這些氣體過濾器推薦用于惰性和反應性氣體，與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和柜中。 

PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了較低蒸氣壓氣體的冷凝風險
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性
適用于惰性氣體和反應性氣體，包括臭氧
應用領域
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器應用
生命科學應用
臭氧應用（氣體）
煤氣柜和面板
超純氣體系統(tǒng)
內部處理工具
產(chǎn)品規(guī)格
材料
  濾芯
  由模制 PFA 結構支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電解拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度  小于 0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3）大于 0.01 µm 
揮發(fā)物 <10 ppb 水分
去除等級 ≥0.0015微米
內部表面處理 ≤7 µin Ra
氦氣泄漏等級 合格的 2×10 -10立方厘米/秒
已測試 1×10 -9立方厘米/秒
使用條件 最大入口壓力 207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大前向壓差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
 
最大反向壓差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
 
最高工作溫度 120°C (248°F)
顆粒保留
  在 30 slpm 下去除所有顆粒的率大于 99.9999999% (9 LRV)（以最具穿透力的顆粒尺寸為準）
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
零件編號
Wafergard II F 微型在線氣體過濾器零件號
零件編號 配件尺寸和類型 長度 應用
WG2FT1BW2 1/4" 對焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半導體
WG2FT1RF2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出口 88.9 毫米（3.50 英寸） 半導體
WG2FT1RR2 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 半導體
WG2FT1RR2L 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科學
WG2FT1SS2 1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半導體

ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR2

ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT2

ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR4

ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR4

ENTEGRIS 過濾器 WGFGMBRR4

ENTEGRIS 過濾器 WG2F02RR2

Entegris 過濾器 WG3D40DR2

Entegris 過濾器 WG3D40DR2

ENTEGRIS WGMXMPRR2

Entegris 過濾器 WGFG21KP0

ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGG2

ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1

ENTEGRIS 過濾器 WGMXMBSS2

ENTEGRIS LGMXFPSS3

ENTEGRIS 過濾器 WGMXMSRR4

Entegris 過濾器 WG2FT1RR2

ENTEGRIS 濾芯 WGFG01DS0

ENTEGRIS SVEG01P01

ENTEGRIS SVTG01TQ1

ENTEGRIS SVTG02TQ1

ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT2

ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT2

ENTEGRIS 過濾器 WGPM0GGT4

Entegris 過濾器 WG3NS6RR2

ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1

ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1

ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2

ENTEGRIS LGMXFPRR4

ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2

ENTEGRIS 過濾器 WG3NS2RR4

Entegris 過濾器 WG2FT1SS2

ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2

Entegris 過濾器 WG2FT1RR2

entegris 濾芯 CTFG01TPE

ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT4

Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG  WG3NS6RR2

ENTEGRIS WG3NS8RR2

ENTEGRIS 過濾器 WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WG2F02RR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS 過濾器 WGFGT1PR1

ENTEGRIS 過濾器 WG3NS8RR2

ENTEGRIS 過濾器 CBUG0S0S1

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS 過濾器 WG3NSMSL2

ENTEGRIS 過濾器 WGMXMSRR4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS WGMXMSRR2