美國(guó) Entegris 英特格 WG3NS6RR2 直通式氣體過(guò)濾器Micro XL

為超純氣體系統(tǒng)過(guò)濾提供卓越的顆粒過(guò)濾。

全金屬結(jié)構(gòu)提供最清潔、最高效的全金屬過(guò)濾器
獲得專(zhuān)利的鎳過(guò)濾膜具有卓越的耐腐蝕性和優(yōu)異的化學(xué)兼容性
創(chuàng)新的外殼設(shè)計(jì)有助于消除排氣并縮短干燥時(shí)間
高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
通常用于流量高達(dá) 30 slpm

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材料?? ?過(guò)濾膜?? ?獲得專(zhuān)利的燒結(jié)鎳
住房?? ?電解拋光 F20 不銹鋼
下游清潔度?? ?粒子*?? ?<0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/ft 3 ) >0.01 μm
揮發(fā)物**?? ?H 2 O、O 2和 THC 的揮發(fā)性脫氣低于可檢測(cè)限值（在室溫下通過(guò) RGA 和 FID）
去除等級(jí)?? ?≥0.0015微米?? ?
內(nèi)部表面處理?? ?≤5μin Ra?? ?
氦氣泄漏率?? ?合格的?? ?2x10 -10 ?atm cc/秒
已測(cè)試?? ?1x10 -9 ?atm cc/秒
最大操作條件?? ?最大入口壓力：?? ?70 巴 (1000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向/反向壓差：?? ?10 巴（150 磅/平方英寸）
最高工作溫度?? ?惰性氣體?? ?35 巴 (500 psi) 時(shí)為 400°C (752°F)
腐蝕性和反應(yīng)性氣體?? ?70 巴 (1000 psi) 時(shí)為 50°C (122°F)
保修單?? ?5年?? ?
顆粒保留?? ?在 30 slpm 下，所有顆粒去除率超過(guò) 99.9999999% (9 LRV)
在 75 slpm 下，所有顆粒去除率超過(guò) 99.9999%（以最具穿透力的顆粒尺寸為準(zhǔn)）
流量?? ?參見(jiàn)流量曲線(xiàn)?? ?

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