ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
?
美國ENTEGRIS英特格Optimizer? DI 過濾器,CBUG0S0S1
?
?專為使用點?(PoU)?光刻工藝中的去離子水應(yīng)用而設(shè)計的液體光化學(xué)過濾器。小膠囊形狀系數(shù)和干凈的膜/支撐/殼材料在?>?28?nm?節(jié)點應(yīng)用中提供高純度污染物去除性能。
應(yīng)用
Optimizer
?DI?過濾器應(yīng)用
行業(yè)：半導(dǎo)體（光刻）
化學(xué)：光化學(xué)、溶劑
Wafergard?III?NF?微型在線氣體過濾器
為超純氣體系統(tǒng)提供卓越的惰性和反應(yīng)性氣體顆粒過濾。
可用的最清潔、最高效的全金屬過濾器
獲得專利的鎳過濾膜具有卓越的耐腐蝕性和與惰性氣體和反應(yīng)性氣體的出色兼容性*
最先進的外殼組件通過最小化焊接面積來消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提高設(shè)計效率并最大限度地降低工程成本
*不建議與?CO、O?3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
應(yīng)用
Wafergard?III?NF?微型在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
動壓應(yīng)用
惰性和反應(yīng)性氣體
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 獲得專利的燒結(jié)鎳膜過濾器
? 住房 電拋光?VAR?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子* 小于?0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
? 易揮發(fā)的** H?2?O、O?2和?THC?的揮發(fā)性釋氣低于可檢測限（在室溫下通過?RGA?和?FID）
移除等級 ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 ≤5?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2x10?-10??atm?cc/秒。
? 經(jīng)過測試 1x10?-9??atm?cc/秒。
運行條件 最大允許工作壓力（設(shè)計壓力）：207?bar?(3000?psi)?@?100°C?(212°F)
? 最大正向/反向壓差：35?bar?(500?psid)
? 最高工作溫度：惰性氣體?400°C?(752°F)?@?35?bar?(500?psi)；腐蝕性和反應(yīng)性氣體：50°C?(122°F)?@?70?bar?(1000?psi)
保修單 5年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
*顆粒清潔度符合?SEMASPEC?顆粒粉碎測試方法?(#93021511A-STD)
**揮發(fā)性清潔度符合?SEMASPEC?THC?貢獻測試方法?(#90120396B-STD)、水分貢獻?(#90120397B-STD)?和氧氣貢獻?(#?90120398B-STD）。
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
?
零件號
Wafergard?III?NF?微型在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3L005NS2S1 1/8"?Swagelok?壓縮接頭 50.8?毫米（2.00?英寸）
WG3NS5RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸）
WG3NSMFF2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）內(nèi)螺紋入口/出口 58.4?毫米（2.30?英寸）
WG3NSMFR2 1/4"?極化墊圈密封（與?VCR?接頭兼容）內(nèi)螺紋入口/外螺紋出口 71.1?毫米（2.80?英寸）
WG3NSMJJ2 1/4"?對接焊入口/出口 28.4?毫米（1.12?英寸）
WG3NSMRF2 1/4"?極化墊片密封件（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/內(nèi)螺紋出口 71.1?毫米（2.80?英寸）
WG3NSMSL2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 50.8?毫米（2.00?英寸）
安裝點：工具點
產(chǎn)品規(guī)格
特種氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會受益于特種氣體的獨特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。我們富有經(jīng)驗的應(yīng)用團隊遍布全球，可以根據(jù)對您的行業(yè)和應(yīng)用情況的了解，為您提供特種氣體供應(yīng)解決方案，以滿足您的獨特需求。
?
Gasketgard?在線墊片過濾器
Gasketgard?在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn)?1/4"、3/8"?和?1/2"?VCR?墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4"?1/2"?3/8"
Gasketgard?在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的?1/4"、3/8"?和?1/2"?VCR?墊圈。
保持器便于對齊
設(shè)計用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的?ISO?認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard?在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高?400°C?(752°F)?的應(yīng)用
用于保護敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到?316L?不銹鋼墊片上的燒結(jié)?316L?不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器?316?不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于?0.3?μm?直徑的顆粒超過?95% ?
運行條件： 最大壓差 1?4”?P1:?5.1?MPa?(51?bar,?740?psid)
1?4”?P2:?10.4?MPa?(104?bar,?1508?psid)
1?2”?P1:?1.7?MPa?(17?bar,?247?psid)
1?2”?P2?:?2.9?兆帕?(29?巴,?421?psid)
? 最高工作溫度 400°C?(752°F)?[惰性氣體]
零件號
Gasketgard?在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4"?型 25.00?毫米（0.98?英寸）
WGPM0GGT2 1/4"?型帶保持器 25.25?毫米（0.99?英寸）
WGPM0GGT4 1/2"?(3/8")?型帶保持器 29.50?毫米（1.16?英寸）
?
? Gasketgard?在線墊片過濾器
Gasketgard?在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn)?1/4"、3/8"?和?1/2"?VCR?墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4"?1/2"?3/8"
長度
25?毫米（0.98?英寸）?25.25?毫米（0.99?英寸）?29.5?毫米（1.16?英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體?平板顯示器?數(shù)據(jù)存儲?引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送?薄膜?沉積?干蝕刻?離子注入?光刻
Gasketgard?在線墊片過濾器
??
?Gasketgard?在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的?1/4"、3/8"?和?1/2"?VCR?墊圈。
保持器便于對齊
設(shè)計用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的?ISO?認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard?在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高?400°C?(752°F)?的應(yīng)用
用于保護敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到?316L?不銹鋼墊片上的燒結(jié)?316L?不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器?316?不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于?0.3?μm?直徑的顆粒超過?95% ?
運行條件： 最大壓差 1?4”?P1:?5.1?MPa?(51?bar,?740?psid)
1?4”?P2:?10.4?MPa?(104?bar,?1508?psid)
1?2”?P1:?1.7?MPa?(17?bar,?247?psid)
1?2”?P2?:?2.9?兆帕?(29?巴,?421?psid)
? 最高工作溫度 400°C?(752°F)?[惰性氣體]
零件號
Gasketgard?在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4"?型 25.00?毫米（0.98?英寸）
WGPM0GGT2 1/4"?型帶保持器 25.25?毫米（0.99?英寸）
WGPM0GGT4 1/2"?(3/8")?型帶保持器 29.50?毫米（1.16?英寸）
??
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ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
?
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，
?
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
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CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，CTDGATXTT，CTDGATXTW，CTDVATXLH，CTDVATXST，CTDVATXTH，CTDVATXTT，CTDZATXLH，CTDZATXST，CTDZATXTH，CTDZATXTT，CTFA01P01，CTFA01PTF，CTFA01TPE，CTFA02P01，CTFA02TPE，CTFA0SP01，CTFA0SPSF，CTFA0STPE，CTFG01P01，CTFG01PSF，CTFG01PT1，CTFG01PTF，CTFG01TC1，CTFG01TK1，CTFG01TPE，CTFG02P01，CTFG02TPE，CTFG03TPE，CTFG0SP01，CTFG0SPSF，CTFG0SPTF，CTFG0STPE，CTFH01PTF，CTFH01TPE，CTFH02TPE，CTFH03TPE，CTFH0STPE，CTFV01P01，CTFV01PSF
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CHUV0L0S1，CHUV0S0P1，CHUV0S0S1，CHUV16EL1，CHUV16KL1，CHUV2L0P1，CHUV3L0P1，CHUV3L0S1，CHUV40EL1，CHUV40EM1，CHUV40KL1，CHUV40KM1，CHUV6S0P1，CHUV8L0P1，CHUV8S0P1，CHUZ0L0S1，CHUZ0S0P1，CHUZ0S0S1，CHUZ16EL1，CHUZ16KL1，CHUZ2L0P1，CHUZ3L0P1，CHUZ3L0S1，CHUZ40EL1，CHUZ40EM1，CHUZ40KL1，CHUZ40KM1，CHUZ6S0P1，CHUZ8L0P1，CHUZ8S0P1，CW00NU301，CW00NUS01，CW00PT301，CW00PTS01，CW00PTS31，CWAG0L0S1，CWAG0S0S1，CWAG0S1S3，CWAG160L1，CWAG16EL1，CWAG16KL1，CWAG3L0S1，CWAG400L1，CWAG40EL1，CWAG40EM1，CWAG40KL1，CWAG40KM1，CWAG8S1P1，CWAV0L0S1，CWAV0S0S1，CWAV0S1S3，CWAV160L1，CWAV16EL1，CWAV16KL1，CWAV3L0S1，CWAV400L1，CWAV40EL1，CWAV40EM1，CWAV40KL1，CWAV8S1P1，CWAZ0L0S1，CWAZ0S0S1，CWAZ0S1S3，CWAZ160L1，CWAZ16EL1，CWAZ16KL1，CWAZ3L0S1，CWAZ400L1，CWAZ40EL1，CWAZ40KL1，CWAZ40TL1，CWAZ8S1P1，CWUG00EL1，CWUG00PL1，CWUG0S0P1，CWUG0S0S1，CWUG0S0S3，CWUG0S1S3，CWUG160L1，CWUG16EL2，CWUG16EP2，CWUG16KL2，CWUG16PP2，CWUG2L0P1，CWUG3L0P1，CWUG3L0S1，CWUG40EL1，CWUG40EM1，CWUG40EP1，CWUG40KL1，CWUG40KM1，CWUG40TL1，CWUG6S0P1，CWUG8L0P1，CWUG8S0P1，CWUH16KL2，CWUV00PL1，CWUV0S0P1，CWUV0S0S1，CWUV0S0S3，CWUV0S1S3，CWUV160L1，CWUV16EL2，CWUV16EP2，CWUV16KL2，CWUV16PP2，CWUV3L0P1，CWUV3L0S1，CWUV400L1，CWUV40EL1，CWUV40EM1，CWUV40EP1，CWUV40KL1，CWUV40KM1，CWUV40PP1，CWUV40TL1，CWUV40TP1，CWUV6S0P1，CWUV8S0P1，CWUZ00PL1，CWUZ0S0P1，CWUZ0S0S1，CWUZ0S0S3，CWUZ0S1S3，CWUZ160L1，CWUZ16EL2，CWUZ16KL2，CWUZ3L0P1，CWUZ3L0S1，CWUZ400L1，CWUZ40EL1，CWUZ40KL1，CWUZ40KM1，CWUZ40TL1，CWUZ6S0P1，CWUZ8S0P1，DZU004401，DZUM04401，DZUM044C1，DZUMC4401，DZUPC21K1，DZUV016K2，DZUV040K1，DZUVA4401，DZUZA4401，PFFG01D8S，PFFV01D4S，PFFV01D8S，PFFV03D4P，PFFV03D6P，PFFZ01D8S，PFFZ03D4P，WGFA04HP6，WGFA16HP2，WGFA40H01，WGFA40HP1，WGFG04HP6，WGFG04TP6，WGFG16CP2，WGFG16D01，WGFG16D21，
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W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，WCDI0UB00，WCDI0UC00，WCDP000H1，WCDP025H1，WCDP025L1，WCDP050H1，WCDP050L1，WCDP100H1，WCDP100L1，WCDPC25T4，WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，WCDS000F2，WCDS000F3，WCDS000F4，WCDS000P1，WCDS000P3，WCDS008K3，WCDS010ED，WCDS020K3，WCDS021ED，WCDS024ED，WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，WGEN2S012，WGEN2S013，?
?
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
?
長度
25?毫米（0.98?英寸）?25.25?毫米（0.99?英寸）?29.5?毫米（1.16?英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體?平板顯示器?數(shù)據(jù)存儲?引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送?薄膜?沉積?干蝕刻?離子注入?光刻
Gasketgard?在線墊片過濾器
??
材料 膜： UPE*
? 支撐、核心、套筒： 高密度聚乙烯
? 住房： 聚丙烯
膜面積 DI 1800?平方厘米（1.94?平方英尺）
? DI-L 3600?平方厘米（3.88?平方英尺）
? DI-L?(20?納米) 2100?平方厘米（2.26?平方英尺）
保留評級 DI,?DI-L 0.2、0.1、0.05?微米、20?納米
配件 提供范圍廣泛的接頭，包括?Super?Type?Pillar?接頭、壓縮密封件（與?Swagelok?兼容的接頭）和?Flaretek?接頭。
運行條件 最大入口壓力 0.345?兆帕（3.45?巴，50?磅/平方英寸，3.52?千克/平方厘米）@?25°C?(77°F)
? 最大正向/反向壓差 0.345?兆帕（3.45?巴，50?磅/平方英寸，3.52?千克/平方厘米）@?25°C?(77°F)
? ? 0.28?MPa（2.8?bar，40?psi，2.8?kg/cm2）@?25°C（77°F）
? 工作溫度 60°C?(140°F)
*表面改性UPE
Entegris?建議客戶至少每年更換一次過濾器以確保最佳過濾性能。例行的年度更換也將減少因過度使用而導(dǎo)致化學(xué)品泄漏的可能性。
我們的標(biāo)準(zhǔn)保修期為?1?年（自?Entegris?發(fā)貨之日起）。
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ENTEGRISWGMXMSRR2
ENTEGRISLGMXFPSS4
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
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Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器
這些在線?PTFE?氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在?超純氣體應(yīng)用?以及?一般氮氣和?CDA?應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE?濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮氣和?CDA?應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
? 住房 電拋光低硫?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于?0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
? 揮發(fā)物（銀） <10?ppb?H?2?O?和?O?2。低于?LDL?THC（檢測下限為?5?ppb）
移除等級 ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB?XXXX ≤20?μin?Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS?XXX/XXX ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2?x?10?-10?atm-cc/秒
? 經(jīng)過測試 1?x?10?-9?atm-cc/秒
運行條件
? 最大入口壓力
? Silver?和?Bronze?Plus?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：7.0?MPa?(70?bar,?1015?psig)
? ? 青銅?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? ? Bronze?和?Bronze?Plus?1?4"、3?8"?和?1?2"?Swagelok?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? 最大正向壓差 7?巴?(102?psid)
? 最大反向壓差 2.5?巴?(36?psid)
? 最高工作溫度 120°C?(248°F)
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4"?公?VCR?入口，1/4"?母?VCR?出口 141.2?毫米（5.6?英寸）
WGMXMBRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMBSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMBSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMPRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMPSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMPSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMSBW2 1/4"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW3 3/8"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW4 1/2"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMSRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
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ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
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ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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Entegris WG2FT1SS2 過濾器
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Entegris WG2FT1SS2 過濾器
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ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
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