美國(guó)ENTEGRIS英特格純化器，GPUS100FHX04R00CA，期貨
美國(guó)ENTEGRIS英特格純化器，GPUS100FHX04R00CA，期貨
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美國(guó)ENTEGRIS英特格純化器，GPUS100FHX04R00CA，期貨
?
Entegris 的 9N 氣體純化器是一類能將氣體純度提升至 9 個(gè) 9（即雜質(zhì)含量小于 1ppb）級(jí)別的高端純化設(shè)備，結(jié)合你提到的適用氣體種類及流量參數(shù)，其相關(guān)特性如下：
適用氣體：可對(duì) N?、Ar、He、Kr、Ne、Xe 等惰性氣體，以及 CF?、CH?、C?H?、C?H?、C?H??等鹵代烴和烴類氣體進(jìn)行純化。不同氣體的純化原理和內(nèi)部配置可能會(huì)有差異，但均旨在高效去除其中的 H?O、O?、CO、CO?、烴類等雜質(zhì)，以滿足半導(dǎo)體、科研等對(duì)氣體純度要求極高的領(lǐng)域需求。
流量規(guī)格：流量為 500slpm（標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘），屬于中流量級(jí)別。Entegris 有不同系列的產(chǎn)品可覆蓋該流量需求，例如其 GateKeeper 系列部分型號(hào)能滿足類似流量范圍，可根據(jù)具體工藝需求和其他參數(shù)進(jìn)一步選型適配。
純度性能：作為 9N 級(jí)純化器，通常要求進(jìn)氣純度在 5 個(gè) 9 及以上，經(jīng)過純化后可實(shí)現(xiàn)氣體雜質(zhì)含量低于 1ppb 的超純水平，能夠?yàn)閷?duì)氣體純度極為敏感的工藝環(huán)節(jié)提供穩(wěn)定可靠的高純氣體供應(yīng)。
?
?GateKeeper
?GPU?氣體凈化器
幻燈片詳情。
下載圖片
GateKeeper?GPU系列凈化器旨在提高工藝氣體的一致性、使用壽命和出口純度。
純度至?ppt?水平
廣泛的氣體兼容性，包括腐蝕性氣體如Cl2、HBr、HCl、CF4、SO2、SF6
凈化器壓降低
CE認(rèn)證符合壓力設(shè)備指令PED，并在ISO?9001-2000設(shè)施中制造
可再生?–?消除處理問題和成本
長(zhǎng)壽命?-?改進(jìn)的擁有成本
使用環(huán)境溫度凈化?
??
?GateKeeper?GPU?氣體凈化器?應(yīng)用
批量氣體交付
光刻
外延生長(zhǎng)
干法刻蝕
晶圓生長(zhǎng)
沉積?
?參考資料
產(chǎn)品文檔
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GateKeeper?GPU?AP?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?BX?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?CO?介質(zhì)氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?CR?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?CX?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?DZ?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?EX?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?FX?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?HX?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?IX?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?LG?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?NX?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?OP?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?TX?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?WX?媒體氣體凈化器
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GateKeeper?GPU?WY?媒體氣體凈化器
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發(fā)表于2021年9月1日
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GateKeeper?GPU?YX?媒體氣體凈化器
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發(fā)表于2024年1月1日
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突破性生命終結(jié)指標(biāo)?(BTI)
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發(fā)表于2019年9月4日
宣傳冊(cè)
氣體凈化解決方案
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發(fā)表于2018年3月1日
技術(shù)說(shuō)明
從氣體流中減少金屬污染物
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494.5?千字節(jié)?
OPERATING SPECIFICATIONS
—
Model
Maximum
flow rate
Lifetime is 1
year at this
flow rate,
with 1 ppm
moisture and
1 ppm oxygen
Maximum
operating
pressure –
purifier only
Maximum
operating
pressure –
purifier with
options
Pressure drop,
with 20 μm
particle filter*
Pressure
drop, with
0.0015 μm
particle filter*
GPU 35 1 slpm 0.7 slpm 1,400 psig 250 psig – 0.3 psid
GPU 70 5 slpm 1.0 slpm 1,400 psig 250 psig – 0.5 psid
GPU 80 10 slpm 1.2 slpm 1,400 psig 250 psig – 1.0 psid
GPU 100 20 slpm 1.7 slpm 1,000 psig 250 psig – 16.7 psid
GPU 200 20 slpm 2.8 slpm 800 psig 250 psig – 0.7 psid
GPU 300 50 slpm 4.2 slpm 800 psig 250 psig – 1.3 psid
GPU 500 75 slpm 8.0 slpm 600 psig 250 psig – 1.3 psid
GPU 700 120 slpm 12.0 slpm 600 psig 250 psig – 1.8 psid
GPU 2500 4R 300 slpm 45.0 slpm 505 psig 250 psig – 5.0 psid
GPU 2500 8R 500 slpm 45.0 slpm 505 psig 250 psig – 5.6 psid
GPU 3000 500 slpm 52.5 slpm 505 psig 250 psig – 5.6 psid
GPU 5000 500 slpm 85.0 slpm 505 psig 250 psig – 7.0 psid
GPU 10M 8R 1,000 slpm 170.0 slpm 370 psig 250 psig – 5.8 psid
GPU 10M 12R 1,000 slpm 170.0 slpm 370 psig 250 psig – 8.0 psid
GPU 13M 12R 2,000 slpm 210.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid –
GPU 13M 16R 2,500 slpm 210.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid –
GPU 17M 12R 2,000 slpm 270.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid –
GPU 17M 16R 2,500 slpm 270.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid –
GPU 20M 12R 2,000 slpm 320.0 slpm 370 psig 250 psig – 19.0 psid
GPU 20M 16R 2,500 slpm 320.0 slpm 370 psig 250 psig – 19.0 psid
*Purifier only at maximum flow rating with 90 psig inlet pressure
4
FACILITY SPECIFICATIONS
—
GPU model
Connection
size (VCR)
Inlet/outlet
connection type
(VCR)
Outside
Diameter (OD)
Overall length
(OAL)
Approximate
weight
GPU 35 1/4" Male/male 38.1 mm (1.5") 84 mm (3.3") 0.3 kg (0.7 lbs)
GPU 70 1/4" Male/male 38.1 mm (1.5") 114 mm (4.5") 0.3 kg (0.7 lbs)
GPU 80 1/4" Male/male 38.1 mm (1.5") 127 mm (5.0") 0.3 kg (0.7 lbs)
GPU 100 1/4” Male/male N/A 84 mm (3.3") 0.9 kg (2.0 lbs)
GPU 200 1/4" Male/male 50.8 mm (2.0") 157 mm (6.2") 0.9 kg (2.0 lbs)
GPU 300 1/4" Male/male 50.8 mm (2.0") 208 mm (8.2") 1.1 kg (2.5 lbs)
GPU 500 1/4" Male/male 76.2 mm (3.0") 201 mm (7.9") 1.8 kg (4.0 lbs)
GPU 700 1/4" Male/male 76.2 mm (3.0") 254 mm (10.0") 2.5 kg (5.5 lbs)
GPU 2500 4R 1/4" Male/male 101.6 mm (4.0") 439 mm (17.3") 6.8 kg (15 lbs)
GPU 2500 8R 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 445 mm (17.5") 6.8 kg (15 lbs)
GPU 3000 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 508 mm (20.0") 7.3 kg (16 lbs)
GPU 5000 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 785 mm (30.9") 10.0 kg (22 lbs)
GPU 10M 8R 1/2" Male/male 152.4 mm (6.0") 737 mm (29.0") 20 kg (44 lbs)
GPU 10M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 749 mm (29.5") 21.8 kg (48 lbs)
GPU 13M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 892 mm (35.1") 24.9 kg (55 lbs)
GPU 13M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 899 mm (35.4") 24.9 kg (55 lbs)
GPU 17M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 1085 mm (42.7") 29.5 kg (65 lbs)
GPU 17M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 1090 mm (42.9") 29.5 kg (65 lbs)
GPU 20M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 1290 mm (50.8") 34 kg (75 lbs)
GPU 20M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 1296 mm (51.0") 34 kg (75 lbs)
5
FACILITY SPECIFICATIONS, PURIFIERS WITH ISOLATION VALVES
—
GPU model
Connection
size (VCR)
Inlet/outlet
connection type
(VCR)
Outside
Diameter (OD)
Overall length
(OAL) with valves
Approximate
weight with valves
GPU 35 1/4" Female/female 38.1 mm (1.5") 234 mm (9.2") 1.2 kg (2.6 lbs)
GPU 70 1/4" Female/female 38.1 mm (1.5") 264 mm (10.4") 1.3 kg (2.9 lbs)
GPU 80 1/4" Female/female 38.1 mm (1.5") 277 mm (10.9") 1.3 kg (2.9 lbs)
GPU 100 1/4” Female/female N/A 234 mm (9.2") 1.3 kg (2.9 lbs)
GPU 200 1/4" Female/female 50.8 mm (2.0") 307 mm (12.1") 1.7 kg (3.7 lbs)
GPU 300 1/4" Female/female 50.8 mm (2.0") 358 mm (14.1") 1.8 kg (3.8 lbs)
GPU 300 (GC 300) 1/4" Female/male 83.8 mm (3.3") 401.3 mm (15.8") 2.3 kg (5.1 lbs)
GPU 500 1/4" Female/female 76.2 mm (3.0") 351 mm (13.8") 2.7 kg (6.0 lbs)
GPU 700 1/4" Female/female 76.2 mm (3.0") 404 mm (15.9") 4.4 kg (9.6 lbs)
GPU 2500 4R 1/4" Female/female 101.6 mm (4.0") 592 mm (23.3") 6.8 kg (15 lbs)
GPU 2500 8R 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 714 mm (28.1") 8.0 kg (17.7 lbs)
GPU 3000 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 777 mm (30.6") 8.5 kg (18.7 lbs)
GPU 5000 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 1054 mm (41.5") 12.5 kg (27.6 lbs)
GPU 10M 8R 1/2" Female/male 152.4 mm (6.0") 970 mm (38.2") 22.5 kg (49.6 lbs)
GPU 10M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1125 mm (44.3") 24.9 kg (55.0 lbs)
GPU 13M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1270 mm (50.0") 28.1 kg (62.0 lbs)
GPU 13M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1308 mm (51.5") 29.5 kg (65.0 lbs)
GPU 17M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1461 mm (57.5") 32.7 kg (72.0 lbs)
GPU 17M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1499 mm (59.0") 34.0 kg (75.0 lbs)
GPU 20M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1666 mm (65.6") 37.2 kg (82.0 lbs)
GPU 20M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1705 mm (67.1") 38.6 kg (85.0 lbs)
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBSS4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
Entegris WGFG21KP0 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBSS2 過濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WGFG02PS1 過濾器
ENTEGRIS WG2F40RR3
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WG2F02RR2 過濾器
Entegris WG3D40DR2 過濾器
Entegris WG3D40DR2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR2
ENTEGRIS WGMXMBSS2 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DS0 濾芯
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG? WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2
美國(guó)ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現(xiàn)貨，可當(dāng)天發(fā)貨
美國(guó)ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現(xiàn)貨，可當(dāng)天發(fā)貨
美國(guó)ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現(xiàn)貨，可當(dāng)天發(fā)貨
?
?
?Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對(duì)齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
??
?
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN氣體過濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
EntegrisWGFG02PR1過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動(dòng)閥
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWGPM0GGT4過濾器
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
EntegrisWG3NS6RR2過濾器
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3閥
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN過濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3偵測(cè)器
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
EntegrisWG3NS6RR2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISYY260103N過濾器
EntegrisCR4-2C-6F-3氣動(dòng)閥
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGFG01DS0（一包十個(gè)）濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW濾芯
ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331氣動(dòng)閥
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
EntegrisCWFV0S1S3濾芯
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動(dòng)閥
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGPM0GGG2過濾器
entegrisWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWG2SS8RR2過濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
EntegrisSVTH01TQ1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISCN2501E06濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFG50PR1過濾器
ENTEGRISWGFG01DSH過濾器
ENTEGRISPLMV-K12閥
ENTEGRISPLMV-K04閥
ENTEGRISPLMV-K16閥
ENTEGRISPLPV-K04閥
ENTEGRISPLPV-K08閥
ENTEGRISPLPV-K12閥
ENTEGRISPLPV-K16閥
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3氣動(dòng)閥
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
EntegrisYY5032PS1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
entegrisWGFGT1PR1過濾器
EntegrisYY5032PS1
EntegrisWGFG21KP0
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器，WGFG21KP0，MRO自營(yíng)現(xiàn)貨，ENTEGRIS英特格
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器，WGFG21KP0，MRO自營(yíng)現(xiàn)貨，ENTEGRIS英特格
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器，WGFG21KP0，MRO自營(yíng)現(xiàn)貨，ENTEGRIS英特格
GPUS200F0P04R00CA
IHAZ01M01K
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器，WGFG21KP0，MRO自營(yíng)現(xiàn)貨，ENTEGRIS英特格
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器，WGFG21KP0，MRO自營(yíng)現(xiàn)貨，ENTEGRIS英特格
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器，WGFG21KP0，MRO自營(yíng)現(xiàn)貨，ENTEGRIS英特格
WGMXMBPRF2：1/4 英寸外螺紋 VCR 兼容入口，1/4 英寸內(nèi)螺紋 VCR 兼容出口；141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2：1/4 英寸外螺紋 VCR 兼容型；127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4：兼容 VCR 1/2 "外螺紋；127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2：兼容 1/4" Swagelok ；112.7 mm (4.44")
WGMXMBSS3：兼容 3/8" Swagelok ；117.9 mm (4.64)
WGMXMBSS4：1/2" Swagelok兼容；118.7 mm (4.67")
WGMXMPRR2：兼容 1/4 "外螺紋 VCR；127 mm（5.00"）
WGMXMPRR4：兼容 1/2 英寸外螺紋 VCR；127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2：兼容 1/4" Swagelok；112.7 mm (4.44")
WGMXMPSS3：兼容 3/8" Swagelok；117.9 mm（4.64）
WGMXMPSS4：兼容Swagelok；118.7 mm (4.67")
WGMXMSBW2：1/4" 對(duì)焊管；133.4 mm (5.25")
WGMXMSBW3：3/8 英寸對(duì)焊管；133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4：1/2 英寸對(duì)焊管；133.4 毫米（5.257 英寸）
WGMXMSRR2：1/4" 外螺紋 VCR 兼容型；127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4：兼容 1/2 "外螺紋 VCR；127 毫米（5.00 英寸）
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器，WGFG21KP0，MRO自營(yíng)現(xiàn)貨，ENTEGRIS英特格
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器，WGFG21KP0，MRO自營(yíng)現(xiàn)貨，ENTEGRIS英特格
SV1H61PE1A
應(yīng)特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過濾器WGMXMSRR2，現(xiàn)貨4個(gè)
應(yīng)特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過濾器WGMXMSRR2，現(xiàn)貨4個(gè)
應(yīng)特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過濾器WGMXMSRR2，現(xiàn)貨4個(gè)
應(yīng)特格ENTEGRIS,在線 PTFE 氣體過濾器WGMXMSRR2，現(xiàn)貨4個(gè)
WG2FT1BW2
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1RR2L
SI2R15E05
YY34PB1WL
OPTIMIZER-DEV 8/4MM 0.05MY CHUZ8S0P1?Wg2FT1BW2
WGMXMBSS3 ? WGMXMBSS4
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
CWFV0S1S3
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
? 住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
? 揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測(cè)下限為 5 ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
? 經(jīng)過測(cè)試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
? ? 青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? ? Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? 最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
? 最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
? 最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
?
?
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
wgfg21kp3
WGMXLBRR4
wg2ft1ss2
?
美國(guó)ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS8RR2現(xiàn)貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器
WG3NS6SL2
WGMXLPRR6?
WG3DBGNRR4
SI2MSNFE05?
WG2F15HJJ6
WG2F40RR3
美國(guó)ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
WG3D50DR2
美國(guó)ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
WGSLNFC1H?
美國(guó)ENTEGRIS氣體過濾器，WDPM0CPSF，數(shù)量3個(gè)
SV10F20E16 ? 氣體過濾器
SVTV01TQ1 ? ?氣體過濾器
WGFG16HP2，氣體過濾器
Entergris 過濾器
型號(hào)：TRVT31X942SP
CWAG16KL1? ?3個(gè)
美國(guó)ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
SI2N0100BRR6,
WGFG16HP2
美國(guó)ENTEGRIS英特格，過濾器 WG3NS7SL2
WGMXMBSS4
CBUG050P1
英特格 A2AG200K1?
SVEG01P01
WGMXMBSS4 ? ??
YY34PB1WL
WGMXMBSS3 ??
YY4110106
YY5032PS1 ??
YY4110104
YY66H0A2A
A2AG200K1
GPUS700FIX04R02CA
Gas cleaner series GPU 2500F, HX filler GPUS2500FHX04R00CR
WGMXMPRR4數(shù)量10
WGMXMBRR2數(shù)量5
?為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來(lái)消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
? Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器
以高達(dá) 30 slpm 的流速可靠地去除惰性氣體中的顆粒。
提供高效、低成本、使用點(diǎn)的惰性氣體過濾
> 99.9999999% 去除所有直徑大于 0.015 μm 的顆粒
應(yīng)用
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器應(yīng)用
低進(jìn)氣過濾器
晶圓輸送系統(tǒng)
清潔干燥空氣 (CDA)?
產(chǎn)品規(guī)格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
? 支架、外殼： 粉煤灰
推薦流量 30 升/分鐘
連接 1/8", 1/4" 壓縮密封
膜面積 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
顆粒保留 >99.9999999% 去除所有直徑大于 0.0015 μm 的顆粒（在最具穿透性的顆粒尺寸下驗(yàn)證）
運(yùn)行條件 最大工作壓力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
? 最大正向壓差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
? 最大反向壓差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
? 最高工作溫度： 50°C (122°F)
方面 長(zhǎng)度： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
? 直徑： 21.5 毫米（0.85 英寸）
GPUS200FEX04R00CA ?8個(gè) 單價(jià)24500 ?8-10周
GPUS2500FWY08R00CA 4個(gè) 單價(jià)62000 3.5-4個(gè)月
零件號(hào)
Wafergard GT-Plus 在線氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度 選擇選項(xiàng)
WGFG01KP0 1/8" 壓縮密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 10 件裝過濾器
WGFG01KP3 1/8" 壓縮密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 3 件裝過濾器
WGFG21KP0 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 10 件裝過濾器
WGFG21KP3 1/4" 壓縮密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 3 件裝過濾器
? ENTEGRIS英特格，Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR2現(xiàn)貨
其他商品
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和活性氣體
產(chǎn)品規(guī)格
WG3NS7SL2 WG3NS3RF2 WG2F02PSI
WGSLSHW1MP-T
WGMXMBSS4
WG3SS1WW2
WG2S01WW2
材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過濾器
? 住房 電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
? 揮發(fā)物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
? Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
? Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
? ? Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
?零件號(hào)
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
.特種氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。我們富有經(jīng)驗(yàn)的應(yīng)用團(tuán)隊(duì)遍布全球，可以根據(jù)對(duì)您的行業(yè)和應(yīng)用情況的了解，為您提供特種氣體供應(yīng)解決方案，以滿足您的獨(dú)特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長(zhǎng)度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
? ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
Entegris WG2FT1SS2
Entegris WG2FT1SS2
ENTEGRIS WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2
Entegris WG2FT1RR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ZQVTEIC42SP
NXPY300M31SP
PIPW30C3SA
TPVW3CE3S
CHRZ5NPNM1510S82SW
LPFHTIXP12168E71
QCPY30M2S
NXPY150M31SP
NXVYE10902SP
TRPW30C2S
CRZ5NPNM1010SB2SW
TRCTEICOBKPL
TRPJ30EM31SP
NXVYE10942SP
TRCT31COBKP
TRVWACE3S
ECDYOlM01
TPCWACEB1K
CHRZ5TVNM1010S84AXSW
NXVZM10902SP
IHATOIM01K
NXCZM1000KP
PADGIHSVH3EHIK13C
LDFDTIHSVHI600040
TRVXATETN
NXVYM10942SP
TRVTEIC942SPL
NXPGXS0T02HP
TRMWAGE3S
ZQVTE1C942SP
ABPGIHSVH3EH1K13C
NXCYE1000kP
PRLXOlPQ1K
TKVTEIC942SPL
TRPJ30EM31SP
GSCFMEOOKT
SWPO3HSAN4E71KBD
PRLXOLRML
SWF041EC284E7IPE1
SWF04XP284E71K18
LPFVTIXP2168E71
TRDWACE4F
ECDY01M01
ABPGIHSAH3EH1K13D
LDFDTIHSAH16S00109
LPEGNIHSSVH16S00058
TRPM30EM31SP
TRVXATE3S
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPM0GGT4
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG ?WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
?
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴(kuò)散核武器條約
長(zhǎng)度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。?
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應(yīng)用具有出色的兼容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard SG 氣體過濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示器制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
氣體面板
零件號(hào)
Wafergard SG 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
??
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?Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG FG 氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。PTFE 濾芯與高純度工藝氣體以及惰性氣體和 CDA 應(yīng)用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件類型
壓縮密封 密封墊片 不擴(kuò)散核武器條約
長(zhǎng)度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作壓力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 氣體過濾器
Wafergard SG YY 系列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾，以最大限度地提高光伏電池和顯示器的生產(chǎn)產(chǎn)量。?
與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應(yīng)用具有出色的兼容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard SG 氣體過濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示器制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
氣體面板
零件號(hào)
Wafergard SG 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 墊圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分鐘 1/2" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 墊圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 120 升/分鐘 1/4" 壓縮密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 墊圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 氣體過濾器 200 升/分鐘 3/8" 壓縮密封（與世偉洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
?
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護(hù) 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）?
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
? 住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
? 揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測(cè)下限為 5 ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
? 經(jīng)過測(cè)試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
? ? 青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? ? Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? 最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
? 最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
? 最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對(duì)焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 ? YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1 CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW ?GPUS2500FIX04R00CA 等常規(guī)型號(hào)均有現(xiàn)貨 ?
ENTEGRIS ? ? ? ?WGPM0GGT4 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR2 ? ?
ENTEGRIS ? ? ? ?LGMXFPSS4 ? ?
ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR2（無(wú)包裝） ? ?
Entegris ? ? ? ?WG2FT1RR2 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGPMOGGT2 ? ?
Entegris ? ? ? ?WG2FT1RR2 ? ?過濾器
Entegris ? ? ? ?WGMXMBRR4 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGMBRR4 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR4 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NSMSL2 ? ?過濾器
Entegris ? ? ? ?WG2FT1RR2 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NSMSL2 ? ?
Entegris ? ? ? ?WG2FT1SS2 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGT1PR1 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGT1PR1 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR4 ? ?過濾器
Entegris ? ? ? ?WG2FT1RR2 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NS8RR2 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGMBRR4 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGT1PR1 ? ?過濾器
Entegris ? ? ? ?WGMXMBRR4 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NS1RR2 ? ?過濾器
Entegris ? ? ? ?WG2FT1SS2 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR2 ? ?
ENTEGRIS ? ? ? ?LGMXFPSS4 ? ?
ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMSRR2（無(wú)包裝） ? ?
CTPR01P01K
CTFA01TC1K
CBUZ8L0P1
MR1F01025EH1
VCSC10004M3F300
CTFC01TPE
NXCYE10000P
CTFG01TPEKPW
NXCVX1000KP
CTFG02TPEK
CTFV02TPEK
GSCFM2E00KT
MRF1UKFR25EH1--K3
MRF1UKFT25EH1--K3
ABFG1GPK3EHI-K7
ABFIUFR3EH1-K3
ABDG1HSSH3EHI-K13C
EZA2091201
AB09UHHD3EHIK12
TADXACEOF
TRVXATE3S
TRVXATE4S
ECDFM1C942SD
S4415R026Y18
XPRESSKLEEN KC
QCDYACM2F
PIPW30C2S
4022.656.73041
TRPT15XM31SP
TRPW30C3S
NXPY150M86SP
NXDZM10B022P
LDFN3UFD7E2
SWF03XP54E71-K18
LDFVT1GPDL168E71-K
LDFN01F0005SW22
DFA2Y002F64
QCVYATE4S
VDKD0010BFL64-4D
ULTIKLEEN G2 HIT KC
FILTER UPW
ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NSMSL2 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NSMSL2 ? ?
WGFGMBRR4 WGFGT1PR1 WGMXLPRR6 LGMXFPRR4 LGMXFPSS3 WG2F02RR2 WG2F02RR4 WG2F15HJJ6 WG2FT1RR2 WG3NS8RR2 WGFA21KP0 WGFG01DS0 WGFG01DSH WGMXMBRR4 WGMXMPRR4 WGMXMSRR2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 YY5032PR1 YY5032PS1 SI2N0100B
ENTEGRIS ? ? ? ?CBUG0S0S1 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMPRR4 ? ?
ENTEGRIS ? ? ? ?WGMXMPSS3 ? ?
ENTEGRIS ? ? ? ?WG2F02RR4 ? ?
Entegris ? ? ? ?WG2FT1SS2 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WG3NSMSL2 ? ?
ENTEGRIS ? ? ? ?WGFGT1PR1 ? ?過濾器
ENTEGRIS ? ? ? ?WGPMOGGT2 ? ?
ENTEGRIS ? ? ? ?WGPM0GGG2 ? ?過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對(duì)齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGMXMBRR4 WGMXMBRR2 WGFGMBRR2 過濾器 應(yīng)特格
WGFG01KP3 WGFG01DSH WGFG01DS0 WGFA21KP0
WGSLSFC1M
YY5001HR1
LGMXFPRR4 過濾器 entegris 應(yīng)特格
SI2R15E05 SI2N0100B SI2N0200B 過濾器
YY5032PR1
YY5032PS1
YY50600VT
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號(hào)
YY5032PS1 YY5032PR1 卡套 3/8
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
? Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長(zhǎng)度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
??
?Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對(duì)齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4WSP20-2C-20KK
WSP20-2M-20KK
CG2NDD050R2
LGMXFPRR4
LGMXFPSS3
SI2MSNFE05
SI2N0025R
SI2N0050R
SI2N0100B
SI2N0100BRR8
SI2N0200B
SI2R007RO
SI2R15E05
SI5BGLTE07
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
YY5001HR1
YY5032PR1
YY5032PS1
應(yīng)用程序
Gasketgard?在線墊片過濾器應(yīng)用
適用于高達(dá)400°C(752°F)的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體元件
適用于高壓和高溫應(yīng)用
產(chǎn)品規(guī)格
材料:燒結(jié)316L不銹鋼過濾介質(zhì)焊接316L不銹鋼墊片
固定器316不銹鋼
顆粒保留率:直徑大于0.3μm的所有顆粒去除率大于95%
工作條件:最大壓差1 / 4”P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1 / 4 " P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1 / 2”P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1 / 2”P2: 2.9 MPa (29 bar, 421 psid)
最高工作溫度400°C(752°F)[惰性氣體]
零件編號(hào)
Gasketgard?在線墊片過濾器部件編號(hào)
零件編號(hào)、尺寸和型號(hào)長(zhǎng)度
wgpm0ggg2 1/4"型25.00 mm (0.98")
wgpm0ggt2 1/4"型帶擋圈25.25 mm (0.99")
wgpm0ggt4 1/2"(3/8")型帶擋圈29.50 mm (1.16")
MRO供應(yīng)鏈商城--1230SHOP，常備美國(guó)Entegris英特格/應(yīng)特格各類過濾器、純化器，現(xiàn)貨金額超百萬(wàn)！
應(yīng)特格Entegris常規(guī)現(xiàn)貨型號(hào)有：
GPUS2500FIX08R00CA，
GPUS2500FHX08R00CA，
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFG01DS0
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISLGMXFPRR4
entegrisCTFG01TPE
ENTEGRISWGPMOGGT4
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG ?WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISCBUG0S0S1
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
YY50600VT
GPUS200FIX04R00CA
GPUS2500FHX04R00CA
GPUS2500FHX08R00CA
GPUS2500FIX04R00CA
GPUS2500FIX08R00CA
GPUS2500NCX04R00CA
GPUS2500NCX08R00CA
GPUS2500NCX08R02CA
GPUS300FWX04R02CA
GPUS300FYX04R02CA
GPUS300NCX04R02CA
AFUG0LPM1
AHUXMLEX1
AMVT33201
APD12LEM1
APD25LEM1
APD50SPM1
BA10012PWENH
BA10022PWENH
CHUX3L0P1M
CHUY3L0P1M
CN2501E06
DFFG01N8S1P
FGPA010T1
FGPH010T1
PFFZ01P4P
PGFPV010V1
PGPDN002AH3NF-N
PGPSG010E1
SKPS010H2F
SV02010E1
SV0261PE1
SV02R10E1
SV0561PV1
SV05R10E1
SV1061PE1
SV10R10E1
SV1H61PE1A
SV1HR10E1A
SV20R10E1
SV2HR10E1
SV2HR10T1
SV30010E1
SV3061PE1
SV30R10E1
SV30R10T1
SV3H61PE1
SV3HR10T1
SV4HR10T1
SV50R10E1
SVAAR10E1
SVAG010E1
SVAG020T1
SVAG61PE1
SVAGR10E1
SVAH010E1
SVAH61PE1
SVAHF10E1
SVAVR10E1
SVEG010E1
SVEG0S0E1
SVEG61PE1
SVES020T1
SVSAR10E1C
SVSGR10E1C
SVSHR10E1C
SVSV61PE1C
SVSVR10E1C
UPEH030E1
CPUV01PLT
CTCAT200Q0D
CTCGT100BKH
CTCVT100Q0H
CTCVT100QKH
CTFG01TPE
CTFG0STPE
CW0A020E1
CWAG0S0S1
WG2L200SS3R2
WG2L200SS3R4
WG2L500SS5R4
WG2S01WW2
WG2SS8RR2
WG2SS8RR2S
WG3D25LR2
WG3D25SR2
WG3D401R2
WG3D40DR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
CWAG40EL1
CWAV3L0S1
CWUG3L0S1
NXCGT10000P
NXPZ150M31FP
PGTV01EQ1
SVTA01TQ1
SVTA01TQ1K
SVTA02TQ1
SVTA0MTQ1
SVTB01TQ1K
SVTC01TQ1
NVT4-T4-2
SVTG01TQ1KPW
SVTG02TQ1KPW
SVTH01TQ1
SVTH01TQ1KPW
SVTV01TQ1
SVTV01TQ1K
SVTV01TQ1KPW
SVTV02TQ1KPW
SVTZ01TQ1KPW
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
WG2L200SS3R2，WGL100NS3R2 各一個(gè)詢價(jià)?
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
??
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
YY260103P，2個(gè)
PN2H010E1，2個(gè)
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
50多年來(lái)，ENTEGRIS的日常使命一直是幫助客戶利用他們先進(jìn)的基于科學(xué)的解決方案來(lái)支持需求 驅(qū)動(dòng)程序。更快，更有效地進(jìn)行創(chuàng)新;并最終改變世界。通過他們的解決方案和技術(shù)專長(zhǎng)的力量， Entegris為客戶提供基于科學(xué)的創(chuàng)新解決方案，以應(yīng)對(duì)嚴(yán)峻的技術(shù)挑戰(zhàn)。ENTEGRIS的總部位于 馬薩諸塞州的比勒里卡，在全球擁有大約5100名員工，大約一半在亞太地區(qū)或歐洲工作。通過在 亞太地區(qū)，北美和歐洲的研發(fā)，客戶服務(wù)，分析實(shí)驗(yàn)室和制造，ENTEGRIS在將技術(shù)提升到更高水 平時(shí)為全球客戶提供支持。
。
美國(guó)ENTEGRIS Wafergard II SF半在線氣體過濾器
①當(dāng)首選所有不銹鋼結(jié)構(gòu)時(shí)，Wafergard II SF半在線氣體過濾器是高純度氣體系統(tǒng)的首選過濾器 。
②先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接面積消除了脫氣現(xiàn)象。
③全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
④其緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提供最高的設(shè)計(jì)效率，并降低工程成本。
美國(guó)ENTEGRIS Gasketgard?在線墊片過濾器
①Gasketgard 直列式墊片過濾器是一種緊湊的全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的1/4“，3/8”和1/2 “VCR 墊片
②固定器，易于對(duì)準(zhǔn)
③專為輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線而設(shè)計(jì)
④高壓和高溫應(yīng)用的理想選擇
⑤保護(hù)關(guān)鍵組件免受微粒傷害
⑥ISO認(rèn)證的工廠中制造
PART NUMBERS
Chemlock? Filter Housings Part Numbers
Hide Part Numbers?
YY5605153 ? ?YY5605203 ? ?YY5611153 ? ?YY5611153GF ? ?YY5611153T
YY5611160 ? ?YY5611160T ? ?YY5611170 ? ?YY5611170GF ? ?YY5611170T
YY5611180 ? ?YY5611180GF ? ?YY5611180T ? ?YY5611190GFM ? ?YY5611190M
YY5611203 ? ?YY561120A ? ?YY561120B ? ?YY561120E ? ?YY561120F
YY561120P ? ?YY5611213 ? ?YY561121F ? ?YY561121P ? ?YY5611250
YY5611250GF ? ?YY5611250T ? ?YY5611253 ? ?YY5611253GF ? ?YY5611253T
YY5611280 ? ?YY5611280GF ? ?YY5611280T ? ?YY5611290GFM ? ?YY5611290M
YY5611G03 ? ?YY5611G0B ? ?YY5611G0E ? ?YY5611G0F ? ?YY5611G0P
YY5611G13 ? ?YY5611G1E ? ?YY5611G1F ? ?YY5611G1P ? ?YY562010NS
YY5620160 ? ?YY5620160T ? ?YY5620170 ? ?YY5620170GF ? ?YY5620170T
YY5620180 ? ?YY5620180GF ? ?YY5620180T ? ?YY5620190GFM ? ?YY5620190M
YY5620190TM ? ?YY5620203 ? ?YY562020B ? ?YY562020E ? ?YY562020F
YY562020P ? ?YY5620213 ? ?YY562021F ? ?YY562021P ? ?YY5620250
YY5620250GF ? ?YY5620250T ? ?YY5620253 ? ?YY5620253GF ? ?YY5620253T
YY5620280 ? ?YY5620280GF ? ?YY5620280T ? ?YY5620290GFM ? ?YY5620290M
YY5620290TM ? ?YY5620G0E ? ?YY5620G0F ? ?YY5620G1F ? ?YY5620G1P
YY5630280 ? ?YY5630280GF ? ?YY56H000B ? ?YY56HA20A ? ?YY56HB20B
YY56HB24B ? ?YY56HF10F ? ?YY56HF14F ? ?YY56HF20F ? ?YY56HF24F
YY56HL10LM ? ?YY56HL14LM ? ?YY56HL20LM ? ?YY56HL24LM ? ?YY56HP103
YY56HP143 ? ?YY56HP203 ? ?YY56HP20P ? ?YY56HP243 ? ?YY56HP24P
YY6610A2E ? ?YY6610F4E ? ?YY6610R5E ? ?YY6614F4E ? ?YY6614U1E
YY6614U2E ? ?YY6620A2E ? ?YY6620A4AE ? ?YY6620F4E ? ?YY6620R5E
YY6624F4E ? ?YY66B1150 ? ?YY66B1170 ? ?YY66B1280 ? ?YY66B2150
YY66B2170 ? ?YY66B2280 ? ?YY66H0A2A ? ?YY66H0F4F ? ?YY66H0R2R
YY66H4F4F ? ?YY66H4U1A ? ?YY66H4U2A
PFA模型
材料頭、模制配件、碗、塞子PFA 440 HP或同等產(chǎn)品
O型圈E-FKM、EP、Kalrez?、Viton?
非潤(rùn)濕鎖環(huán)
通用鎖環(huán)PVDF或GFPP（玻璃填充聚丙烯）
聚四氟乙烯
安裝硬件-螺母和螺栓（非濕部件）PVDF
流體連接PrimeLock?、Flaretek?、Super Type Pillar?、Super 300 Type Pillar、管件、FNPT
藥筒連接代碼0，雙2-222 O型圈和帶鑰匙的Chemlock藥筒
操作條件PVDF和GFPP鎖環(huán)
zui大入口壓力：
100°C（212°F）時(shí)為0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）時(shí)為0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方英寸）的PTFE鎖環(huán)
zui大入口壓力：
95°C（203°F）時(shí)為0.3 MPa（3.0巴，43磅/平方英寸）
25°C（77°F）時(shí)為0.76 MPa（7.6巴，110磅/平方英寸）
zui高工作溫度：
100°C（212°F）zui高工作溫度：
95攝氏度（203華氏度）
扭矩E-FKM O型圈
45 N?m所有其他O型圈
28.5牛頓?米
使用Chemlock扭矩扳手驗(yàn)證扭矩規(guī)格
PP模型
材料頭和碗聚丙烯（PP）
O型圈EPR，氟橡膠
PVDF非潤(rùn)濕鎖環(huán)
流體連接件FNPT、Flaretek、Union、Rc