng)用場(chǎng)合。先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除材料的揮發(fā)。
全金屬結(jié)構(gòu)非常適合高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用。其緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了終極設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本。
工業(yè)，半導(dǎo)體，平面顯示面板，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，LED
Wafergard
II SF 微型 XL 在線氣體過濾器
Wafergard
II SF Micro XL 在線氣體過濾器是高純度氣體系統(tǒng)中首選的不銹鋼結(jié)構(gòu)過濾器。
Gasketgard
在線墊片過濾器
Gasketgard
在線墊片過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可替代標(biāo)準(zhǔn)的1/4", 3/8"和1/2" VCR
墊片。
Wafergard
II SF迷你/迷你XL在線氣體過濾器
Wafergard
II SF Mini 和 Mini XL 在線氣體過濾器是高純氣體系統(tǒng)中首選的不銹鋼結(jié)構(gòu)過濾器。
Wafergard
II 3XP 在線氣體過濾器
適用于中等流量范圍（最高500標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）的UHP應(yīng)用的全不銹鋼氣體過濾器
200毫米晶圓運(yùn)輸盒
我們提供種類繁多的產(chǎn)品，以滿足當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)的需求。我們的解決方案解決了200毫米晶圓廠中的自動(dòng)化、污染和生產(chǎn)力問題。
150毫米晶圓運(yùn)輸盒
我們提供種類繁多的產(chǎn)品，以滿足當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)的需求。我們的解決方案解決了150毫米晶圓廠中的自動(dòng)化、污染和生產(chǎn)力問題。
125毫米晶圓運(yùn)輸盒
我們提供種類繁多的產(chǎn)品，以滿足當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)的需求。我們的解決方案解決了125毫米在自動(dòng)化、污染和生產(chǎn)力方面的擔(dān)憂。
100毫米晶圓運(yùn)輸盒
我們提供種類繁多的產(chǎn)品，以滿足當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)的需求。我們的解決方案解決了100毫米晶圓廠中的自動(dòng)化、污染和生產(chǎn)力問題。
76.2 毫米 (3英寸) 晶圓運(yùn)輸盒
我們提供種類繁多的76.2毫米產(chǎn)品，以滿足當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)的需求。我們的解決方案解決了自動(dòng)化、污染和生產(chǎn)力問題。
2.5英寸及更小晶圓運(yùn)輸盒
我們提供種類繁多的2.5英寸產(chǎn)品，以滿足當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)的需求。我們的解決方案解決了自動(dòng)化、污染和生產(chǎn)力問題。
產(chǎn)品目錄
提升您的工藝，提高純度、安全性和性能
作為提供先進(jìn)材料、污染控制和材料處理解決方案的全球領(lǐng)先企業(yè)，我們擁有您實(shí)現(xiàn)制造工藝目標(biāo)所需的產(chǎn)品、技術(shù)和專業(yè)知識(shí)的廣泛組合。
精選視頻
綜合計(jì)量方法的整體過濾解決方案：過氧化氫與聚四氟乙烯膜
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化學(xué)
作為一個(gè)提供先進(jìn)專用材料和遞送系統(tǒng)的供應(yīng)商，我們擁有制定和遞送您所需化學(xué)物質(zhì)的專業(yè)知識(shí)，以實(shí)現(xiàn)您的工藝并達(dá)到您的性能目標(biāo)。
設(shè)備托盤
綜合IC封裝配送系統(tǒng)，用于保護(hù)和運(yùn)輸裸片、CSP、光電元件及其他微電子裝置。
流體管理系統(tǒng)
我們提供完整的系統(tǒng)解決方案，從大宗化學(xué)品分發(fā)到使用點(diǎn)，構(gòu)建一個(gè)完整、無泄漏、可靠的流體處理網(wǎng)絡(luò)。
氣體過濾與凈化
從空氣或工藝氣體流中去除不需要的氣體分子對(duì)于減少工藝污染至關(guān)重要。我們的過濾器和擴(kuò)散器系列旨在保護(hù)房間和工藝免受污染物的侵害。
硬盤組件處理
可靠的硬盤組件處理解決方案，能夠安全高效地運(yùn)輸關(guān)鍵材料。
液體過濾與凈化
我們能力的核心是先進(jìn)的科學(xué)知識(shí)和精湛的制造技術(shù)，能夠提供當(dāng)今市場(chǎng)上最好的液體過濾和凈化解決方案。
掩膜和十字線處理
正確處理重要的工藝技術(shù)對(duì)工藝性能至關(guān)重要。我們的pod、包裝和系統(tǒng)提供頂級(jí)的保護(hù)，防止損壞和污染。
其他基片處理
我們的晶圓保護(hù)盒和盒式容器旨在為您的珍貴基板提供終極保護(hù)，在日常運(yùn)輸活動(dòng)中確保其免受損壞和污染。
特種氣體
我們是為各種制造過程提供安全儲(chǔ)存和輸送高毒性氣體的領(lǐng)導(dǎo)者。
特殊材料
優(yōu)質(zhì)石墨、碳化硅和用于當(dāng)今高要求高科技應(yīng)用的涂層解決方案。
晶圓處理
創(chuàng)新的晶圓運(yùn)輸和處理解決方案，為寶貴的晶圓提供卓越的保護(hù)。
批量氣體過濾器和外殼
易于安裝，緊湊型鎳和PTFE膜氣體過濾器和不銹鋼外殼，用于去除0.0015微米的顆粒，在高溫和高流量應(yīng)用中（高達(dá)50,000Nm3/hr）。
兼容廣泛的散裝氣體，包括CDA氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氣和氦氣。每個(gè)解決方案都是根據(jù)流量、供應(yīng)壓力和供應(yīng)純度設(shè)計(jì)的。