美國(guó)ENTEGRIS英特格，濾芯W(wǎng)GPM0GGG2，現(xiàn)貨

美國(guó)ENTEGRIS英特格，濾芯W(wǎng)GPM0GGG2，現(xiàn)貨

美國(guó)ENTEGRIS英特格，濾芯W(wǎng)GPM0GGG2，現(xiàn)貨

美國(guó)ENTEGRIS英特格，濾芯W(wǎng)GPM0GGG2，現(xiàn)貨
美國(guó)ENTEGRIS英特格，濾芯W(wǎng)GPM0GGG2，現(xiàn)貨

美國(guó)ENTEGRIS英特格，濾芯W(wǎng)GPM0GGG2，現(xiàn)貨

美國(guó)ENTEGRIS英特格，濾芯W(wǎng)GPM0GGG2，現(xiàn)貨

美國(guó)ENTEGRIS英特格，濾芯W(wǎng)GPM0GGG2，現(xiàn)貨
美國(guó)ENTEGRIS英特格，濾芯W(wǎng)GPM0GGG2，現(xiàn)貨

應(yīng)特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過(guò)濾器WGMXMSRR2，現(xiàn)貨4個(gè)

應(yīng)特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過(guò)濾器WGMXMSRR2，現(xiàn)貨4個(gè)

應(yīng)特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過(guò)濾器WGMXMSRR2，現(xiàn)貨4個(gè)

應(yīng)特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過(guò)濾器WGMXMSRR2，現(xiàn)貨4個(gè)

WGMXMBSS3 ? WGMXMBSS4
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器

這些在線 PTFE 氣體過(guò)濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過(guò)濾。

PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
? 住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
? 揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測(cè)下限為 5 ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
? 經(jīng)過(guò)測(cè)試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
? ? 青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? ? Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? 最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
? 最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
? 最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）

?

?

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

wgfg21kp3
WGMXLBRR4
wg2ft1ss2
?

美國(guó)ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS8RR2現(xiàn)貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過(guò)濾器

WG3NS6SL2
WGMXLPRR6?
WG3DBGNRR4

SI2MSNFE05?

WG2F15HJJ6
WG2F40RR3

美國(guó)ENTEGRIS英特格，過(guò)濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
WG3D50DR2
美國(guó)ENTEGRIS英特格，過(guò)濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
WGSLNFC1H?
美國(guó)ENTEGRIS氣體過(guò)濾器，WDPM0CPSF，數(shù)量3個(gè)
SV10F20E16 ? 氣體過(guò)濾器
SVTV01TQ1 ? ?氣體過(guò)濾器
WGFG16HP2，氣體過(guò)濾器
Entergris 過(guò)濾器
型號(hào)：TRVT31X942SP
CWAG16KL1? ?3個(gè)

美國(guó)ENTEGRIS英特格，過(guò)濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
SI2N0100BRR6,
WGFG16HP2

美國(guó)ENTEGRIS英特格，過(guò)濾器 WG3NS7SL2
WGMXMBSS4
CBUG050P1

英特格 A2AG200K1?
SVEG01P01
WGMXMBSS4 ? ??
WGMXMBSS3 ??
YY4110106
YY5032PS1 ??
YY4110104
YY66H0A2A
A2AG200K1
GPUS700FIX04R02CA

Gas cleaner series GPU 2500F, HX filler GPUS2500FHX04R00CR

WGMXMPRR4數(shù)量10

WGMXMBRR2數(shù)量5
?為超純氣體系統(tǒng)過(guò)濾提供卓越的微粒過(guò)濾，是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。

最先進(jìn)的外殼組件通過(guò)最小化焊接區(qū)域來(lái)消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
? Wafergard GT-Plus 在線氣體過(guò)濾器
以高達(dá) 30 slpm 的流速可靠地去除惰性氣體中的顆粒。

提供高效、低成本、使用點(diǎn)的惰性氣體過(guò)濾
> 99.9999999% 去除所有直徑大于 0.015 μm 的顆粒
應(yīng)用
Wafergard GT-Plus 在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用
低進(jìn)氣過(guò)濾器
晶圓輸送系統(tǒng)
清潔干燥空氣 (CDA)?
產(chǎn)品規(guī)格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
? 支架、外殼： 粉煤灰
推薦流量 30 升/分鐘
連接 1/8", 1/4" 壓縮密封
膜面積 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
顆粒保留 >99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒（在最具穿透性的顆粒尺寸下驗(yàn)證）
運(yùn)行條件 最大工作壓力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
? 最大正向壓差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
? 最大反向壓差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
? 最高工作溫度： 50°C (122°F)
方面 長(zhǎng)度： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
? 直徑： 21.5 毫米（0.85 英寸）
GPUS200FEX04R00CA ?8個(gè) 單價(jià)24500 ?8-10周
GPUS2500FWY08R00CA 4個(gè) 單價(jià)62000 3.5-4個(gè)月

零件號(hào)
Wafergard GT-Plus 在線氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度 選擇選項(xiàng)
WGFG01KP0 1/8" 壓縮密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 10 件裝過(guò)濾器
WGFG01KP3 1/8" 壓縮密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 3 件裝過(guò)濾器
WGFG21KP0 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 10 件裝過(guò)濾器
WGFG21KP3 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 3 件裝過(guò)濾器
? ENTEGRIS英特格，Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器，WGMXMPRR2現(xiàn)貨

其他商品
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和活性氣體
產(chǎn)品規(guī)格

WG3NS7SL2 WG3NS3RF2 WG2F02PSI

WGSLSHW1MP-T
WGMXMBSS4
WG3SS1WW2
WG2S01WW2

材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過(guò)濾器
? 住房 電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
? 揮發(fā)物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
? Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
? Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
? ? Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
?零件號(hào)
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
.特種氣體

特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。我們富有經(jīng)驗(yàn)的應(yīng)用團(tuán)隊(duì)遍布全球，可以根據(jù)對(duì)您的行業(yè)和應(yīng)用情況的了解，為您提供特種氣體供應(yīng)解決方案，以滿足您的獨(dú)特需求。

Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器

Gasketgard 在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長(zhǎng)度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過(guò)程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器
? ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGFGMBRR4

ENTEGRIS WGFGT1PR1

Entegris WG2FT1SS2

Entegris WG2FT1SS2

ENTEGRIS WGMXMSRR4

ENTEGRIS WGMXMSRR2

Entegris WG2FT1RR2

Entegris WG2FT1RR2

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ZQVTEIC42SP
NXPY300M31SP
PIPW30C3SA
TPVW3CE3S
CHRZ5NPNM1510S82SW
LPFHTIXP12168E71
QCPY30M2S
NXPY150M31SP
NXVYE10902SP
TRPW30C2S
CRZ5NPNM1010SB2SW
TRCTEICOBKPL
TRPJ30EM31SP
NXVYE10942SP
TRCT31COBKP
TRVWACE3S
ECDYOlM01
TPCWACEB1K
CHRZ5TVNM1010S84AXSW
NXVZM10902SP
IHATOIM01K
NXCZM1000KP
PADGIHSVH3EHIK13C
LDFDTIHSVHI600040
TRVXATETN
NXVYM10942SP
TRVTEIC942SPL
NXPGXS0T02HP
TRMWAGE3S
ZQVTE1C942SP
ABPGIHSVH3EH1K13C
NXCYE1000kP
PRLXOlPQ1K
TKVTEIC942SPL
TRPJ30EM31SP
GSCFMEOOKT
SWPO3HSAN4E71KBD
PRLXOLRML
SWF041EC284E7IPE1
SWF04XP284E71K18
LPFVTIXP2168E71
TRDWACE4F
ECDY01M01
ABPGIHSAH3EH1K13D
LDFDTIHSAH16S00109
LPEGNIHSSVH16S00058
TRPM30EM31SP
TRVXATE3S

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS LGMXFPRR4

ENTEGRIS CBUG0S0S1

ENTEGRIS WG3NS8RR2

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG2F02RR4

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGPM0GGT4

ENTEGRIS WGPM0GGG2

ENTEGRIS WGPM0GGG2

ENTEGRIS WG2F02RR2

ENTEGRIS WG2F02RR2

Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG ?WG3NS6RR2

ENTEGRIS WG3NS8RR2

?

Wafergard SG 氣體過(guò)濾器

Wafergard SG FG 氣體過(guò)濾器提供卓越的微粒過(guò)濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴(kuò)散核武器條約
長(zhǎng)度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過(guò)濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過(guò)濾器提供卓越的微粒過(guò)濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。?

與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應(yīng)用具有出色的兼容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard SG 氣體過(guò)濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示器制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
氣體面板
零件號(hào)
Wafergard SG 氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 1000 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 500 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 1000 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 1000 升/分鐘 1/2" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過(guò)濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過(guò)濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過(guò)濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過(guò)濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過(guò)濾器 200 升/分鐘 3/8" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過(guò)濾器 200 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
??

?

?

?Wafergard SG 氣體過(guò)濾器
Wafergard SG FG 氣體過(guò)濾器提供卓越的微粒過(guò)濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴(kuò)散核武器條約
長(zhǎng)度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過(guò)濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過(guò)濾器提供卓越的微粒過(guò)濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。?

與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應(yīng)用具有出色的兼容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard SG 氣體過(guò)濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示器制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
氣體面板
零件號(hào)
Wafergard SG 氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 1000 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 500 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 1000 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過(guò)濾器 1000 升/分鐘 1/2" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過(guò)濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過(guò)濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過(guò)濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過(guò)濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過(guò)濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過(guò)濾器 200 升/分鐘 3/8" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過(guò)濾器 200 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）

?

WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護(hù) 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）?

Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器

這些在線 PTFE 氣體過(guò)濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過(guò)濾。

PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
? 住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
? 揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測(cè)下限為 5 ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
? 經(jīng)過(guò)測(cè)試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
? ? 青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? ? Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? 最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
? 最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
? 最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）

WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 ? YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1 CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW ?GPUS2500FIX04R00CA 等常規(guī)型號(hào)均有現(xiàn)貨 ?

ENTEGRIS ? ? ? ?WGPM0GGT4 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR2 ? ?

ENTEGRIS ? ? ? ?LGMXFPSS4 ? ?

ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR2（無(wú)包裝） ? ?

Entegris ? ? ? ?WG2FT1RR2 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGPMOGGT2 ? ?

Entegris ? ? ? ?WG2FT1RR2 ? ?過(guò)濾器

Entegris ? ? ? ?WGMXMBRR4 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGMBRR4 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR4 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NSMSL2 ? ?過(guò)濾器

Entegris ? ? ? ?WG2FT1RR2 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NSMSL2 ? ?

Entegris ? ? ? ?WG2FT1SS2 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGT1PR1 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGT1PR1 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR4 ? ?過(guò)濾器

Entegris ? ? ? ?WG2FT1RR2 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NS8RR2 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGMBRR4 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGT1PR1 ? ?過(guò)濾器

Entegris ? ? ? ?WGMXMBRR4 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NS1RR2 ? ?過(guò)濾器

Entegris ? ? ? ?WG2FT1SS2 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR2 ? ?

ENTEGRIS ? ? ? ?LGMXFPSS4 ? ?

ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR2（無(wú)包裝） ? ?

CTPR01P01K
CTFA01TC1K
CBUZ8L0P1
MR1F01025EH1
VCSC10004M3F300
CTFC01TPE
NXCYE10000P
CTFG01TPEKPW
NXCVX1000KP
CTFG02TPEK
CTFV02TPEK
GSCFM2E00KT
MRF1UKFR25EH1--K3
MRF1UKFT25EH1--K3
ABFG1GPK3EHI-K7
ABFIUFR3EH1-K3
ABDG1HSSH3EHI-K13C
EZA2091201
AB09UHHD3EHIK12

TADXACEOF
TRVXATE3S
TRVXATE4S
ECDFM1C942SD
S4415R026Y18
XPRESSKLEEN KC
QCDYACM2F

PIPW30C2S

4022.656.73041
TRPT15XM31SP
TRPW30C3S
NXPY150M86SP
NXDZM10B022P
LDFN3UFD7E2
SWF03XP54E71-K18
LDFVT1GPDL168E71-K
LDFN01F0005SW22

DFA2Y002F64
QCVYATE4S
VDKD0010BFL64-4D
ULTIKLEEN G2 HIT KC
FILTER UPW

ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NSMSL2 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NSMSL2 ? ?

WGFGMBRR4 WGFGT1PR1 WGMXLPRR6 LGMXFPRR4 LGMXFPSS3 WG2F02RR2 WG2F02RR4 WG2F15HJJ6 WG2FT1RR2 WG3NS8RR2 WGFA21KP0 WGFG01DS0 WGFG01DSH WGMXMBRR4 WGMXMPRR4 WGMXMSRR2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 YY5032PR1 YY5032PS1 SI2N0100B

ENTEGRIS ? ? ? ?CBUG0S0S1 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMPRR4 ? ?

ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMPSS3 ? ?

ENTEGRIS ? ? ? ?WG2F02RR4 ? ?

Entegris ? ? ? ?WG2FT1SS2 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NSMSL2 ? ?

ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGT1PR1 ? ?過(guò)濾器

ENTEGRIS ? ? ? ?WGPMOGGT2 ? ?

ENTEGRIS ? ? ? ?WGPM0GGG2 ? ?過(guò)濾器

Gasketgard 在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。

保持器便于對(duì)齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過(guò)濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過(guò) 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
WG2F02RR2

WG2F02RR4

WG2F15HJJ6

WG2FT1RF2

WG2FT1RR2

WG2FT1SS2

WG2SS8RR2

WG3NS1RR2

WG3NS2RR2

WG3NS2RR4

WG3NS3JJ2

WG3NS3RF2

WG3NS6RR2

WG3NS8RR2

WG3SS1WW2

WG3SS2WW2

WGFA21KP0

WGFG01DS0

WGFG01DSH

WGFG01KP0

WGFG01KP3

WGFG01RH2

WGFG02PR1

WGFG21KP0

WGFG21KP3

WGFG32PRU

WGFG50PR1

WGFGMBRR2

WGFGMBRR4

WGFGT1PR1

WGFGT1PS1

WGGB12S02

WGL045HS3R2

WGMXLBRR4

WGMXLPRR6

WGMXMBRR2

WGMXMBRR4

WGMXMBSS3

WGMXMPRR4

WGMXMPRR6

WGMXMSRR2

WGMXMSRR4

WGPM0GGG2

WGPM0GGT2

WGPM0GGT4

WGSLNFC1L
WGMXMBRR4 WGMXMBRR2 WGFGMBRR2 過(guò)濾器 應(yīng)特格
WGFG01KP3 WGFG01DSH WGFG01DS0 WGFA21KP0

WGSLSFC1M

YY5001HR1
LGMXFPRR4 過(guò)濾器 entegris 應(yīng)特格

SI2R15E05 SI2N0100B SI2N0200B 過(guò)濾器
YY5032PR1

YY5032PS1

YY50600VT
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器部件號(hào)
YY5032PS1 YY5032PR1 卡套 3/8
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）

? Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器
Gasketgard 在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長(zhǎng)度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過(guò)程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器
??
?Gasketgard 在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。

保持器便于對(duì)齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
WGGB12S02

WGL045HS3R2

WGMXLBRR4

WGMXLPRR6

WGMXMBRR2

WGMXMBRR4

WGMXMBSS3

WGMXMPRR4

WGMXMPRR6

WGMXMSRR2

WGMXMSRR4

WGPM0GGG2

WGPM0GGT2

WGPM0GGT4WSP20-2C-20KK

WSP20-2M-20KK

CG2NDD050R2

LGMXFPRR4

LGMXFPSS3

SI2MSNFE05

SI2N0025R

SI2N0050R

SI2N0100B

SI2N0100BRR8

SI2N0200B

SI2R007RO

SI2R15E05

SI5BGLTE07

WG2F02RR2

WG2F02RR4

WG2F15HJJ6

WG2FT1RF2

WG2FT1RR2

WG2FT1SS2

WG2SS8RR2

WG3NS1RR2

WG3NS2RR2

WG3NS2RR4

WG3NS3JJ2

WG3NS3RF2

WG3NS6RR2

WG3NS8RR2

WG3SS1WW2

WG3SS2WW2

WGFA21KP0

WGFG01DS0

WGFG01DSH

WGFG01KP0

WGFG01KP3

WGFG01RH2

WGFG02PR1

WGFG21KP0

WGFG21KP3

WGFG32PRU

WGFG50PR1

WGFGMBRR2

WGFGMBRR4

WGFGT1PR1

WGFGT1PS1

WGGB12S02

WGL045HS3R2

WGMXLBRR4

WGMXLPRR6

WGMXMBRR2

WGMXMBRR4

WGMXMBSS3

WGMXMPRR4

WGMXMPRR6

WGMXMSRR2

WGMXMSRR4

WGPM0GGG2

WGPM0GGT2

WGPM0GGT4

WGSLNFC1L

WGSLSFC1M

YY5001HR1

YY5032PR1

YY5032PS1

應(yīng)用程序

Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器應(yīng)用

適用于高達(dá)400°C(752°F)的應(yīng)用

用于保護(hù)敏感氣體元件

適用于高壓和高溫應(yīng)用

產(chǎn)品規(guī)格

材料:燒結(jié)316L不銹鋼過(guò)濾介質(zhì)焊接316L不銹鋼墊片

固定器316不銹鋼

顆粒保留率:直徑大于0.3μm的所有顆粒去除率大于95%

工作條件:最大壓差1 / 4”P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)

1 / 4 " P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)

1 / 2”P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)

1 / 2”P2: 2.9 MPa (29 bar, 421 psid)

最高工作溫度400°C(752°F)[惰性氣體]

零件編號(hào)

Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器部件編號(hào)

零件編號(hào)、尺寸和型號(hào)長(zhǎng)度

wgpm0ggg2 1/4"型25.00 mm (0.98")

wgpm0ggt2 1/4"型帶擋圈25.25 mm (0.99")

wgpm0ggt4 1/2"(3/8")型帶擋圈29.50 mm (1.16")

MRO供應(yīng)鏈商城--1230SHOP，常備美國(guó)Entegris英特格/應(yīng)特格各類過(guò)濾器、純化器，現(xiàn)貨金額超百萬(wàn)！

應(yīng)特格Entegris常規(guī)現(xiàn)貨型號(hào)有：

GPUS2500FIX08R00CA，

GPUS2500FHX08R00CA，

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFG01DS0

ENTEGRISWGPM0GGG2

ENTEGRISWGFGT1PR1

ENTEGRISWGFGMBRR4

ENTEGRISLGMXFPRR4

entegrisCTFG01TPE

ENTEGRISWGPMOGGT4

ENTEGRISWG2F02RR2

ENTEGRISWGFGMBRR4

ENTEGRISWG2F02RR2

EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG ?WG3NS6RR2

ENTEGRISWG3NS8RR2

ENTEGRISWGPM0GGG2

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWG2F02RR2

ENTEGRISWG2F02RR4

ENTEGRISWGMXMPSS3

ENTEGRISWGMXMPRR4

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISWG3NS8RR2

ENTEGRISCBUG0S0S1

EntegrisWG2FT1SS2

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISWGMXMSRR4

ENTEGRISWGMXMSRR2
YY50600VT

GPUS200FIX04R00CA

GPUS2500FHX04R00CA

GPUS2500FHX08R00CA

GPUS2500FIX04R00CA

GPUS2500FIX08R00CA

GPUS2500NCX04R00CA

GPUS2500NCX08R00CA

GPUS2500NCX08R02CA

GPUS300FWX04R02CA

GPUS300FYX04R02CA

GPUS300NCX04R02CA

AFUG0LPM1

AHUXMLEX1

AMVT33201

APD12LEM1

APD25LEM1

APD50SPM1

BA10012PWENH

BA10022PWENH

CHUX3L0P1M

CHUY3L0P1M

CN2501E06

DFFG01N8S1P

FGPA010T1

FGPH010T1

PFFZ01P4P

PGFPV010V1

PGPDN002AH3NF-N

PGPSG010E1

SKPS010H2F

SV02010E1

SV0261PE1

SV02R10E1

SV0561PV1

SV05R10E1

SV1061PE1

SV10R10E1

SV1H61PE1A

SV1HR10E1A

SV20R10E1

SV2HR10E1

SV2HR10T1

SV30010E1

SV3061PE1

SV30R10E1

SV30R10T1

SV3H61PE1

SV3HR10T1

SV4HR10T1

SV50R10E1

SVAAR10E1

SVAG010E1

SVAG020T1

SVAG61PE1

SVAGR10E1

SVAH010E1

SVAH61PE1

SVAHF10E1

SVAVR10E1

SVEG010E1

SVEG0S0E1

SVEG61PE1

SVES020T1

SVSAR10E1C

SVSGR10E1C

SVSHR10E1C

SVSV61PE1C

SVSVR10E1C

UPEH030E1

CPUV01PLT

CTCAT200Q0D

CTCGT100BKH

CTCVT100Q0H

CTCVT100QKH

CTFG01TPE

CTFG0STPE

CW0A020E1

CWAG0S0S1

WG2L200SS3R2

WG2L200SS3R4

WG2L500SS5R4

WG2S01WW2

WG2SS8RR2

WG2SS8RR2S

WG3D25LR2

WG3D25SR2

WG3D401R2

WG3D40DR2

WG3NS1RR2

WG3NS2RR2

WG3NS2RR4

WG3NS3RF2

WG3NS6RR2

CWAG40EL1

CWAV3L0S1

CWUG3L0S1

NXCGT10000P

NXPZ150M31FP

PGTV01EQ1

SVTA01TQ1

SVTA01TQ1K

SVTA02TQ1

SVTA0MTQ1

SVTB01TQ1K

SVTC01TQ1

SVTG01TQ1KPW

SVTG02TQ1KPW

SVTH01TQ1

SVTH01TQ1KPW

SVTV01TQ1

SVTV01TQ1K

SVTV01TQ1KPW

SVTV02TQ1KPW

SVTZ01TQ1KPW

WGSLNFC1L

WGSLSFC1M
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
WG2L200SS3R2，WGL100NS3R2 各一個(gè)詢價(jià)?
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過(guò)濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過(guò) 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
Gasketgard 在線墊片過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
??

ENTEGRISWGPMOGGT21.00

ENTEGRISWGFGT1PR12.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG210.00過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS23.00過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS22.00過(guò)濾器

YY260103P，2個(gè)

PN2H010E1，2個(gè)

ENTEGRISWGMXMSRR41.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR22.00

EntegrisWG2FT1RR22.00過(guò)濾器

50多年來(lái)，ENTEGRIS的日常使命一直是幫助客戶利用他們先進(jìn)的基于科學(xué)的解決方案來(lái)支持需求 驅(qū)動(dòng)程序。更快，更有效地進(jìn)行創(chuàng)新;并最終改變世界。通過(guò)他們的解決方案和技術(shù)專長(zhǎng)的力量， Entegris為客戶提供基于科學(xué)的創(chuàng)新解決方案，以應(yīng)對(duì)嚴(yán)峻的技術(shù)挑戰(zhàn)。ENTEGRIS的總部位于 馬薩諸塞州的比勒里卡，在全球擁有大約5100名員工，大約一半在亞太地區(qū)或歐洲工作。通過(guò)在 亞太地區(qū)，北美和歐洲的研發(fā)，客戶服務(wù)，分析實(shí)驗(yàn)室和制造，ENTEGRIS在將技術(shù)提升到更高水 平時(shí)為全球客戶提供支持。

。

美國(guó)ENTEGRIS Wafergard II SF半在線氣體過(guò)濾器
①當(dāng)首選所有不銹鋼結(jié)構(gòu)時(shí)，Wafergard II SF半在線氣體過(guò)濾器是高純度氣體系統(tǒng)的首選過(guò)濾器 。
②先進(jìn)的外殼組件通過(guò)最小化焊接面積消除了脫氣現(xiàn)象。
③全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
④其緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提供最高的設(shè)計(jì)效率，并降低工程成本。

美國(guó)ENTEGRIS Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器
①Gasketgard 直列式墊片過(guò)濾器是一種緊湊的全金屬過(guò)濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的1/4“，3/8”和1/2 “VCR 墊片
②固定器，易于對(duì)準(zhǔn)
③專為輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線而設(shè)計(jì)
④高壓和高溫應(yīng)用的理想選擇
⑤保護(hù)關(guān)鍵組件免受微粒傷害
⑥ISO認(rèn)證的工廠中制造

PART NUMBERS

Chemlock? Filter Housings Part Numbers

Hide Part Numbers?

YY5605153 ? ?YY5605203 ? ?YY5611153 ? ?YY5611153GF ? ?YY5611153T
YY5611160 ? ?YY5611160T ? ?YY5611170 ? ?YY5611170GF ? ?YY5611170T
YY5611180 ? ?YY5611180GF ? ?YY5611180T ? ?YY5611190GFM ? ?YY5611190M
YY5611203 ? ?YY561120A ? ?YY561120B ? ?YY561120E ? ?YY561120F
YY561120P ? ?YY5611213 ? ?YY561121F ? ?YY561121P ? ?YY5611250
YY5611250GF ? ?YY5611250T ? ?YY5611253 ? ?YY5611253GF ? ?YY5611253T
YY5611280 ? ?YY5611280GF ? ?YY5611280T ? ?YY5611290GFM ? ?YY5611290M
YY5611G03 ? ?YY5611G0B ? ?YY5611G0E ? ?YY5611G0F ? ?YY5611G0P
YY5611G13 ? ?YY5611G1E ? ?YY5611G1F ? ?YY5611G1P ? ?YY562010NS
YY5620160 ? ?YY5620160T ? ?YY5620170 ? ?YY5620170GF ? ?YY5620170T
YY5620180 ? ?YY5620180GF ? ?YY5620180T ? ?YY5620190GFM ? ?YY5620190M
YY5620190TM ? ?YY5620203 ? ?YY562020B ? ?YY562020E ? ?YY562020F
YY562020P ? ?YY5620213 ? ?YY562021F ? ?YY562021P ? ?YY5620250
YY5620250GF ? ?YY5620250T ? ?YY5620253 ? ?YY5620253GF ? ?YY5620253T
YY5620280 ? ?YY5620280GF ? ?YY5620280T ? ?YY5620290GFM ? ?YY5620290M
YY5620290TM ? ?YY5620G0E ? ?YY5620G0F ? ?YY5620G1F ? ?YY5620G1P
YY5630280 ? ?YY5630280GF ? ?YY56H000B ? ?YY56HA20A ? ?YY56HB20B
YY56HB24B ? ?YY56HF10F ? ?YY56HF14F ? ?YY56HF20F ? ?YY56HF24F
YY56HL10LM ? ?YY56HL14LM ? ?YY56HL20LM ? ?YY56HL24LM ? ?YY56HP103
YY56HP143 ? ?YY56HP203 ? ?YY56HP20P ? ?YY56HP243 ? ?YY56HP24P
YY6610A2E ? ?YY6610F4E ? ?YY6610R5E ? ?YY6614F4E ? ?YY6614U1E
YY6614U2E ? ?YY6620A2E ? ?YY6620A4AE ? ?YY6620F4E ? ?YY6620R5E
YY6624F4E ? ?YY66B1150 ? ?YY66B1170 ? ?YY66B1280 ? ?YY66B2150
YY66B2170 ? ?YY66B2280 ? ?YY66H0A2A ? ?YY66H0F4F ? ?YY66H0R2R
YY66H4F4F ? ?YY66H4U1A ? ?YY66H4U2A

PFA模型
材料頭、模制配件、碗、塞子PFA 440 HP或同等產(chǎn)品
O型圈E-FKM、EP、Kalrez?、Viton?
非潤(rùn)濕鎖環(huán)
通用鎖環(huán)PVDF或GFPP（玻璃填充聚丙烯）
聚四氟乙烯
安裝硬件-螺母和螺栓（非濕部件）PVDF
流體連接PrimeLock?、Flaretek?、Super Type Pillar?、Super 300 Type Pillar、管件、FNPT
藥筒連接代碼0，雙2-222 O型圈和帶鑰匙的Chemlock藥筒
操作條件PVDF和GFPP鎖環(huán)
zui大入口壓力：
100°C（212°F）時(shí)為0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）時(shí)為0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方英寸）的PTFE鎖環(huán)
zui大入口壓力：
95°C（203°F）時(shí)為0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）時(shí)為0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方英寸）
zui高工作溫度：
100°C（212°F）zui高工作溫度：
95攝氏度（203華氏度）
扭矩E-FKM O型圈
45 N?m所有其他O型圈
28.5牛頓?米
使用Chemlock扭矩扳手驗(yàn)證扭矩規(guī)格
PP模型
材料頭和碗聚丙烯（PP）
O型圈EPR，氟橡膠
PVDF非潤(rùn)濕鎖環(huán)
流體連接件FNPT、Flaretek、Union、Rc
藥筒連接代碼0，雙2-222 O型圈和帶鑰匙的Chemlock藥筒
操作條件標(biāo)準(zhǔn)排水口配置
zui大入口壓力：
0.14兆帕（1.4巴，20磅/平方英寸）@90°C（194°F）
0.69 MPa（6.9 bar，100 psi）@25°C（77°F）1“FNPT排水口配置
zui大入口壓力：
0.14兆帕（1.4巴，20磅/平方英寸）@90°C（194°F）
0.55兆帕（5.5巴，80磅/平方英寸）@25°C（77°F）
zui高工作溫度：
90°C（194°F）zui高工作溫度：
90攝氏度（194華氏度）
扭矩（所有O型圈）28.5 N?m
使用Chemlock扭矩扳手驗(yàn)證扭矩規(guī)格
EntegrisWG2FT1RR21.00過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR210.00過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR210.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR2（無(wú)包裝）2.00

ENTEGRISWG3NSMSL22.00過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NSMSL22.00

ENTEGRISWG3NSMSL24.00

ENTEGRISCBUG0S0S12.00過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NS8RR21.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMPRR42.00

ENTEGRISWGMXMPSS32.00

ENTEGRISWG2F02RR42.00

ENTEGRISWGFGT1PR130.00過(guò)濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NS1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR2

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR2（無(wú)包裝）

ENTEGRISWG3NSMSL2過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISCBUG0S0S1過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NS8RR2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMPRR4

ENTEGRISWGMXMPSS3

ENTEGRISWG2F02RR4

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器

ENTEGRISLGMXFPRR4

ENTEGRISWGFA21KP0過(guò)濾器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NS1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR2

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR2（無(wú)包裝）

ENTEGRISWG3NSMSL2過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISCBUG0S0S1過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NS8RR2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMPRR4

ENTEGRISWGMXMPSS3

ENTEGRISWG2F02RR4

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器

ENTEGRISLGMXFPRR4

ENTEGRISWGFA21KP0過(guò)濾器

CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
美國(guó)ENTEGRIS應(yīng)特格公司簡(jiǎn)介：

我們的目的

讓技術(shù)改變世界

作為一家與領(lǐng)先制造商合作以實(shí)現(xiàn)技術(shù)持續(xù)進(jìn)步的全球性公司，我們擁有全球基礎(chǔ)設(shè)施，包括戰(zhàn)略位置的制造基地，研發(fā)設(shè)施和客戶支持中心。我們進(jìn)行基礎(chǔ)設(shè)施投資，使我們更接近全球各地的客戶。我們的高技能團(tuán)隊(duì)成員、設(shè)施和資源都在您需要的地方，以幫助您解決最先進(jìn)的技術(shù)挑戰(zhàn)。

圖像

產(chǎn)品和解決方案包括:

過(guò)濾產(chǎn)品，用于凈化氣體、流體和工廠環(huán)境

分配、控制、分析或運(yùn)輸過(guò)程流體的液體系統(tǒng)和部件

安全儲(chǔ)存和輸送有毒氣體的氣體輸送系統(tǒng)

特殊的化學(xué)沉積和清潔在先進(jìn)的節(jié)點(diǎn)

保護(hù)半導(dǎo)體晶圓免受污染和損壞的晶圓載體和托運(yùn)人

提供高純度表面的特殊涂層，具有耐磨、防腐蝕和光滑度

優(yōu)質(zhì)石墨和碳化硅高性能應(yīng)用

保護(hù)和運(yùn)輸磁盤驅(qū)動(dòng)器部件的托運(yùn)人和托盤

有特色的信息

公司資料簡(jiǎn)介

公司資料簡(jiǎn)介

致力于通過(guò)廣泛的解決方案組合，協(xié)作和創(chuàng)新的產(chǎn)品開發(fā)，以及對(duì)科學(xué)和應(yīng)用知識(shí)的關(guān)注，解決客戶最苛刻的工藝挑戰(zhàn)。

我們的核心競(jìng)爭(zhēng)力

創(chuàng)新的科學(xué)

第四次工業(yè)革命來(lái)了。人工智能、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)、物聯(lián)網(wǎng)——這些不僅僅是趨勢(shì)，它們是改變?nèi)蛉藗兩罘绞降尿?qū)動(dòng)力。隨著這些新的驅(qū)動(dòng)力和創(chuàng)新速度的加快，人們對(duì)更高質(zhì)量、更高性能的技術(shù)的期望也在加快。通過(guò)我們屢獲殊榮的解決方案和我們的技術(shù)專長(zhǎng)，我們?yōu)榭蛻籼峁﹦?chuàng)新的、基于科學(xué)的解決方案，以應(yīng)對(duì)最嚴(yán)峻的技術(shù)挑戰(zhàn)。在integris，我們是創(chuàng)新的科學(xué)。

材料科學(xué)與分析

分離科學(xué)

膜科學(xué)與工程

聚合物的表征與發(fā)展

界面科學(xué)

污染源分析

先進(jìn)材料

材料合成和定制配方

精密氣體混合物

特種涂料

石墨、碳化硅和工程碳

表面處理和清洗

液體和氣體的儲(chǔ)存和運(yùn)輸

微觀控制

尖端液體過(guò)濾和凈化

氣體凈化達(dá)到萬(wàn)億分之一(ppt)的水平

先進(jìn)晶圓廠空氣分子污染(AMC)解決方案

Wafer和reticle的處理

流體管理，傳感和控制

制造卓越

超凈組件和材料制造

快速原型和定制

領(lǐng)先的質(zhì)量控制集成SPC

廣泛的全球制造足跡

使命、愿景和價(jià)值觀

指導(dǎo)我們做什么和如何做

我們的使命

通過(guò)為先進(jìn)的制造環(huán)境提供增強(qiáng)材料和工藝解決方案，幫助我們的客戶提高生產(chǎn)力，性能和技術(shù)

CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，

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