美國 Entegris 英特格 WG3NS8RR2 直通式氣體過濾器Micro XL

為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的顆粒過濾效果，是高溫和動態(tài)壓力應用的理想選擇。

最先進的外殼組件通過最小化焊接面積消除了排氣
全金屬結構非常適合高溫和動壓應用
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提供終極的設計效率并最大限度地降低工程成本

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材料?? ?濾芯?? ?燒結鎳膜過濾器
??? ?住房?? ?電解拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度?? ?粒子?? ?<0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/ft 3 ) >0.01 μm?? ?
??? ?揮發(fā)物?? ?H 2 O、O 2和 THC 的揮發(fā)性脫氣低于可檢測限值（在室溫下通過 RGA 和 FID）
去除等級?? ?≥0.0015微米
表面處理內(nèi)部?? ?≤5μin Ra
氦氣泄漏等級?? ?合格的?? ?2 × 10 -10 atm-cc/秒。
??? ?已測試?? ?1 × 10 -9 atm-cc/秒。
最大操作條件：?? ?最大入口壓力?? ?20°C (68°F) 時為 20 MPa（200 bar，2900 psid）
??? ?設計壓力?? ?20°C (68°F) 時為 20 MPa（200 bar，2900 psid）
??? ?最大正向/反向壓差?? ?1 兆帕（10 巴，150 磅/平方英寸）
??? ?最高工作溫度?? ?惰性氣體?? ?400°C (725°F) @ 35 巴 (500 psi)
??? ? ?? ?腐蝕性和反應性氣體?? ?50°C (122°F) @ 70 巴 (1000 psi)
保修單?? ?5年
顆粒保留?? ?15 slpm 時所有顆粒的去除率超過 99.9999999% (9 LRV)
流量等級?? ?參考性能數(shù)據(jù)

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