美國entegris英特格，Wafergard?GTL在線氣體過濾器WGFG01DS0
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?Wafergard
GTL在線氣體過濾器以高達60?slpm的流速可靠地從惰性氣體中去除顆粒。
提供惰性氣體的高效，低成本，使用點過濾
>?99.9999999％去除直徑大于0.003μm的所有顆粒
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產品規(guī)格
材料：膜：疏水性含氟聚合物PTFE
?支架，外殼：聚砜
推薦流速：60 slpm
連接方式：Rc1?4（PT1?4母頭），1?4” NPT母頭
膜面積：25厘米2（3.9英寸2）
顆粒保留：> 99.9999999％的直徑大于0.003μm的所有顆粒的去除率（在具穿透性的粒徑條件下驗證）
運行條件：大工作壓力：20°C時為0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid）
?大前進壓差：20°C時為0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid）
?大反向差壓：20°C時為0.03 MPa（0.3 bar，4.35 psid）
?高工作溫度：50°C（122°F）
尺寸圖直徑：25毫米（0.98英寸）
?長度：101毫米（4.0英寸）
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