ENTEGRIS在線氣體過濾器，WG3NS8RR2P，WG3NS8SL2，WG3NS8RR2

ENTEGRIS在線氣體過濾器，WG3NS8RR2P，WG3NS8SL2，WG3NS8RR2

?

美國ENTEGRIS應特格，WG3NS8RR2現(xiàn)貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器

?

?為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態(tài)壓力應用的理想選擇。

最先進的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除除氣
全金屬結構是高溫和動態(tài)壓力應用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設計效率并最大限度地降低了工程成本
應用
Wafergard?III?NF?Micro?XL?在線氣體過濾器應用
超純氣體管線
高溫應用
新工廠建設
動壓應用
惰性和活性氣體
產品規(guī)格

材料 濾芯 燒結鎳膜過濾器
? 住房 電拋光?VAR316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03?顆粒/升（<1?顆粒/ft?3）?>0.01?μm
? 揮發(fā)物 Volatile?outgassing?of?H2O,?O2,?and?THC?is?below?detectable?limits?(by?RGA?and?FID?at?room?temperature)
Removal?rating ≥0.0015?μm
Surface?finsh?interior ≤5?μin?Ra
Helium?leak?rating Qualified 2?×?10-10?atm-ccc.
? Tested 1?×?10-9?atm-ccc.
Maximum?operating?conditions: Maximum?inlet?pressure 20?MPa?(200?bar,?2900?psid)?at?20°C?(68oF)
? Design?pressure 20?MPa?(200?bar,?2900?psid)?at?20°C?(68oF)
? Maximum?forward/reverse?differential?pressure 1?MPa?(10?bar,?150?psid)
? Maximum?operating?temperature Inert?gases 400°C?(725°F)?@?35?bar?(500?psi)
? ? Corrosive?and?reactive?gases 50°C?(122°F)?@?70?bar?(1000?psi)
Warranty 5?year
Particle?retention Greater?than?99.9999999%?(9?LRV)?removal?of?all?particles?at?15?slpm
Flow?rating Refer?to?performance?data
?零件號
Wafergard?III?NF?Micro?XL?在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3NS8RR2 1/4"?墊圈密封件（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4"?墊圈密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護 84.1?毫米（3.31"）

?