·快速、可靠、穩(wěn)定的特種氣體探測，可探測40多種氣體
·連續(xù)實時監(jiān)控
·傳感器更換便捷
·設(shè)備主機通用性強
·運行成本低
·維護(hù)成本低
·多種標(biāo)準(zhǔn)信號輸出
·智能自診斷功能
可探測氣體類型
SIH4/PH3/HF/NH3/HCL/BCL3/H2/ASH3/HCN/B2H6/CO/GeH4/H2S/NH3/O2/TMB/TMP/TEOS/CH2F2/O3...
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應(yīng)用范圍：
·氣瓶柜
·閥箱
·生產(chǎn)機臺
·環(huán)境點
·氣瓶儲藏室
·原始制造商配套設(shè)備
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配備電化學(xué)傳感單元的氣體探測
物質(zhì)/傳感器?傳感器零件號碼?額定量程?備註
AsH3?砷化氫（3?電極） 9602-6001 0 ... 1.00 ppm
AsH3?砷化氫（2?電極） 9602-6000 0 ... 1.00 ppm?特殊應(yīng)用
AsH3?砷化氫（2?電極） 9602-6002 0 ... 10.0 ppm?特殊應(yīng)用
B2H6?乙硼烷?9602-6200 0 ... 1.00 ppm
Br2?溴氣?9602-6800 0 ... 5.00 ppm
Cl2?氯氣?9602-5300 0 ... 5.00 ppm
ClF3?三氟化氯?9602-7410 0 ... 1.00 ppm
ClO2?二氧化氯?9602-7400 0 ... 1.00 ppm
CO?一氧化碳?9602-5400 0 ... 500 ppm
COCl2?光氣?9602-6600 0 ... 1.00 ppm
F2?氟氣?9602-6400 0 ... 5.00 ppm
GeH4?鍺烷?9602-6900 0 ... 5.0 ppm
H2?氫氣?(1%) 9602-5100 0 ... 1.000 % vol.
H2?氫氣?(4%) 9602-5101 0 ... 4.00 % vol.?特殊量程
H2S?硫化氫?9602-5200 0 ... 100 ppm
H2S?硫化氫（有機） 9602-5201 0 ... 30.0 ppm?特殊應(yīng)用
H2Se?硒化氫?9602-5600 0.00 ...5.00ppm
HBr?溴化氫?9602-7000 0 ... 30.0 ppm
HCl?氯化氫?9602-5800 0 ... 30.0 ppm
HCN?氰化氫?9602-5700 0 ... 30.0 ppm
HF?氟化氫?9602-6500 0 ... 10.0 ppm
HMDS?六甲基二矽氮烷?9602-6715 0 ... 0.500 % vol.
HMDS?六甲基二矽氮烷?9602-6714 0 ... 500 ppm
N2H4?聯(lián)氨?9602-7600 0 ... 1.00 ppm
NH3?氨氣?100ppm 9602-6704 0 ... 100 ppm?標(biāo)準(zhǔn)
NH3?氨氣?1000ppm 9602-6705 0 ... 1000 ppm?標(biāo)準(zhǔn)，更高量程
NO?一氧化氮?9602-7200 0 ... 250 ppm
NO2?二氧化氮?9602-7300 0 ... 25.0 ppm
O2?氧氣?9602-5500 0 ... 25.0 % vol.
O3?臭氧?9602-7100 0 ... 1.00 ppm
O3?臭氧?9602-7101 0 ... 1.00 ppm?排氣監(jiān)控
PH3?磷化氫（2?電極） 9602-6100 0 ... 1.00 ppm?特殊應(yīng)用
PH3?磷化氫（3?電極） 9602-6101 0 ... 1.00 ppm
SiH4?矽烷?9602-6300 0 ... 50.0 ppm
SO2?二氧化硫?9602-5900 0 ... 25.0 ppm
TEOS?正矽酸乙酯?9602-7500 0 ... 100 ppm
TMB?硼酸三甲酯?9602-7510 0 ... 200 ppm
TMP?亞磷酸三甲酯?9602-7800 0 ... 30.0 ppm
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配備可燃?xì)怏w傳感器的氣體探測
物質(zhì)/傳感器?傳感器零件號碼?額定量程?備註
CH4?甲烷?9602-9900 0 ... 100 LEL?僅限?Satellite C/標(biāo)準(zhǔn)
CH4?甲烷?9602-9901 0 ... 100 LEL?僅限?Satellite C
CH4?甲烷?9602-9902 0 ... 100 LEL Sat-Ex C?版本
CH4?甲烷?9602-9903 0 ... 100 LEL Sat-Ex C?版本
CH4?甲烷?9602-9905 0 ... 100 LEL Sat-Ex C?版本
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熱裂解模塊?XT
配備電化學(xué)傳感單元的氣體探測
物質(zhì)/傳感器??????傳感器零件號碼???額定量程????備註
C4F6?六氟化四碳????9602-9732 ????0.....50.0 ??ppm
C5F8?八氟環(huán)戊烯???9602-9730 ?????0 ... 20.0 ??ppm
CH3F?氟甲烷???????9602-9720 ?????0 ... 0.500 ?% vol.
DCE 1,2?二氟乙烯???9602-9600 ?????0 ... 1000 ?ppm
NF3?三氟化氮???????9602-9700 ????0 ... 50.0 ??ppm
SF6?六氟化硫??????9602-9710 ?????0 ... 0.500 ??% vol.
