美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGFGMBRR4

美國ENTEGRIS應(yīng)特格氣體過濾器，WG2F02RR4，現(xiàn)貨

美國ENTEGRIS英特格在線氣體過濾器WG2F02RR4，現(xiàn)貨?

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?Wafergard?II?F?Mini?XL?在線氣體過濾器

在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進行卓越的顆粒過濾。

緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地面積，節(jié)省了寶貴的設(shè)備空間
PTFE?膜提供高效過濾，提高產(chǎn)品產(chǎn)量
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風(fēng)險
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
?應(yīng)用
Wafergard?II?F?Mini?XL?在線氣體過濾器應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
煤氣柜
超純氣體系統(tǒng)
閥組箱
氣體面板
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
住房 電拋光?316L?不銹鋼
下游清潔度 粒子 <0.03?顆粒/升（<1?顆粒/ft?3)?>0.01μm
揮發(fā)物 <10?ppb?水分
移除等級 0.0015?微米 ?
表面處理內(nèi)部 ≤10?μin?Ra ?
氦泄漏等級 合格的 2?×?10?-10?atm/cc-sec
經(jīng)過測試 1?×?10?-9?atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015?ppm
運行條件 最大入口壓力： 20.7?兆帕（207?巴；3000?磅/平方英寸）@?23°C?(73°F)
最大正向壓差： 0.4?MPa?(4?bar;?60?psid)?@?23°C?(73°F)
最大壓差： 0.07?MPa?(0.7?bar;?10?psid)?@?23°C?(73°F)
最高工作溫度： 120°C?(248°F)
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在?100?slpm?下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數(shù)據(jù) ?
?零件號
Wafergard?II?F?Mini?XL?在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG2F02JJ2 1/4"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WG2F02JJ4 1/2"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WG2F02PS1 1/4"?壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 115.5?毫米（4.55?英寸）
WG2F02RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0?毫米（5.00?英寸）
WG2F02RR4 1/2"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.4?毫米（5.25?英寸）
WG2F32PS1 3/8"?壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 119.3?毫米（4.70?英寸）
??

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WGMXMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

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ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WGMXMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

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Entegris WG2FT1RR2 過濾器

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