美國MKS 640B 集成絕對壓力控制器，640B-29652現(xiàn)貨3臺

?產(chǎn)品?壓力控制器和閥門?壓力控制器?集成上游和下游壓力控制器?640B?集成絕對壓力控制器
640B?集成絕對壓力控制器
產(chǎn)品
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配置選項
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資源
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640B?絕對壓力控制器是一個獨(dú)立的、緊湊的閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)，包含一個?Baratron?電容壓力計、常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。640B?在電氣方面類似于標(biāo)準(zhǔn)?MFC，由?±15?VDC?供電，電流僅為?200?mA，允許與標(biāo)準(zhǔn)電源和顯示電子設(shè)備一起使用。壓力輸出和輸入控制信號為線性?0-5?或?0-10?VDC。兩個帶?LED?狀態(tài)指示燈的跳變點用作簡單的開/關(guān)過程限制。

集成?Baratron?電容壓力計技術(shù)
低壓過程的滿量程范圍低至?10?Torr
可與上游或下游控制器應(yīng)用程序一起使用
用于過程限制控制的兩個報警觸發(fā)點

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?比較模型圖紙、CAD?和規(guī)格壓力范圍流速可用性價格640B11TW1M12M絕對壓力控制器，10?Torr，200?sccm，4?VCR-M，金屬密封，金屬閥塞??10托200?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B11TW1M12V絕對壓力控制器，10?Torr，200?sccm，4?VCR-M，金屬密封，Viton?閥塞??10托200?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B11TW1M22M絕對壓力控制器，10?Torr，1000?sccm，4?VCR-M，金屬密封，金屬閥塞??10托1000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B11TW1M22V絕對壓力控制器，10?Torr，1000?sccm，4?VCR-M，金屬密封，Viton?閥塞??10托1000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B11TW1M32M絕對壓力控制器，10?Torr，5000?sccm，4?VCR-M，金屬密封，金屬閥塞??10托5000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B12TW1M12M絕對壓力控制器，100?Torr，200?sccm，4?VCR-M，金屬密封，金屬閥塞??100托200?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B12TW1M22M絕對壓力控制器，100?Torr，1000?sccm，4?VCR-M，金屬密封，金屬閥塞??100托1000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B12TW1M22V絕對壓力控制器，100?Torr，1000?sccm，4?VCR-M，金屬密封，Viton?閥塞??100托1000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B12TW1M32M絕對壓力控制器，100?Torr，5000?sccm，4?VCR-M，金屬密封，金屬閥塞??100托5000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B12TW1V12V絕對壓力控制器，100?Torr，200?sccm，4?VCR-M，Viton?密封件，Viton?閥塞??100托200?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B12TW1V22V絕對壓力控制器，100?Torr，1000?sccm，4?VCR-M，Viton?密封件，Viton?閥塞??100托1000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B12TW1V32V絕對壓力控制器，100?Torr，5000?sccm，4?VCR-M，Viton?密封件，Viton?閥塞??100托5000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B13TW1M12M絕對壓力控制器，1000?Torr，200?sccm，4?VCR-M，金屬密封，金屬閥塞??1000托200?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B13TW1M22M絕對壓力控制器，1000?Torr，1000?sccm，4?VCR-M，金屬密封，金屬閥塞??1000托1000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B13TW1M32M絕對壓力控制器，1000?Torr，5000?sccm，4?VCR-M，金屬密封，金屬閥塞??1000托5000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B13TW1V12V絕對壓力控制器，1000?Torr，200?sccm，4?VCR-M，Viton?密封件，Viton?閥塞??1000托200?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B13TW1V22V絕對壓力控制器，1000?Torr，1000?sccm，4?VCR-M，Viton?密封件，Viton?閥塞??1000托1000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米
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?引用640B13TW1V32V絕對壓力控制器，1000?Torr，5000?sccm，4?VCR-M，Viton?密封件，Viton?閥塞??1000托5000?標(biāo)準(zhǔn)立方厘米

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?描述640B絕對壓力控制器，閉環(huán)，640B
?引用
規(guī)格
類型
640B?絕壓控制器
壓力范圍
10、100、1000?mmHg（托）、60、100?psi（滿量程）
配件類型
4?VCR、8?VCR、0.25?英寸管或表面貼裝
流速
50、200、1000、5000、10000、20000、50000?sccm（N2?的標(biāo)稱滿量程流速，入口壓力為?15?psig，出口壓力為大氣壓）
跳閘點
兩個集電極開路晶體管
額定值：250?mA?@?30?VDC
可調(diào)：滿量程的?1?至?100%
遲滯：滿量程的?3%
指示器：啟動時綠色?LED?亮起
壓力控制精度
滿量程的?±0.2%
傳感器超壓限制
45?psia?或?2x?滿量程，以較大者為準(zhǔn)
最大壓差
20,000?和?50,000?sccm?孔口為?30
psi?50?至?10,000?sccm?孔口為?150?psi
（與傳感器超壓限制一致）
控制方式
下游標(biāo)準(zhǔn)；上游可選
壓力測量精度
讀數(shù)的?±0.5%（包括線性度、遲滯和可重復(fù)性）
零溫度系數(shù)
零位：滿刻度的?±0.02%/°C
跨度溫度系數(shù)
跨度：讀數(shù)的?±0.04%/°C
控制范圍
>2?到?100%?的滿量程
典型響應(yīng)時間
<1.0?秒（不包括系統(tǒng)時間常數(shù)）
工作溫度
0?-?50°C（32°?至?122°F）
儲存溫度
-20?至?80°C（-4°?至?176°F）
外部泄漏完整性
<10?-9?scc/秒?He
通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性
彈性體閥：<10?-4?sccc?He
金屬閥：<1%?滿量程?(N2?@?1?atm.?ΔP)
Kel-F?閥：<0.5%?滿量程?(N2?@?1?atm.?ΔP)
（通過關(guān)閉閥門）*
接液材料
標(biāo)準(zhǔn)：316L?SS、316L/VAR?SS、鉻鎳鐵合金、鎳
可選：Viton、Kalrez、Kel-F
所需電源
±15?VDC?±5%，最大?200?mA
連接器接口
15?針公頭“D”型
儀表響應(yīng)時間
<100?毫秒
射頻干擾靈敏度
SAMA?33.1，1-abc：<滿量程的?0.2%
輸入輸出信號
0-5?VDC?標(biāo)準(zhǔn)；0-10?VDC?可選
電纜長度
最大?100?英尺?(30?m)
重量
2.54?磅。（1.15?公斤）
方面
1.5?英寸（38.1?毫米）x?4.88?英寸（124?毫米）（4?VCR）x?5.50?英寸（140?毫米）最大
遵守
CE認(rèn)證

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