半導體晶圓廠的安全管理 氣體探測器，GD-70D-EA，日本RIKEN KEIKI理研
半導體晶圓廠的安全管理 氣體探測器，GD-70D-EA，日本RIKEN KEIKI理研
固定式氣體探測器
GD-70D系列
GD-70D
功能
GD-70D系列是一種氣體檢測探頭，用于檢測有毒氣體、氧氣和半導體和液晶工廠等產(chǎn)生的可燃性氣體。
通過傳感器基板的再利用和零部件的回收，已經(jīng)實現(xiàn)了減少環(huán)境負荷。
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抽樣方法
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吸吮型/單型
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檢測原理
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新陶瓷催化法，半導體法，熱絲型半導體法，非色散紅外法，電位電解法，膜式原電池法，熱解-顆粒檢測法
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警報類型
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氣體報警/故障報警
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顯示警報
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1st : ALM1 燈照明 (紅色) 2nd : ALM2 燈照明 (紅色)
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防爆建筑
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非防爆保護
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CE認證
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電磁兼容性 / 限制使用有害物質(zhì)
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電源
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24 VDC±10 %
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維度
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約 70 (寬) x 120 (高) x 145 (深) 毫米
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重量
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約0.9公斤
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工作溫度范圍
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0 到 40 ℃（無突變變化）
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操作濕度范圍
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30%到70%相對濕度（無冷凝）
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目標氣體
1-C6H12, ALD, AsH3, B2H6, Br2, BTBAS, C10H22, C2F4, C2H2, C2H2CL2, C2H4, C2H4O2, C2H5OH, C2H6, C2HCL3, C3F6, C3H6, C3H6O, C3H8, C4F6, C4H6, C5F8, C5H5N, C5H8O, C6H12, C6H12O3, C7H8, C8H16, C8H18, CH2CL2, CH2O2, CH3CN, CH3OH, CH3SiH3, CH4, CL2, CLF3, CO, COF2, COS, CTFE, D2, DEA, DEMS, DMA, DMAC, DMDMOS, DMF, EDC, EMA, EO, EtAc, F2, GeH4, H2, H2O2, H2S, H2Se, HBr, HCL, HCN, HF, HFE7200, Hhfac, HI, HMDS, HMDSO, HNO3, i-C4H10, i-C4H8, I2, IPA, LAE, LPG, MMtA, n-C6H14, N2H4, N2O, NF3, NH3, NMP, NO, NO2, O2, O3, OK-73, OMCTS, PF3, PGMMEAc, PH3, QMS, R-123, R-134a, R-152A, R-245fa, R-32, R-407E, R-41, R-410A, Si2H6, Si3H9N, SiH4, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMA, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS, VCM, VDF
Fixed Gas Detector
GD-70D series
GD-70D
Features
GD-70D series is a gas detector head to detect toxic gas, oxygen,
and combustible gas generated at semiconductor and liquid crystal factory, etc.
The reduction of an environmental load has been achieved by reuse of the sensor substrate and recycling of components.
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Sampling method
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Suction type/Single type
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Principle of detection
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New Ceramic catalytic Method, Semi-Conductor Method, Hot Wire Type Semi-Conductor Method, Non-Dispersive Infrared Method, Potentiostatic Electrolysis Method, Membrane Type Galvanic Cell Method, Pyrolysis-Particle Detection Method
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Type of alarm
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Gas alarm / fault alarm
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Display of alarm
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1st : ALM1 lamp lighting (red) 2nd : ALM2 lamp lighting (red)
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Explosion protected construction
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Non-explosion protection
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CE marking
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EMC / RoHS
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Power source
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24 VDC±10 %
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Dimensions
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Approx. 70 (W) x 120 (H) x 145 (D) mm
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Weight
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Approx. 0.9kg
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Operating temperature range
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0 to 40 ℃ (no sudden changes)
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Operating humidity range
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30 to 70 %RH (no condensation)
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Target gas
1-C6H12, ALD, AsH3, B2H6, Br2, BTBAS, C10H22, C2F4, C2H2, C2H2CL2, C2H4, C2H4O2, C2H5OH, C2H6, C2HCL3, C3F6, C3H6, C3H6O, C3H8, C4F6, C4H6, C5F8, C5H5N, C5H8O, C6H12, C6H12O3, C7H8, C8H16, C8H18, CH2CL2, CH2O2, CH3CN, CH3OH, CH3SiH3, CH4, CL2, CLF3, CO, COF2, COS, CTFE, D2, DEA, DEMS, DMA, DMAC, DMDMOS, DMF, EDC, EMA, EO, EtAc, F2, GeH4, H2, H2O2, H2S, H2Se, HBr, HCL, HCN, HF, HFE7200, Hhfac, HI, HMDS, HMDSO, HNO3, i-C4H10, i-C4H8, I2, IPA, LAE, LPG, MMtA, n-C6H14, N2H4, N2O, NF3, NH3, NMP, NO, NO2, O2, O3, OK-73, OMCTS, PF3, PGMMEAc, PH3, QMS, R-123, R-134a, R-152A, R-245fa, R-32, R-407E, R-41, R-410A, Si2H6, Si3H9N, SiH4, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMA, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS, VCM, VDF
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報警系統(tǒng)
半導體
制造工廠
海外銷售
銷量為
GD-70D系列
可用于各種
半導體制造過程
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固定式氣體探測器固定式氣體探測器可用于檢查工人所在工作環(huán)境的安全性，也可用于檢測制造設施和設備的氣體泄漏。其緊湊設計允許更小的安裝空間。
GD-84D-EX
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GD-70D
許多氣體
種類
支持多種
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