美國ENTEGRIS應(yīng)特格，WG2FT1RR2. 1/4"VCR過濾器，現(xiàn)貨
美國ENTEGRIS應(yīng)特格，WG2FT1RR2. 1/4"VCR過濾器，現(xiàn)貨
美國ENTEGRIS應(yīng)特格，WG2FT1RR2. 1/4"VCR過濾器，現(xiàn)貨
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英特格Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現(xiàn)貨
英特格Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現(xiàn)貨
英特格Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現(xiàn)貨
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?這些氣體過濾器推薦用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機柜中。?
PTFE?膜提供高效過濾
低壓降降低了在較低蒸氣壓氣體中冷凝的風(fēng)險
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
應(yīng)用
Wafergard
?II?F?微型在線氣體過濾器應(yīng)用
生命科學(xué)應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
氣柜和面板
超純氣體系統(tǒng)
內(nèi)部流程工具
產(chǎn)品規(guī)格
材料
? 濾芯
? 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
住房 電拋光?VAR?316L?不銹鋼
下游清潔度? 小于?0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm?
揮發(fā)物<10?ppb?水分
移除等級 ≥0.0015?μm
表面處理內(nèi)部 ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2?×?10?-10毫升/秒
經(jīng)過測試 1?×?10?-9毫升/秒
運行條件 最大入口壓力 207?bar?(3000?psig)?@?23°C?(73°F)
最大正向壓差 4?巴?(60?psid)?@?23°C?(73°F)
?
最大反向壓差 0.07?MPa?(0.7?bar,10?psid)?@?23°C?(73°F)
?
最高工作溫度 120°C?(248°F)
顆粒保留
? 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在?30?slpm?下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
零件號
Wafergard?II?F?微型在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度 應(yīng)用
WG2FT1BW2 1/4"?對焊管 89.9?毫米（3.54?英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RF2 1/4"?墊圈密封（與?VCR?接頭兼容）公入口/母出口 88.9?毫米（3.50?英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2L 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸） 生命科學(xué)
WG2FT1SS2 1/4"?壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容） 73.7?毫米（2.90?英寸） 半導(dǎo)體
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英特格Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現(xiàn)貨
英特格Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現(xiàn)貨
英特格Wafergard? II F 微型在線氣體過濾器WG2FT1RR2現(xiàn)貨
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?這些氣體過濾器推薦用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機柜中。?
PTFE?膜提供高效過濾
低壓降降低了在較低蒸氣壓氣體中冷凝的風(fēng)險
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
應(yīng)用
Wafergard?II?F?微型在線氣體過濾器應(yīng)用
生命科學(xué)應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
氣柜和面板
超純氣體系統(tǒng)
內(nèi)部流程工具
產(chǎn)品規(guī)格
材料
? 濾芯
? 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
住房 電拋光?VAR?316L?不銹鋼
下游清潔度? 小于?0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm?
揮發(fā)物<10?ppb?水分
移除等級 ≥0.0015?μm
表面處理內(nèi)部 ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2?×?10?-10毫升/秒
經(jīng)過測試 1?×?10?-9毫升/秒
運行條件 最大入口壓力 207?bar?(3000?psig)?@?23°C?(73°F)
最大正向壓差 4?巴?(60?psid)?@?23°C?(73°F)
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最大反向壓差 0.07?MPa?(0.7?bar,10?psid)?@?23°C?(73°F)
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最高工作溫度 120°C?(248°F)
顆粒保留
? 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在?30?slpm?下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
零件號
Wafergard?II?F?微型在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度 應(yīng)用
WG2FT1BW2 1/4"?對焊管 89.9?毫米（3.54?英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RF2 1/4"?墊圈密封（與?VCR?接頭兼容）公入口/母出口 88.9?毫米（3.50?英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2L 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸） 生命科學(xué)
WG2FT1SS2 1/4"?壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容） 73.7?毫米（2.90?英寸） 半導(dǎo)體
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