ENTEGRIS氣體過濾器，WG2F02RR2，WG2F02RR4，WG2F32PS1

ENTEGRIS氣體過濾器，WG2F02RR2，WG2F02RR4，WG2F32PS1

ENTEGRIS氣體過濾器，WG2F02RR2，WG2F02RR4，WG2F32PS1

ENTEGRIS氣體過濾器，WG2F02RR2，WG2F02RR4，WG2F32PS1

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?Wafergard?II?F?Mini?XL?在線氣體過濾器

在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進(jìn)行卓越的顆粒過濾。

緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地面積，節(jié)省了寶貴的設(shè)備空間
PTFE?膜提供高效過濾，提高產(chǎn)品產(chǎn)量
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風(fēng)險(xiǎn)
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
?應(yīng)用
Wafergard?II?F?Mini?XL?在線氣體過濾器應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
煤氣柜
超純氣體系統(tǒng)
閥組箱
氣體面板
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
住房 電拋光?316L?不銹鋼
下游清潔度 粒子 <0.03?顆粒/升（<1?顆粒/ft?3)?>0.01μm
揮發(fā)物 <10?ppb?水分
移除等級 0.0015?微米 ?
表面處理內(nèi)部 ≤10?μin?Ra ?
氦泄漏等級 合格的 2?×?10?-10?atm/cc-sec
經(jīng)過測試 1?×?10?-9?atm/cc-sec
濃度分辨率 ±0.015?ppm
運(yùn)行條件 最大入口壓力： 20.7?兆帕（207?巴；3000?磅/平方英寸）@?23°C?(73°F)
最大正向壓差： 0.4?MPa?(4?bar;?60?psid)?@?23°C?(73°F)
最大壓差： 0.07?MPa?(0.7?bar;?10?psid)?@?23°C?(73°F)
最高工作溫度： 120°C?(248°F)
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在?100?slpm?下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數(shù)據(jù) ?
?零件號
Wafergard?II?F?Mini?XL?在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG2F02JJ2 1/4"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WG2F02JJ4 1/2"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WG2F02PS1 1/4"?壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 115.5?毫米（4.55?英寸）
WG2F02RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0?毫米（5.00?英寸）
WG2F02RR4 1/2"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.4?毫米（5.25?英寸）
WG2F32PS1 3/8"?壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）外螺紋入口/出口 119.3?毫米（4.70?英寸）

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