美國(guó)ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS8RR2現(xiàn)貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過(guò)濾器
美國(guó)ENTEGRIS英特格，過(guò)濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
美國(guó)ENTEGRIS英特格，過(guò)濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
美國(guó)ENTEGRIS英特格，過(guò)濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
?為超純氣體系統(tǒng)過(guò)濾提供卓越的微粒過(guò)濾，是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
最先進(jìn)的外殼組件通過(guò)最小化焊接區(qū)域來(lái)消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和活性氣體
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過(guò)濾器
? 住房 電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
? 揮發(fā)物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
? Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
? Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
? ? Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
?零件號(hào)
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
.特種氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。我們富有經(jīng)驗(yàn)的應(yīng)用團(tuán)隊(duì)遍布全球，可以根據(jù)對(duì)您的行業(yè)和應(yīng)用情況的了解，為您提供特種氣體供應(yīng)解決方案，以滿足您的獨(dú)特需求。
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器
Gasketgard 在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長(zhǎng)度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過(guò)程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器
??
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護(hù) 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）?
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器
這些在線 PTFE 氣體過(guò)濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過(guò)濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
? 住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
? 揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測(cè)下限為 5 ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
? 經(jīng)過(guò)測(cè)試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
? ? 青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? ? Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? 最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
? 最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
? 最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無(wú)包裝）?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS8RR2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過(guò)濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無(wú)包裝）?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?CBUG0S0S1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPRR4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPSS3?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F02RR4?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過(guò)濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過(guò)濾器
Gasketgard 在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對(duì)齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過(guò)濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過(guò) 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
? Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器
Gasketgard 在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長(zhǎng)度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過(guò)程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器
??
?Gasketgard 在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對(duì)齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過(guò)濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過(guò) 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
??
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無(wú)包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過(guò)濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無(wú)包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過(guò)濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無(wú)包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過(guò)濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過(guò)濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過(guò)濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，
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