派克PARKER墊片，4GVGR-SSLP，現(xiàn)貨，UHP 金屬墊片面密封配件

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派克PARKER墊片，4GVGR-SSLP，現(xiàn)貨，UHP 金屬墊片面密封配件

派克PARKER墊片，4GVGR-SSLP，現(xiàn)貨，UHP 金屬墊片面密封配件

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?VacuSeal?面密封接頭專(zhuān)為超高純度氣體分配系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。該接頭具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常適合清潔度至關(guān)重要的半導(dǎo)體制造應(yīng)用。
技術(shù)規(guī)格
閥體材質(zhì)： 不銹鋼
配置： 保留凹槽樣式
選項(xiàng)： 電解拋光
連接尺寸（英寸）： 1/4”
產(chǎn)品類(lèi)型： 密封件、閥體、焊接組件、焊接模塊、墊圈、螺母、蓋帽、插頭、
連接尺寸： 最大?1?英寸；6?至?18?毫米
連接類(lèi)型： 管對(duì)接焊、自動(dòng)管對(duì)接焊、承插焊、NPT、A-lok、直螺紋
工作溫度： 最高可達(dá)?1000?°F?/?537?°C
壓力等級(jí)： 高達(dá)?9,000?/?620?巴

VacuSeal?金屬墊片面密封接頭具有極高的泄漏完整性，使其適用于需要超高純度條件的關(guān)鍵應(yīng)用，例如半導(dǎo)體工具連接、閥歧管箱?(VMB)?和氣體分配系統(tǒng)。該接頭采用匹配墊片和環(huán)形設(shè)計(jì)，形成金屬對(duì)金屬密封，并提供從真空到?9000?psig?的無(wú)泄漏服務(wù)。

VacuSeal?配件的尺寸范圍從?1/8?英寸到?1?英寸，提供各種主體和壓蓋配置。它們?cè)?100?級(jí)潔凈室中采用?Veriflo?專(zhuān)有的?Vericlean?低硫?316L?不銹鋼制造而成。標(biāo)準(zhǔn)?5?Ra?電拋光濕潤(rùn)表面處理減少了夾帶區(qū)域，同時(shí)具有出色的耐腐蝕性。壓蓋采用高純度鎳和?Hastelloy?C-22?制成，以確保在極度腐蝕應(yīng)用中的性能和可靠性。

VacuSeal?接頭設(shè)計(jì)用于與平面和?Verfilo?的?TorqTite?自對(duì)準(zhǔn)面密封墊圈配合使用，無(wú)需工具即可安裝，并可消除由于熱循環(huán)和振動(dòng)而導(dǎo)致的組件松動(dòng)。TorqTite?還可確保密封，即使在損壞的環(huán)形線(xiàn)圈上也是如此，并且允許施加極高的扭矩而不會(huì)損壞密封表面。再加上?VacuSeal?接頭的超高純度結(jié)構(gòu)材料，可最大限度地減少顆粒生成并確保晶圓制造操作中的泄漏完整性，其中清潔度至關(guān)重要。

所有?VacuSeal?接頭均經(jīng)過(guò)氦氣泄漏測(cè)試，以確保在要求苛刻的?UHP?應(yīng)用中的性能和可靠性。

市場(chǎng)：
??半導(dǎo)體
??工具制造廠
??分析實(shí)驗(yàn)室
??制藥
??生物制藥
??航空航天
??工業(yè)

應(yīng)用：
??腐蝕性和特種氣體
??半導(dǎo)體廠氣體分配系統(tǒng)
??半導(dǎo)體工具
??工具連接
??氣柜
??閥門(mén)歧管箱?(VMB)

特性/優(yōu)點(diǎn)：
??兩個(gè)泄漏測(cè)試端口，方便泄漏測(cè)試
??泄漏率：≤1?x?10-9?STD?scc/秒?He
??5?Ra?內(nèi)部電拋光表面處理
??母螺母采用增強(qiáng)電鍍工藝鍍銀，適用于清潔、電拋光和鈍化中使用的腐蝕性化學(xué)工藝
??非旋轉(zhuǎn)內(nèi)螺母可防止在組裝過(guò)程中傳遞扭矩，從而最大限度地減少組件的扭曲，避免應(yīng)力集中
??防咬合內(nèi)螺母可確保組裝一致，無(wú)需電鍍或潤(rùn)滑。
??獲得專(zhuān)利的?TorqTite?墊圈最初接觸內(nèi)錐面，徑向擠出任何夾帶的污染物
??壓蓋上的熱代碼提供原材料可追溯性
??無(wú)需軸向間隙即可從系統(tǒng)中移除組件
??平滑過(guò)渡到內(nèi)徑可最大限度地減少夾帶區(qū)域


Hastelloy?C-22?是?Haynes?International,?Inc.?的注冊(cè)商標(biāo)。?

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