美國(guó)ENTEGRIS應(yīng)特格氣體過(guò)濾器，WG2F02RR4，現(xiàn)貨
美國(guó)ENTEGRIS英特格在線(xiàn)氣體過(guò)濾器WG2F02RR4，現(xiàn)貨?
?
?Wafergard
?II?F?Mini?XL?在線(xiàn)氣體過(guò)濾器
在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進(jìn)行卓越的顆粒過(guò)濾。
緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地面積，節(jié)省了寶貴的設(shè)備空間
PTFE?膜提供高效過(guò)濾，提高產(chǎn)品產(chǎn)量
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風(fēng)險(xiǎn)
與所有類(lèi)別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
?應(yīng)用
Wafergard?II?F?Mini?XL?在線(xiàn)氣體過(guò)濾器應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
煤氣柜
超純氣體系統(tǒng)
閥組箱
氣體面板
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
住房 電拋光?316L?不銹鋼
下游清潔度 粒子 <0.03?顆粒/升（<1?顆粒/ft?3)?>0.01μm
揮發(fā)物 <10?ppb?水分
移除等級(jí) 0.0015?微米 ?
表面處理內(nèi)部 ≤10?μin?Ra ?
氦泄漏等級(jí) 合格的 2?×?10?-10?atm/cc-sec
經(jīng)過(guò)測(cè)試 1?×?10?-9?atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015?ppm
運(yùn)行條件 最大入口壓力： 20.7?兆帕（207?巴；3000?磅/平方英寸）@?23°C?(73°F)
最大正向壓差： 0.4?MPa?(4?bar;?60?psid)?@?23°C?(73°F)
最大壓差： 0.07?MPa?(0.7?bar;?10?psid)?@?23°C?(73°F)
最高工作溫度： 120°C?(248°F)
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在?100?slpm?下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù) ?
?零件號(hào)
Wafergard?II?F?Mini?XL?在線(xiàn)氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類(lèi)型 長(zhǎng)度
WG2F02JJ2 1/4"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WG2F02JJ4 1/2"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WG2F02PS1 1/4"?壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 115.5?毫米（4.55?英寸）
WG2F02RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0?毫米（5.00?英寸）
WG2F02RR4 1/2"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.4?毫米（5.25?英寸）
WG2F32PS1 3/8"?壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 119.3?毫米（4.70?英寸）
??
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
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