Wafergard? III 散裝在線金屬氣體過濾器，SI2N0100B，ENTEGRIS

適用于所有工藝氣體的鎳過濾膜
提供多種配件類型以滿足客戶的安裝要求?
可提供?0.0015?μm?過濾技術(shù)，以滿足超潔凈大宗氣體輸送的最苛刻需求
應(yīng)用
Wafergard?III?散裝在線金屬氣體過濾器應(yīng)用
大宗天然氣農(nóng)場和大宗特種氣體系統(tǒng)?(BSGS)
超高純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)和/或升級現(xiàn)有過濾器

規(guī)格

產(chǎn)品規(guī)格

材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過濾器

住房 電拋光 VAR 316L 不銹鋼

移除等級 0.0015 微米

表面處理內(nèi)飾 <10 微英寸 Ra

下游清潔度 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm

氦泄漏等級 1 x 10 -9大氣壓立方厘米/秒

最大操作條件 最大工作壓力： 50 巴（725 磅/平方英寸）SI2N0010R、SI2N0025R

31 巴（450 磅/平方英寸）SI2N0050R、SIN0100B、SI2N0200B、SI2N0200R

最大正向/反向壓差： 5.2 巴（75 磅/平方英寸）

在惰性氣體中的最高工作溫度： 200°C (392°F)

顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 在最大額定流量下去除所有顆粒（以最具穿透性的顆粒尺寸為參考）

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