美國ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS8RR2現(xiàn)貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣
體過濾器
WG3NS6SL2
WGMXLPRR6?
WG3DBGNRR4
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
WG3D50DR2
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
WGSLNFC1H?
美國ENTEGRIS氣體過濾器，WDPM0CPSF，數(shù)量3個
SV10F20E16 ? 氣體過濾器
SVTV01TQ1 ? ?氣體過濾器
WGFG16HP2，氣體過濾器
Entergris 過濾器
型號：TRVT31X942SP
CWAG16KL1? ?3個
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
SI2N0100BRR6,
WGFG16HP2
美國ENTEGRIS英特格，過濾器 WG3NS7SL2
WGMXMBSS4
CBUG050P1
英特格 A2AG200K1?
SVEG01P01
WGMXMBSS4 ? ??
WGMXMBSS3 ??
YY4110106
YY5032PS1 ??
YY4110104
YY66H0A2A
A2AG200K1
GPUS700FIX04R02CA
Gas cleaner series GPU 2500F, HX filler GPUS2500FHX04R00CR
WGMXMPRR4數(shù)量10
WGMXMBRR2數(shù)量5
?為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設(shè)計效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
? Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器
以高達(dá) 30 slpm 的流速可靠地去除惰性氣體中的顆粒。
提供高效、低成本、使用點(diǎn)的惰性氣體過濾
> 99.9999999% 去除所有直徑大于 0.015 μm 的顆粒
應(yīng)用
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器應(yīng)用
低進(jìn)氣過濾器
晶圓輸送系統(tǒng)
清潔干燥空氣 (CDA)?
產(chǎn)品規(guī)格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
? 支架、外殼： 粉煤灰
推薦流量 30 升/分鐘
連接 1/8", 1/4" 壓縮密封
膜面積 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
顆粒保留 >99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒（在最具穿透性的
顆粒尺寸下驗(yàn)證）
運(yùn)行條件 最大工作壓力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
? 最大正向壓差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
? 最大反向壓差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
? 最高工作溫度： 50°C (122°F)
方面 長度： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
? 直徑： 21.5 毫米（0.85 英寸）
GPUS200FEX04R00CA ?8個 單價24500 ?8-10周
GPUS2500FWY08R00CA 4個 單價62000 3.5-4個月
零件號
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度 選擇選項(xiàng)
WGFG01KP0 1/8" 壓縮密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 10 件裝過濾器
WGFG01KP3 1/8" 壓縮密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 3 件裝過濾器
WGFG21KP0 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 10 件裝過濾器
WGFG21KP3 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 3 件裝過濾器
? ENTEGRIS英特格，Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR2現(xiàn)
貨
其他商品
動壓應(yīng)用
惰性和活性氣體
產(chǎn)品規(guī)格
WG3NS7SL2 WG3NS3RF2 WG2F02PSI
WGSLSHW1MP-T
WGMXMBSS4
WG3SS1WW2
WG2S01WW2
材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過濾器
? 住房 電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
? 揮發(fā)物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
? Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
? Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
? Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
? ? Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
?零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)藥、電
子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量
、優(yōu)化性能以及降低成本。我們富有經(jīng)驗(yàn)的應(yīng)用團(tuán)隊遍布全球，可以根據(jù)對您的行
業(yè)和應(yīng)用情況的了解，為您提供特種氣體供應(yīng)解決方案，以滿足您的獨(dú)特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲 引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
? ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
Entegris WG2FT1SS2
Entegris WG2FT1SS2
ENTEGRIS WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2
Entegris WG2FT1RR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPM0GGT4
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG ?WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
?
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和
顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴(kuò)散核武器條約
長度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫
米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電
池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。?
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應(yīng)用具有出色的兼容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard SG 氣體過濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示器制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
氣體面板
零件號
Wafergard SG 氣體過濾器部件號
零件號 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（
兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（
VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（
與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（與
VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR
兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 墊圈密封
（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與
世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 壓縮密封（兼
容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR
兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容
） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼
容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 墊圈密封（VCR 兼
容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉
洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
??
?
?
?Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和
顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴(kuò)散核武器條約
長度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫
米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電
池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。?
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應(yīng)用具有出色的兼容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard SG 氣體過濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示器制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
氣體面板
零件號
Wafergard SG 氣體過濾器部件號
零件號 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（
兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（
VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（
與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（
VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（與
VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR
兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 墊圈密封
（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與
世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 壓縮密封（兼
容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR
兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容
） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼
容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容
Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 墊圈密封（VCR 兼
容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉
洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
?
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料
蓋代替金屬蓋保護(hù) 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫
米（2.00"）?
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?br />
CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
? 住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個顆粒/升 (<1 個顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
? 揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
? 經(jīng)過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
? ? 青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? ? Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
? 最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
? 最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
? 最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 ? YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F
WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6
WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1
CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW ?GPUS2500FIX04R00CA 等常規(guī)
型號均有現(xiàn)貨 ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS8RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
WGFGMBRR4 WGFGT1PR1 WGMXLPRR6 LGMXFPRR4 LGMXFPSS3
WG2F02RR2 WG2F02RR4 WG2F15HJJ6 WG2FT1RR2 WG3NS8RR2
WGFA21KP0 WGFG01DS0 WGFG01DSH WGMXMBRR4 WGMXMPRR4
WGMXMSRR2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 YY5032PR1 YY5032PS1
SI2N0100B
ENTEGRIS?? ??? ?CBUG0S0S1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPRR4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPSS3?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F02RR4?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對齊
設(shè)計用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGMXMBRR4 WGMXMBRR2 WGFGMBRR2 過濾器 應(yīng)特格
WGFG01KP3 WGFG01DSH WGFG01DS0 WGFA21KP0
WGSLSFC1M
YY5001HR1
LGMXFPRR4 過濾器 entegris 應(yīng)特格
SI2R15E05 SI2N0100B SI2N0200B 過濾器
YY5032PR1
YY5032PS1
YY50600VT
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
YY5032PS1 YY5032PR1 卡套 3/8
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
? Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲 引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
??
?Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對齊
設(shè)計用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4WSP20-2C-20KK
WSP20-2M-20KK
CG2NDD050R2
LGMXFPRR4
LGMXFPSS3
SI2MSNFE05
SI2N0025R
SI2N0050R
SI2N0100B
SI2N0100BRR8
SI2N0200B
SI2R007RO
SI2R15E05
SI5BGLTE07
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
YY5001HR1
YY5032PR1
YY5032PS1
YY50600VT
GPUS200FIX04R00CA
GPUS2500FHX04R00CA
GPUS2500FHX08R00CA
GPUS2500FIX04R00CA
GPUS2500FIX08R00CA
GPUS2500NCX04R00CA
GPUS2500NCX08R00CA
GPUS2500NCX08R02CA
GPUS300FWX04R02CA
GPUS300FYX04R02CA
GPUS300NCX04R02CA
AFUG0LPM1
AHUXMLEX1
AMVT33201
APD12LEM1
APD25LEM1
APD50SPM1
BA10012PWENH
BA10022PWENH
CHUX3L0P1M
CHUY3L0P1M
CN2501E06
DFFG01N8S1P
FGPA010T1
FGPH010T1
PFFZ01P4P
PGFPV010V1
PGPDN002AH3NF-N
PGPSG010E1
SKPS010H2F
SV02010E1
SV0261PE1
SV02R10E1
SV0561PV1
SV05R10E1
SV1061PE1
SV10R10E1
SV1H61PE1A
SV1HR10E1A
SV20R10E1
SV2HR10E1
SV2HR10T1
SV30010E1
SV3061PE1
SV30R10E1
SV30R10T1
SV3H61PE1
SV3HR10T1
SV4HR10T1
SV50R10E1
SVAAR10E1
SVAG010E1
SVAG020T1
SVAG61PE1
SVAGR10E1
SVAH010E1
SVAH61PE1
SVAHF10E1
SVAVR10E1
SVEG010E1
SVEG0S0E1
SVEG61PE1
SVES020T1
SVSAR10E1C
SVSGR10E1C
SVSHR10E1C
SVSV61PE1C
SVSVR10E1C
UPEH030E1
CPUV01PLT
CTCAT200Q0D
CTCGT100BKH
CTCVT100Q0H
CTCVT100QKH
CTFG01TPE
CTFG0STPE
CW0A020E1
CWAG0S0S1
WG2L200SS3R2
WG2L200SS3R4
WG2L500SS5R4
WG2S01WW2
WG2SS8RR2
WG2SS8RR2S
WG3D25LR2
WG3D25SR2
WG3D401R2
WG3D40DR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
CWAG40EL1
CWAV3L0S1
CWUG3L0S1
NXCGT10000P
NXPZ150M31FP
PGTV01EQ1
SVTA01TQ1
SVTA01TQ1K
SVTA02TQ1
SVTA0MTQ1
SVTB01TQ1K
SVTC01TQ1
SVTG01TQ1KPW
SVTG02TQ1KPW
SVTH01TQ1
SVTH01TQ1KPW
SVTV01TQ1
SVTV01TQ1K
SVTV01TQ1KPW
SVTV02TQ1KPW
SVTZ01TQ1KPW
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
WG2L200SS3R2，WGL100NS3R2 各一個詢價?
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
??
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
YY260103P，2個
PN2H010E1，2個
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
50多年來，ENTEGRIS的日常使命一直是幫助客戶利用他們先進(jìn)的基于科學(xué)的解決方
案來支持需求 驅(qū)動程序。更快，更有效地進(jìn)行創(chuàng)新;并最終改變世界。通過他們的解
決方案和技術(shù)專長的力量， Entegris為客戶提供基于科學(xué)的創(chuàng)新解決方案，以應(yīng)對
嚴(yán)峻的技術(shù)挑戰(zhàn)。ENTEGRIS的總部位于 馬薩諸塞州的比勒里卡，在全球擁有大約
5100名員工，大約一半在亞太地區(qū)或歐洲工作。通過在 亞太地區(qū)，北美和歐洲的研
發(fā)，客戶服務(wù)，分析實(shí)驗(yàn)室和制造，ENTEGRIS在將技術(shù)提升到更高水 平時為全球
客戶提供支持。
。
美國ENTEGRIS Wafergard II SF半在線氣體過濾器
①當(dāng)首選所有不銹鋼結(jié)構(gòu)時，Wafergard II SF半在線氣體過濾器是高純度氣體系統(tǒng)
的首選過濾器 。
②先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接面積消除了脫氣現(xiàn)象。
③全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
④其緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提供最高的設(shè)計效率，并降低工程成本。
美國ENTEGRIS Gasketgard?在線墊片過濾器
①Gasketgard 直列式墊片過濾器是一種緊湊的全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的1/4“
，3/8”和1/2 “VCR 墊片
②固定器，易于對準(zhǔn)
③專為輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線而設(shè)計
④高壓和高溫應(yīng)用的理想選擇
⑤保護(hù)關(guān)鍵組件免受微粒傷害
⑥ISO認(rèn)證的工廠中制造
PART NUMBERS
Chemlock? Filter Housings Part Numbers
Hide Part Numbers?
YY5605153?? ?YY5605203?? ?YY5611153?? ?YY5611153GF?? ?
YY5611153T
YY5611160?? ?YY5611160T?? ?YY5611170?? ?YY5611170GF?? ?
YY5611170T
YY5611180?? ?YY5611180GF?? ?YY5611180T?? ?
YY5611190GFM?? ?YY5611190M
YY5611203?? ?YY561120A?? ?YY561120B?? ?YY561120E?? ?
YY561120F
YY561120P?? ?YY5611213?? ?YY561121F?? ?YY561121P?? ?
YY5611250
YY5611250GF?? ?YY5611250T?? ?YY5611253?? ?YY5611253GF?? ?
YY5611253T
YY5611280?? ?YY5611280GF?? ?YY5611280T?? ?
YY5611290GFM?? ?YY5611290M
YY5611G03?? ?YY5611G0B?? ?YY5611G0E?? ?YY5611G0F?? ?
YY5611G0P
YY5611G13?? ?YY5611G1E?? ?YY5611G1F?? ?YY5611G1P?? ?
YY562010NS
YY5620160?? ?YY5620160T?? ?YY5620170?? ?YY5620170GF?? ?
YY5620170T
YY5620180?? ?YY5620180GF?? ?YY5620180T?? ?
YY5620190GFM?? ?YY5620190M
YY5620190TM?? ?YY5620203?? ?YY562020B?? ?YY562020E?? ?
YY562020F
YY562020P?? ?YY5620213?? ?YY562021F?? ?YY562021P?? ?
YY5620250
YY5620250GF?? ?YY5620250T?? ?YY5620253?? ?YY5620253GF?? ?
YY5620253T
YY5620280?? ?YY5620280GF?? ?YY5620280T?? ?
YY5620290GFM?? ?YY5620290M
YY5620290TM?? ?YY5620G0E?? ?YY5620G0F?? ?YY5620G1F?? ?
YY5620G1P
YY5630280?? ?YY5630280GF?? ?YY56H000B?? ?YY56HA20A?? ?
YY56HB20B
YY56HB24B?? ?YY56HF10F?? ?YY56HF14F?? ?YY56HF20F?? ?
YY56HF24F
YY56HL10LM?? ?YY56HL14LM?? ?YY56HL20LM?? ?YY56HL24LM?? ?
YY56HP103
YY56HP143?? ?YY56HP203?? ?YY56HP20P?? ?YY56HP243?? ?
YY56HP24P
YY6610A2E?? ?YY6610F4E?? ?YY6610R5E?? ?YY6614F4E?? ?
YY6614U1E
YY6614U2E?? ?YY6620A2E?? ?YY6620A4AE?? ?YY6620F4E?? ?
YY6620R5E
YY6624F4E?? ?YY66B1150?? ?YY66B1170?? ?YY66B1280?? ?
YY66B2150
YY66B2170?? ?YY66B2280?? ?YY66H0A2A?? ?YY66H0F4F?? ?
YY66H0R2R
YY66H4F4F?? ?YY66H4U1A?? ?YY66H4U2A
PFA模型
材料頭、模制配件、碗、塞子PFA 440 HP或同等產(chǎn)品
O型圈E-FKM、EP、Kalrez?、Viton?
非潤濕鎖環(huán)
通用鎖環(huán)PVDF或GFPP（玻璃填充聚丙烯）
聚四氟乙烯
安裝硬件-螺母和螺栓（非濕部件）PVDF
流體連接PrimeLock?、Flaretek?、Super Type Pillar?、Super 300 Type Pillar、
管件、FNPT
藥筒連接代碼0，雙2-222 O型圈和帶鑰匙的Chemlock藥筒
操作條件PVDF和GFPP鎖環(huán)
zui大入口壓力：
100°C（212°F）時為0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）時為0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方英寸）的PTFE鎖環(huán)
zui大入口壓力：
95°C（203°F）時為0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）時為0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方英寸）
zui高工作溫度：
100°C（212°F）zui高工作溫度：
95攝氏度（203華氏度）
扭矩E-FKM O型圈
45 N?m所有其他O型圈
28.5牛頓?米
使用Chemlock扭矩扳手驗(yàn)證扭矩規(guī)格
PP模型
材料頭和碗聚丙烯（PP）
O型圈EPR，氟橡膠
PVDF非潤濕鎖環(huán)
流體連接件FNPT、Flaretek、Union、Rc
藥筒連接代碼0，雙2-222 O型圈和帶鑰匙的Chemlock藥筒
操作條件標(biāo)準(zhǔn)排水口配置
zui大入口壓力：
0.14兆帕（1.4巴，20磅/平方英寸）@90°C（194°F）
0.69 MPa（6.9 bar，100 psi）@25°C（77°F）1“FNPT排水口配置
zui大入口壓力：
0.14兆帕（1.4巴，20磅/平方英寸）@90°C（194°F）
0.55兆帕（5.5巴，80磅/平方英寸）@25°C（77°F）
zui高工作溫度：
90°C（194°F）zui高工作溫度：
90攝氏度（194華氏度）
扭矩（所有O型圈）28.5 N?m
使用Chemlock扭矩扳手驗(yàn)證扭矩規(guī)格
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
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，、
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CWUV16PP2，CWUV3L0P1，CWUV3L0S1，CWUV400L1，CWUV40EL1，
CWUV40EM1，CWUV40EP1，CWUV40KL1，CWUV40KM1，CWUV40PP1，
CWUV40TL1，CWUV40TP1，CWUV6S0P1，CWUV8S0P1，CWUZ00PL1，
CWUZ0S0P1，CWUZ0S0S1，CWUZ0S0S3，CWUZ0S1S3，CWUZ160L1，
CWUZ16EL2，CWUZ16KL2，CWUZ3L0P1，CWUZ3L0S1，CWUZ400L1，
CWUZ40EL1，CWUZ40KL1，CWUZ40KM1，CWUZ40TL1，CWUZ6S0P1，
CWUZ8S0P1，DZU004401，DZUM04401，DZUM044C1，DZUMC4401，
DZUPC21K1，DZUV016K2，DZUV040K1，DZUVA4401，DZUZA4401，
PFFG01D8S，PFFV01D4S，PFFV01D8S，PFFV03D4P，PFFV03D6P，
PFFZ01D8S，PFFZ03D4P，WGFA04HP6，WGFA16HP2，WGFA40H01，
WGFA40HP1，WGFG04HP6，WGFG04TP6，WGFG16CP2，WGFG16D01，
WGFG16D21，
WGFG16HP1，WGFG16HP2，WGFG16HT2，WGFG16TP2，WGFG40D01，
WGFG40H01，WGFG40HP1，WGFG40HT1，WGFG40KP1，WGFG40N01，
WGFG40T01，WGFV04HP6，WGFV16CP2，WGFV16D01，WGFV16D21，
WGFV16HP1，WGFV16HP2，WGFV16HT2，WGFV16KP2，WGFV16NP2，
WGFV40C01，WGFV40D01，WGFV40H01，WGFV40HP1，WGFV40HT1，
WGFV40K01，WGFV40KP1，WGFV40N01，WGFV40T01，WGFZ04HP6，
WGFZ16D01，WGFZ16HP2，WGFZ40H01，WGFZ40HP1，YY5000400，
YY5000410，YY5000421，YY5000425，YY5000426，YY5000427，YY5000430
，YY5000431，YY5000432，YY5000433，YY5000434，YY5000436，
YY5000437，YY5000438，YY5000440，YY5001600，YY500400A，YY50P1600
，YY50P1606，YY50P160S，YY5M1L0K0，YY5M1L0V0，YY5M1LSVA，
YY5M1LSVC，YY5M1U4KA，YY5M1UKV0，YY5M1USVA，YY5M1USVD，
YY5M2L3VA，YY5M2LSPA，YY5M2U0K0，YY5M2U0V0，YY5M2USVA，
YY5S1U1KB，YY5S1U1T0，ENC0M1CN0，ENC0MPH01，ENC0MPH02，
ENC0MPV01，ENC0MPV02，ENC0MSP01，ENC0MSP05，ENC0MTC00，
ENC0MTC01，INGEN1PU0，INGEN1PU1，INGEN1ST0，INGEN2DVC，
INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
INGENSP04，INGENSP05，INGENSP06，INGENSP07，INGENSP08，
INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，
INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
INGN2SP08，INGN2SP09，INGN2SP10，INGN2SP11，INGN2SP12，
INGN2SP14，INGN2SP15，INGN2SP19，INGN2SP21，INGN2SP22，
INGN2SP23，INGN2SP24，INTIG2DUV，INTIG2ILN，INTILN2DW，
R2501PH01，R2501PH02，RGEN1SP06，W2501CB08，W2501CB12，
W2501CB16，W2501CB22，W2501CC01，W2501KP01，W2501PC01，
W2501PH01，W2501PH02，W2501RK01，W2501SP01，W2501SP02，
W2501SP03，W2501SP04，W2501SP07，W2501SP08，W2501SP09，
W2501SP10，W2501SP11，W2501SP12，W2501SP13，W2501SP14，
W2501SP15，W2501SP16，W2501SP17，W2501SP18，W2501SP19，
W2501SP20，W2501SP21，W2501TC01，W2501TC02，W2501TC03，
W2501TC04，W2501TC05，
W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，
WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，
WCDI0UB00，WCDI0UC00，WCDP000H1，WCDP025H1，WCDP025L1，
WCDP050H1，WCDP050L1，WCDP100H1，WCDP100L1，WCDPC25T4，
WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，
WCDS000F2，WCDS000F3，WCDS000F4，WCDS000P1，WCDS000P3，
WCDS008K3，WCDS010ED，WCDS020K3，WCDS021ED，WCDS024ED，
WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，
WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，
WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，
WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，
WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，
WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，
WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，
WGEN2S012，WGEN2S013，?
ENTEGRISWGFGT1PR145.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT43.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG229.00過濾器
ENTEGRISWG2F02RR21.00
ENTEGRISWGFG21KP01.00過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR21.00過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS8RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?CBUG0S0S1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPRR4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPSS3?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F02RR4?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS8RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?CBUG0S0S1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPRR4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPSS3?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F02RR4?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS8RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?CBUG0S0S1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPRR4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPSS3?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F02RR4?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1
EntegrisWG2FT1SS2
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2
EntegrisWG2FT1RR2
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGPMOGGT2
最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接面積來消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)非常適合高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了極高的設(shè)計效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫和動壓應(yīng)用
惰性和反應(yīng)性氣體
氣柜和面板
閥組箱
掛鉤
注意：不建議與 CO、O 3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾膜 鎳
? 外殼，端蓋 低硫316L不銹鋼
初始下游清潔度 ≤0.03 個顆粒/升（≤1 個顆粒/ft 3） ≥0.01 μm
移除等級 ≥0.0015 微米
顆粒保留 Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 60 slm
(Mini) and 120 slm (Mini XL): referenced at the most penetrating particle size
Surface finish interior ≤ 5 μin Ra
Helium leak rating Tested 9 × 10-10 Pa m3c (9 × 10-9 atm ccc)
Maximum conditions Maximum operating pressure: 16.2 MPa (162 bar, 2346
psid) at 20°C (68°F)
? Maximum forward/reverse differential pressure: 3.3 MPa (33 bar, 485 psid)
@RT
? Maximum design temperature: Inert gases: 400°C (725°F)
Flow rating Refer to performance data
?零件號
Wafergard III NF Mini/Mini XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3NS1RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米
（3.31 英寸）
WG3NS2RR2 1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0 毫米
（5.00 英寸）
WG3NS2RR4 1/2" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.3 毫米
（5.25 英寸）?
ENTEGRIS?? ?YY260103P?? ?14381?? ?濾殼
ENTEGRIS?? ?PN2H010E1?? ?14380?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ?YY260103P?? ?14381?? ?濾殼
ENTEGRIS?? ?PN2H010E1?? ?14380?? ?濾芯
Entegris?? ?WGFGT1PR1?? ?12027?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ?WGFGT1PR1?? ?12027?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ?WG2F15HJJ6?? ?21344?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ?YY260103P?? ?14381?? ?濾殼
ENTEGRIS?? ?PN2H010E1?? ?14380?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ?WGPMOGGT2?? ?11700?? ?
ENTEGRIS?? ?WGPM0GGT4?? ?12028?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ?LGMXFPRR4?? ?21160?? ?
ENTEGRIS?? ?WGPM0GGT4?? ?12028?? ?過濾器
Entegris?? ?WG2SS8RR2?? ?16