Chambergard 快速通風(fēng)擴(kuò)散器
通過減少裝載鎖和傳輸室中的顆粒和排氣時(shí)間來提高效率和吞吐量。

獲得專利的燒結(jié)鎳技術(shù)在所有應(yīng)用中提供卓越的性能
設(shè)計(jì)能夠去除進(jìn)入氣體中大于 0.0015 µm 的顆粒，從而最大限度地減少晶圓缺陷
提供快速排氣，不會(huì)干擾晶圓或向晶圓添加顆粒，從而縮短周期時(shí)間，同時(shí)提高產(chǎn)量
將擴(kuò)散器的流動(dòng)特性與高效過濾器相結(jié)合，以提高效率和吞吐量
輕松改造/安裝到現(xiàn)有工具中，最大限度地減少停機(jī)時(shí)間
應(yīng)用領(lǐng)域
Chambergard 快速通風(fēng)擴(kuò)散器應(yīng)用
快速將氣體排放到大氣中，而不會(huì)干擾腔室中的晶圓或向腔室中的晶圓添加顆粒
產(chǎn)品規(guī)格
材料 擴(kuò)散器元件：獲得專利的燒結(jié)鎳膜過濾器
  外殼：316L不銹鋼
  內(nèi)部表面光潔度：≤32 μin Ra
表現(xiàn) 下游清潔度：額定流量下清潔度小于 0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3）大于 0.01 μm
  去除等級(jí)：≥0.0015μm
  可靠性：25°C (77°F) 時(shí)最大額定入口壓力下 100,000 次循環(huán)可靠性
連接 請(qǐng)參閱數(shù)據(jù)表
使用條件 請(qǐng)參閱數(shù)據(jù)表
PART NUMBERS
Chambergard Fast Vent Diffusers Part Numbers
PART NUMBER O-RING SIZE O-RING GROOVE OD OUTLET CONNECTION TYPE O-RING GROOVE ID O-RING GROOVE DEPTH OPERATING CONDITIONS, MAXIMUM INLET PRESSURE WITH OUTLET TO VACUUM OPERATING CONDITIONS, MAXIMUM DIFFERENTIAL PRESSURE OPERATING CONDITIONS, MAXIMUM OPERATING TEMPERATURE INLET CONNECTION TYPE
SI2P134R5 None None In-Line None None 0.5 MPa (75 psi) 0.24 MPa (35 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D16TR2 2-117 26.4 mm (1.03") ISO NW-16, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 20.3 mm (0.79") 1.9 mm (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D228R2 2-117 26.4 mm (1.03") ISO NW-16, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 20.3 mm (0.79") 1.9 mm (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male or female gasket seal fitting or butt weld fitting
WG3D25LR2 2-123 35.9 mm (1.41") ISO NW-25, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 29.8 mm (1.17") 1.9 mm (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D25SR2 2-123 35.9 mm (1.41") ISO NW-25, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 29.8 mm (1.17") 1.9 mm (0.07") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D3LBW2 None None None None None 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 20 mm butt weld tube stub
WG3D401R2 2-246 114.3 mm (4.50") ISO NW-100, bolt through 122.4 mm (4.81) 2.6 mm (0.10") 0.25 MPa (35 psi) 0.35 MPa (50 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D40DR2 2-224 52.1 mm (2.05") ISO NW-40, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 44 mm (1.73") 2.6 mm (0.10") 0.3 MPa (45 psi) 0.4 MPa (60 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D40TR2 2-224 52.1 mm (2.05") ISO NW-40, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 44 mm (1.73") 2.6 mm (0.10") 0.7 MPa (100 psi) 0.8 MPa (115 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
WG3D50DR2 2-229 67.9 mm (2.67") ISO NW-50, bulkhead mounting compatible with standard ISO bulkhead clamps 59.9 mm (2.35") 2.6 mm (0.10") 0.2 MPa (30 psi) 0.3 MPa (45 psi) 100° C (212° F) with O-Ring, 400° C (752° F) with no O-Ring 1/4" VCR compatible male gasket seal fitting
  

ENTEGRISWGPMOGGT2

 

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

 

ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器

 

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器

 

ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器

 

ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器

 

ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器

 

ENTEGRISLGMXFPRR4

 

ENTEGRISWGFA21KP0過濾器

 

 

 

CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，

美國ENTEGRIS應(yīng)特格公司簡介：

 

 

 

我們的目的

 

讓技術(shù)改變世界

 

作為一家與領(lǐng)先制造商合作以實(shí)現(xiàn)技術(shù)持續(xù)進(jìn)步的全球性公司，我們擁有全球基礎(chǔ)設(shè)施，包括戰(zhàn)略位置的制造基地，研發(fā)設(shè)施和客戶支持中心。我們進(jìn)行基礎(chǔ)設(shè)施投資，使我們更接近全球各地的客戶。我們的高技能團(tuán)隊(duì)成員、設(shè)施和資源都在您需要的地方，以幫助您解決最先進(jìn)的技術(shù)挑戰(zhàn)。

 

 

 

圖像

 

產(chǎn)品和解決方案包括:

 

過濾產(chǎn)品，用于凈化氣體、流體和工廠環(huán)境

 

分配、控制、分析或運(yùn)輸過程流體的液體系統(tǒng)和部件

 

安全儲(chǔ)存和輸送有毒氣體的氣體輸送系統(tǒng)

 

特殊的化學(xué)沉積和清潔在先進(jìn)的節(jié)點(diǎn)

 

 

 

保護(hù)半導(dǎo)體晶圓免受污染和損壞的晶圓載體和托運(yùn)人

 

提供高純度表面的特殊涂層，具有耐磨、防腐蝕和光滑度

 

優(yōu)質(zhì)石墨和碳化硅高性能應(yīng)用

 

保護(hù)和運(yùn)輸磁盤驅(qū)動(dòng)器部件的托運(yùn)人和托盤

 

有特色的信息

 

公司資料簡介

 

公司資料簡介

 

致力于通過廣泛的解決方案組合，協(xié)作和創(chuàng)新的產(chǎn)品開發(fā)，以及對(duì)科學(xué)和應(yīng)用知識(shí)的關(guān)注，解決客戶最苛刻的工藝挑戰(zhàn)。

 

 

 

我們的核心競爭力

 

創(chuàng)新的科學(xué)

 

第四次工業(yè)革命來了。人工智能、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)、物聯(lián)網(wǎng)——這些不僅僅是趨勢(shì)，它們是改變?nèi)蛉藗兩罘绞降尿?qū)動(dòng)力。隨著這些新的驅(qū)動(dòng)力和創(chuàng)新速度的加快，人們對(duì)更高質(zhì)量、更高性能的技術(shù)的期望也在加快。通過我們屢獲殊榮的解決方案和我們的技術(shù)專長，我們?yōu)榭蛻籼峁﹦?chuàng)新的、基于科學(xué)的解決方案，以應(yīng)對(duì)最嚴(yán)峻的技術(shù)挑戰(zhàn)。在integris，我們是創(chuàng)新的科學(xué)。

 

 

 

 

 

 

 

材料科學(xué)與分析

 

分離科學(xué)

 

膜科學(xué)與工程

 

聚合物的表征與發(fā)展

 

界面科學(xué)

 

污染源分析

 

 

 

 

 

先進(jìn)材料

 

材料合成和定制配方

 

精密氣體混合物

 

特種涂料

 

石墨、碳化硅和工程碳

 

表面處理和清洗

 

液體和氣體的儲(chǔ)存和運(yùn)輸

 

 

 

 

 

微觀控制

 

尖端液體過濾和凈化

 

氣體凈化達(dá)到萬億分之一(ppt)的水平

 

先進(jìn)晶圓廠空氣分子污染(AMC)解決方案

 

Wafer和reticle的處理

 

流體管理，傳感和控制

 

 

 

制造卓越

 

超凈組件和材料制造

 

快速原型和定制

 

領(lǐng)先的質(zhì)量控制集成SPC

 

廣泛的全球制造足跡

 

使命、愿景和價(jià)值觀

 

指導(dǎo)我們做什么和如何做

 

我們的使命

 

通過為先進(jìn)的制造環(huán)境提供增強(qiáng)材料和工藝解決方案，幫助我們的客戶提高生產(chǎn)力，性能和技術(shù)

 

CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，CR05M0203，

 

 

 

CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006，CR25F3P06，CR25F4006，CR25F4P06，CR25M0203，CR5001006，CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF

 

，、

 

CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，CTDGATXTT，CTDGATXTW，CTDVATXLH，CTDVATXST，CTDVATXTH，CTDVATXTT，CTDZATXLH，CTDZATXST，CTDZATXTH，CTDZATXTT，CTFA01P01，CTFA01PTF，CTFA01TPE，CTFA02P01，CTFA02TPE，CTFA0SP01，CTFA0SPSF，CTFA0STPE，CTFG01P01，CTFG01PSF，CTFG01PT1，CTFG01PTF，CTFG01TC1，CTFG01TK1，CTFG01TPE，CTFG02P01，CTFG02TPE，CTFG03TPE，CTFG0SP01，CTFG0SPSF，CTFG0SPTF，CTFG0STPE，CTFH01PTF，CTFH01TPE，CTFH02TPE，CTFH03TPE，CTFH0STPE，CTFV01P01，CTFV01PSF

 

 

 

 

 

，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，CTFV02P01，CTFV02TPE，CTFV03TPE，CTFV0SP01，CTFV0SPSF，CTFV0SPTF，CTFV0STPE，CTFZ01P01，CTFZ01PT1，CTFZ01PTF，CTFZ01TC1，CTFZ01TK1，CTFZ01TPE，CTFZ02P01，CTFZ02TPE，CTFZ03TPE，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，EGDZHPX0S，EGDZHPX2F，EGDZHPX2S，EGDZHPXTH，EPFVHPSST，EPFVHPXTW，GDCG01P01，GDCG01TK1，GDCG01TPE，GDCG02P01，GDCG0SP01，GDCG0SPC1，GDCG0SPK1，GDCV01P01，GDCV01TK1，GDCV01TPE，GDCV02P01，GDCV0SP01，GDCV0SPC1，GDCV0SPK1，GDCZ01P01，GDCZ01TK1，GDCZ01TPE，GDCZ02P01，GDCZ0SP01，GDCZ0SPC1，GDCZ0SPK1，GDDGATSST，GDDGATSTH，GDDGATSTT，GDDGATX0F，GDDGATX1F，GDDGATX2F，GDDGATX4F，GDDGATXST，GDDGATXTH，GDDGATXTT，GDDGHPX0F，GDDGHPX0S，GDDGHPX2F，GDDGHPX2S，GDDVATSST，GDDVATSTH，GDDVATSTT，GDDVATX0F，GDDVATX1F，GDDVATX2F，GDDVATX4F，GDDVATXST，GDDVATXTH，GDDVATXTT，GDDVDEV0F，GDDVDEV1F，GDDVD GDDVDEV4F，GDDVHPX0F，GDDVHPX0S，GDDVHPX2F，GDDVHPX2S，GDDZATSST，GDDZATSTH，GDDZATSTT，GDDZATX0F，GDDZATX1F，GDDZATX2F，GDDZATX4F，GDDZATXST，GDDZATXTH，GDDZATXTT，GDDZDEV0F，GDDZDEV1F，GDDZ GDDZDEV4F，GDDZHPX0F，GDDZHPX1S，GDDZHPX2F，GDDZHPX2S，GHPG01P01，GHPG01PLT，GHPG02P01，GHPG02PLT，GHPG0SP01，GHPV01P01，GHPV01PLT，GHPV02P01，GHPV02PLT，GHPV0SP01，GHPZ01P01，GHPZ01PLT，GHPZ02P01，GHPZ02PLT，GHPZ0SP01，PFFG01P4F，PFFG01P4P，PFFG01P6P，PFFG03D4S，PFFV01P4F，PFFV01P4P，PFFV01P6P，PFFV03D4S，PFFZ01P4F，PFFZ01P4P，PFFZ01P6P，PFFZ03D4S，QCCGAT101，QCCGAT1C1，QCCGAT1K1，QCCGATX01，QCCGPF401，QCCGPF801，QCCGSTX01，QCCVAT101，QCCVAT1C1，QCCVAT1K1，QCCVATX01，QCCVATXC1，QCCVATXK1，QCCVPF401，QCCVPF4C1，QCCVPF4K1，QCCVPF801，QCCVPF8C1，QCCVPF8K1，QCCVSTX01，QCCVSTXC1，QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，QCCZATXK1，QCCZPF401，QCCZPF801，QCCZSTX01，QCDG15P3F，QCDG15P8P，QCDG30P2P，QCDG30P3F，QCDG30P8P，QCDGATX0F，QCDGATX1F，QCDGATX2F，QCDGATXLH，QCDGATXTF，QCDGATXTH，QCDGATXTW，QCDGPF40F，QCDGPF41F，QCDGPF42F，QCDGPF80F，QCDGPF81F，QCDGPF82F，QCDGPF8LH，QCDGPF8TH，QCDGSTX0F，QCDGSTX1F，QCDGSTX2F，QCDGSTXLH，QCDGSTXTF，QCDGSTXTH，QCDGSTXTW，QCDV15P3F，QCDV15P8P，QCDV30P2P，QCDV30P3F，QCDV30P8P，QCDVATX0F，QCDVATX1F，QCDVATX2F，QCDVATXLH，QCDVATXTF，QCDVATXTH，QCDVATXTW，QCDVPF40F，QCDVPF41F，QCDVPF42F，QCDVPF80F，QCDVPF81F，QCDVPF82F，QCDVPF8LH，QCDVPF8TH，QCDVSTX0F，QCDVSTX1F，QCDVSTX2F，QCDVSTXLH，QCDVSTXTF，QCDVSTXTH，QCDVSTXTW，QCDZ15P3F，QCDZ15P8P，QCDZ30P2P，QCDZ30P3F，QCDZ30P8P，QCDZATX0F，QCDZATX1F，QCDZATX2F，QCDZATXLH，QCDZATXTF，QCDZATXTH，QCDZATXTW，QCDZPF40F，QCDZPF41F，QCDZPF42F，QCDZPF80F，QCDZPF81F，QCDZPF82F，QCDZPF8LH，QCDZPF8TH，QCDZSTX0F，QCDZSTX1F，QCDZSTX2F，QCDZSTXLH，QCDZSTXTH，QCDZSTXTW，